Պատվերով պատրաստված SiC ծածկույթով բարելային ընկալիչ

Բարելի ընկալիչկիսահաղորդչային էպիտաքսիալ աճի գործընթացներում, ինչպիսիք են MOCVD-ն, MBE-ն, CVD-ն, հիմնական բաղադրիչ է: Այն հիմնականում օգտագործվում է բարձր ջերմաստիճանի ռեակցիայի խցիկներում վաֆլիներ տեղափոխելու և միատարր ու կայուն ջերմային դաշտի միջավայր ապահովելու համար՝ էպիտաքսիալ շերտերի (օրինակ՝ GaN, SiC և այլն) ճշգրիտ նստեցումն ապահովելու համար: Դրա հիմնական գործառույթը վաֆլիի մակերևույթի ջերմաստիճանի բարձր միատարրության հասնելն է՝ ճշգրիտ ջերմային դաշտի կառավարման միջոցով, այդպիսով ապահովելով էպիտաքսիալ բարակ թաղանթների հաստությունը, խառնուրդի կոնցենտրացիան և բյուրեղային կառուցվածքի միատարրությունը:

Մենք օգտագործում ենք մեր արտոնագրված տեխնոլոգիան՝ ստեղծելու համարփողային ընկալիչչափազանց բարձր մաքրությամբ, լավ ծածկույթի միատարրությամբ և գերազանց ծառայության ժամկետով, ինչպես նաև բարձր քիմիական դիմադրողականությամբ և ջերմային կայունության հատկություններով։

VET Energy-ն օգտագործում է բարձր մաքրության գրաֆիտ՝ CVD-SiC ծածկույթով՝ քիմիական կայունությունը բարձրացնելու համար։

1. Բարձր մաքրության գրաֆիտային նյութ
Բարձր ջերմահաղորդականություն. գրաֆիտի ջերմահաղորդականությունը երեք անգամ ավելի է, քան սիլիցիումինը, ինչը կարող է արագորեն ջերմությունը փոխանցել ջեռուցման աղբյուրից վաֆլի և կրճատել ջեռուցման ժամանակը։
Մեխանիկական ամրություն՝ իզոստատիկ ճնշման գրաֆիտի խտություն ≥ 1.85 գ/սմ³, կարող է դիմակայել 1200 ℃-ից բարձր բարձր ջերմաստիճաններին առանց դեֆորմացիայի։

2. CVD SiC ծածկույթ
Գրաֆիտի մակերեսին քիմիական գոլորշու նստեցման (ՔԳՆ) միջոցով առաջանում է β-SiC շերտ՝ ≥ 99.99995% մաքրությամբ, ծածկույթի հաստության միատարրության սխալը պակաս է ±5%-ից, իսկ մակերեսի կոպտությունը՝ պակաս է Ra0.5um-ից։

3. Արդյունավետության բարելավում.
Կոռոզիայի դիմադրություն. կարող է դիմակայել բարձր կոռոզիոն գազերին, ինչպիսիք են Cl2-ը, HCl-ը և այլն, կարող է երեք անգամ երկարացնել GaN էպիտաքսիայի կյանքի տևողությունը NH3 միջավայրում:
Ջերմային կայունություն. Ջերմային ընդարձակման գործակիցը (4.5 × 10-6/℃) համապատասխանում է գրաֆիտին՝ ջերմաստիճանի տատանումներից առաջացող ծածկույթի ճաքերը կանխելու համար։
Կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն. Վիկերսի կարծրությունը հասնում է 28 ԳՊա-ի, որը 10 անգամ ավելի բարձր է, քան գրաֆիտինը և կարող է նվազեցնել վաֆլիի քերծվածքների ռիսկը։