බැරල් සසෙප්ටරයMOCVD, MBE, CVD වැනි අර්ධ සන්නායක එපිටැක්සියල් වර්ධන ක්රියාවලීන්හි මූලික අංගයකි. එය ප්රධාන වශයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතික්රියා කුටිවල වේෆර් රැගෙන යාමට සහ එපිටැක්සියල් ස්ථර (GaN, SiC, ආදිය) නිරවද්ය ලෙස තැන්පත් වීම සහතික කිරීම සඳහා ඒකාකාර සහ ස්ථාවර තාප ක්ෂේත්ර පරිසරයක් සැපයීමට භාවිතා කරයි. එහි මූලික කාර්යය වන්නේ නිරවද්ය තාප ක්ෂේත්ර පාලනය හරහා වේෆර් මතුපිට උෂ්ණත්වයේ ඉහළ ඒකාකාරිත්වයක් ලබා ගැනීමයි, එමඟින් එපිටැක්සියල් තුනී පටලවල ඝණකම, මාත්රණ සාන්ද්රණය සහ ස්ඵටික ව්යුහයේ ඒකාකාරිත්වය සහතික කිරීමයි.
අපි අපගේ පේටන්ට් බලපත්රලාභී තාක්ෂණය භාවිතා කරමින්බැරල් සසෙප්ටරයඅතිශයින් ඉහළ සංශුද්ධතාවය, හොඳ ආලේපන ඒකාකාරිත්වය සහ විශිෂ්ට සේවා කාලය මෙන්ම ඉහළ රසායනික ප්රතිරෝධයක් සහ තාප ස්ථායිතා ගුණාංග සමඟ.
VET බලශක්තිය රසායනික ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා CVD-SiC ආලේපනයක් සහිත ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් මිනිරන් භාවිතා කරයි:
1. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් මිනිරන් ද්රව්ය
ඉහළ තාප සන්නායකතාවය: මිනිරන් වල තාප සන්නායකතාවය සිලිකන් මෙන් තුන් ගුණයක් වන අතර එමඟින් තාපන ප්රභවයෙන් වේෆරයට තාපය ඉක්මනින් මාරු කර රත් කිරීමේ කාලය කෙටි කළ හැකිය.
යාන්ත්රික ශක්තිය: සමස්ථානික පීඩන මිනිරන් ඝනත්වය ≥ 1.85 g/cm ³, විරූපණයකින් තොරව 1200 ℃ ට වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව ඇත.
2. CVD SiC ආලේපනය
මිනිරන් මතුපිට රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD) මගින් β - SiC ස්ථරයක් සාදනු ලබන අතර, එහි සංශුද්ධතාවය ≥ 99.99995% ක් වන අතර, ආලේපන ඝණකමෙහි ඒකාකාර දෝෂය ±5% ට වඩා අඩු වන අතර මතුපිට රළුබව Ra0.5um ට වඩා අඩුය.
3. කාර්ය සාධනය වැඩිදියුණු කිරීම:
විඛාදන ප්රතිරෝධය: Cl2, HCl වැනි ඉහළ විඛාදන වායුවලට ඔරොත්තු දිය හැකි අතර, NH3 පරිසරය තුළ GaN එපිටැක්සියේ ආයු කාලය තුන් ගුණයකින් දීර්ඝ කළ හැකිය.
තාප ස්ථායිතාව: උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් නිසා ඇතිවන ආලේපන ඉරිතැලීම් වළක්වා ගැනීම සඳහා තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (4.5 × 10-6/℃) ග්රැෆයිට් සමඟ ගැලපේ.
දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය: විකර්ස් දෘඪතාව 28 GPa දක්වා ළඟා වන අතර එය මිනිරන් වලට වඩා 10 ගුණයකින් වැඩි වන අතර වේෆර් සීරීම් අවදානම අඩු කළ හැකිය.
| සීවීඩී SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය | |
| 性质 / දේපළ | 典型数值 / සාමාන්ය අගය |
| 晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය | FCC β අවධිය多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / ඝනත්වය | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / දෘඪතාව | 2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර) |
| 晶粒大小 / ධාන්ය SiZe | 2~10μm |
| 纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය | 99.99995% |
| 热容 / තාප ධාරිතාව | 640 ජූ·කි.ග්රෑ.-1·කේ-1 |
| 升华温度 / ඌර්ධවීකරණ උෂ්ණත්වය | 2700℃ උෂ්ණත්වය |
| 抗弯强度 / නම්යශීලී ශක්තිය | 415 MPa RT 4-ලක්ෂ්යය |
| 杨氏模量 / යංගේ මොඩියුලස් | 430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃ |
| 导热系数 / තාපජයඑල්සන්නායකතාවය | 300W·මී-1·කේ-1 |
| 热膨胀系数 / තාප ප්රසාරණය (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd යනු උසස් තත්ත්වයේ උසස් ද්රව්ය සංවර්ධනය හා නිෂ්පාදනය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන අධි තාක්ෂණික ව්යවසායයකි, ග්රැෆයිට්, සිලිකන් කාබයිඩ්, පිඟන් මැටි, SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි මතුපිට ප්රතිකාර ඇතුළු ද්රව්ය සහ තාක්ෂණය, මෙම නිෂ්පාදන ප්රකාශ වෝල්ටීයතා, අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ලෝහ විද්යාව ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය සහ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා බහු පේටන්ට් බලපත්රලාභී තාක්ෂණයන් සංවර්ධනය කර ඇති අතර, පාරිභෝගිකයින්ට වෘත්තීය ද්රව්ය විසඳුම් ද ලබා දිය හැකිය.
