Barel həssasıMOCVD, MBE, CVD kimi yarımkeçirici epitaksial böyümə proseslərində əsas komponentdir. Əsasən yüksək temperaturlu reaksiya kameralarında vafli daşımaq və epitaksial təbəqələrin (məsələn, GaN, SiC və s.) dəqiq çökməsini təmin etmək üçün vahid və sabit istilik sahəsi mühitini təmin etmək üçün istifadə olunur. Onun əsas funksiyası dəqiq termal sahəyə nəzarət vasitəsilə vafli səthinin temperaturunun yüksək vahidliyinə nail olmaq və bununla da epitaksial nazik filmlərin qalınlığını, dopinq konsentrasiyasını və kristal strukturunun vahidliyini təmin etməkdir.
Biz patentləşdirilmiş texnologiyamızdan istifadə ediriklülə qəbuledicisison dərəcə yüksək təmizlik, yaxşı örtük vahidliyi və əla xidmət müddəti, həmçinin yüksək kimyəvi müqavimət və istilik sabitlik xüsusiyyətləri ilə.
VET Energy kimyəvi sabitliyi artırmaq üçün CVD-SiC örtüklü yüksək təmizlikli qrafitdən istifadə edir:
1. Yüksək təmizlikli qrafit material
Yüksək istilik keçiriciliyi: qrafitin istilik keçiriciliyi silikondan üç dəfə yüksəkdir, bu da istilik mənbəyindən istiliyi tez bir zamanda vafliyə ötürə və istilik müddətini qısaldır.
Mexaniki güc: İzostatik təzyiqli qrafit sıxlığı ≥ 1,85 q/sm³, deformasiya olmadan 1200 ℃-dən yuxarı yüksək temperaturlara tab gətirə bilir.
2. CVD SiC örtüyü
Qrafitin səthində kimyəvi buxarın çökməsi (CVD) ilə β - SiC təbəqəsi əmələ gəlir, təmizliyi ≥ 99,99995%, örtük qalınlığının vahidlik xətası ±5% -dən azdır və səth pürüzlülüyü Ra0,5um-dan azdır.
3. Performansın təkmilləşdirilməsi:
Korroziyaya davamlılıq: Cl2, HCl və s. kimi yüksək aşındırıcı qazlara tab gətirə bilər, NH3 mühitində GaN epitaksinin ömrünü üç dəfə artıra bilər.
İstilik sabitliyi: İstilik genişlənmə əmsalı (4,5 × 10-6/℃) temperatur dəyişkənliyi nəticəsində örtük çatlamasının qarşısını almaq üçün qrafitlə uyğun gəlir.
Sərtlik və aşınma müqaviməti: Vickers sərtliyi 28 GPa-a çatır ki, bu da qrafitdən 10 dəfə yüksəkdir və vafli cızıqlar riskini azalda bilər.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-nin əsas fiziki xassələriörtük | |
| 性质 / Əmlak | 典型数值 / Tipik Dəyər |
| 晶体结构 / Kristal Struktur | FCC β fazası多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sıxlıq | 3,21 q/sm³ |
| 硬度 / Sərtlik | 2500 维氏硬度（500g yük） |
| 晶粒大小 / Taxıl Ölçüsü | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kimyəvi Saflıq | 99.99995% |
| 热容 / İstilik tutumu | 640 J·kq-1· K-1 |
| 升华温度 / Sublimasiya temperaturu | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bükülmə Gücü | 415 MPa RT 4 nöqtəli |
| 杨氏模量 / Gəncin Modulu | 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalKeçiricilik | 300W·m-1· K-1 |
| 热膨胀系数 / Termal Genişlənmə (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların, materialların və texnologiyanın, o cümlədən qrafit, silisium karbid, keramika, SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşə karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat institutlarından gəlir və məhsulun performansını və keyfiyyətini təmin etmək üçün çoxsaylı patentləşdirilmiş texnologiyalar işləyib hazırlayıb, həmçinin müştərilərə peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
