Barel susceptoruMOCVD, MBE, CVD kimi yarımkeçirici epitaksial böyümə proseslərində əsas komponentdir. Əsasən lövhələri yüksək temperaturlu reaksiya kameralarında daşımaq və epitaksial təbəqələrin (məsələn, GaN, SiC və s.) dəqiq çökməsini təmin etmək üçün vahid və sabit istilik sahəsi mühiti təmin etmək üçün istifadə olunur. Onun əsas funksiyası dəqiq istilik sahəsi nəzarəti vasitəsilə lövhə səthinin temperaturunun yüksək vahidliyinə nail olmaq və bununla da epitaksial nazik təbəqələrin qalınlığını, aşqarlanma konsentrasiyasını və kristal quruluşunun vahidliyini təmin etməkdir.
Biz patentləşdirilmiş texnologiyamızdan istifadə edərək bunu edirikbarel susceptorson dərəcə yüksək təmizlik, yaxşı örtük vahidliyi və əla xidmət müddəti, eləcə də yüksək kimyəvi müqavimət və istilik stabilliyi xüsusiyyətləri ilə.
VET Energy, kimyəvi stabilliyi artırmaq üçün CVD-SiC örtüklü yüksək təmizlikli qrafitdən istifadə edir:
1. Yüksək təmizlikli qrafit materialı
Yüksək istilik keçiriciliyi: qrafitin istilik keçiriciliyi silikondan üç dəfə çoxdur, bu da istiliyi istilik mənbəyindən lövhəyə tez bir zamanda ötürə və istilik müddətini qısalda bilər.
Mexaniki möhkəmlik: İzostatik təzyiqli qrafit sıxlığı ≥ 1.85 q/sm³, deformasiya olmadan 1200 ℃-dən yuxarı yüksək temperaturlara davam gətirə bilir.
2. CVD SiC örtüyü
Qrafitin səthində kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) ilə β-SiC təbəqəsi əmələ gəlir, təmizliyi ≥ 99.99995%, örtük qalınlığının vahidlik xətası ± 5%-dən az, səth pürüzlülüyü isə Ra0.5um-dan azdır.
3. Performansın yaxşılaşdırılması:
Korroziyaya davamlılıq: Cl2, HCl və s. kimi yüksək korroziyalı qazlara davam gətirə bilir, NH3 mühitində GaN epitaksiyasının ömrünü üç dəfə uzada bilər.
İstilik stabilliyi: İstilik genişlənmə əmsalı (4.5 × 10-6/℃) temperatur dalğalanmalarından qaynaqlanan örtük çatlamasının qarşısını almaq üçün qrafitlə uyğunlaşır.
Sərtlik və aşınmaya davamlılıq: Vickers sərtliyi 28 GPa-ya çatır ki, bu da qrafitdən 10 dəfə yüksəkdir və lövhə cızıqları riskini azalda bilər.
| Ürək-damar xəstəliyi SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-nin əsas fiziki xüsusiyyətləriörtük | |
| 性质 / Əmlak | 典型数值 / Tipik Dəyər |
| 晶体结构 / Kristal Quruluşu | FCC β fazası多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sıxlıq | 3.21 q/sm³ |
| 硬度 / Sərtlik | 2500 维氏硬度（500g yük） |
| 晶粒大小 / Taxıl SiZe | 2~10μm |
| 纯度 / Kimyəvi Saflıq | 99.99995% |
| 热容 / İstilik Tutumu | 640 J·kq-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimasiya Temperaturu | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Bükülmə Gücü | 415 MPa RT 4 nöqtəli |
| 杨氏模量 / Gəncin Modulu | 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalKeçiricilik | 300 Vt·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termal Genişlənmə (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd, yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların, qrafit, silikon karbid, keramika, SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşəli karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi səth emalı kimi materiallar və texnologiyaların inkişafına və istehsalına yönəlmiş yüksək texnologiyalı bir müəssisədir. Bu məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. sahələrdə geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat müəssisələrindən gəlir və məhsulun performansını və keyfiyyətini təmin etmək üçün çoxsaylı patentləşdirilmiş texnologiyalar hazırlamış, həmçinin müştərilərə peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
