Персонализиран сусцептор на цевта със силициево-диоксидно покритие

Барелен сусцепторе основен компонент в процесите на епитаксиален растеж на полупроводници, като MOCVD, MBE, CVD. Използва се главно за пренасяне на пластини във високотемпературни реакционни камери и осигуряване на равномерна и стабилна среда на термично поле, за да се гарантира прецизно отлагане на епитаксиални слоеве (като GaN, SiC и др.). Основната му функция е да постигне висока равномерност на температурата на повърхността на пластината чрез прецизен контрол на термичното поле, като по този начин гарантира еднородност на дебелината, концентрацията на легиране и кристалната структура на епитаксиалните тънки филми.

Използваме нашата патентована технология, за да направимбъчвовиден токусцепторс изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и висока химическа устойчивост и термична стабилност.

VET Energy използва графит с висока чистота с CVD-SiC покритие за подобряване на химическата стабилност:

1. Графитен материал с висока чистота
Висока топлопроводимост: топлопроводимостта на графита е три пъти по-висока от тази на силиция, което позволява бързото предаване на топлина от източника на топлина към пластината и съкращаване на времето за нагряване.
Механична якост: Плътност на графита при изостатично налягане ≥ 1,85 g/cm³, способен да издържа на високи температури над 1200 ℃ без деформация.

2. CVD SiC покритие
β-SiC слой се образува върху повърхността на графита чрез химическо отлагане от пари (CVD), с чистота ≥ 99.99995%, грешката в еднородността на дебелината на покритието е по-малка от ±5%, а грапавостта на повърхността е по-малка от Ra0.5um.

3. Подобряване на производителността:
Устойчивост на корозия: може да издържи на силно корозивни газове като Cl2, HCl и др., може да удължи живота на GaN епитаксия три пъти в NH3 среда.
Термична стабилност: Коефициентът на термично разширение (4,5 × 10-6/℃) съответства на графита, за да се избегне напукване на покритието, причинено от температурни колебания.
Твърдост и износоустойчивост: Твърдостта по Викерс достига 28 GPa, което е 10 пъти по-високо от графита и може да намали риска от надраскване на пластината.