Customized SiC Coated Barrel Susceptor

Susceptor ng barilesay isang pangunahing bahagi sa mga proseso ng paglago ng semiconductor epitaxial tulad ng MOCVD, MBE, CVD. Pangunahing ginagamit ito upang magdala ng mga wafer sa mga silid ng reaksyon na may mataas na temperatura at magbigay ng isang pare-pareho at matatag na kapaligiran ng thermal field upang matiyak ang tumpak na pag-deposito ng mga epitaxial layer (tulad ng GaN, SiC, atbp.). Ang pangunahing pag-andar nito ay upang makamit ang mataas na pagkakapareho ng temperatura ng ibabaw ng wafer sa pamamagitan ng tumpak na kontrol sa thermal field, sa gayon ay tinitiyak ang kapal, konsentrasyon ng doping, at pagkakapareho ng istraktura ng kristal ng mga epitaxial thin films.

Ginagamit namin ang aming patented na teknolohiya para gawin angsusceptor ng barilesna may napakataas na kadalisayan, mahusay na pagkakapareho ng patong at isang mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rin ang mataas na paglaban sa kemikal at mga katangian ng thermal stability.

Ang VET Energy ay gumagamit ng high purity graphite na may CVD-SiC coating para mapahusay ang chemical stability:

1. Mataas na kadalisayan ng grapayt na materyal
Mataas na thermal conductivity: ang thermal conductivity ng graphite ay tatlong beses kaysa sa silikon, na maaaring mabilis na ilipat ang init mula sa pinagmumulan ng pag-init patungo sa wafer at paikliin ang oras ng pag-init.
Lakas ng mekanikal: Isostatic pressure graphite density ≥ 1.85 g/cm ³, na kayang tiisin ang mataas na temperatura sa itaas ng 1200 ℃ nang walang deformation.

2. CVD SiC coating
Ang isang β - SiC layer ay nabuo sa ibabaw ng grapayt sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD), na may kadalisayan ng ≥ 99.99995%, ang error sa pagkakapareho ng kapal ng patong ay mas mababa sa ± 5%, at ang pagkamagaspang sa ibabaw ay mas mababa sa Ra0.5um.

3. Pagpapabuti ng pagganap:
Corrosion resistance: maaaring makatiis ng matataas na corrosive na gas tulad ng Cl2, HCl, etc, ay maaaring pahabain ang habang-buhay ng GaN epitaxy ng tatlong beses sa kapaligiran ng NH3.
Thermal stability: Ang coefficient ng thermal expansion (4.5 × 10-6/℃) ay tumutugma sa graphite upang maiwasan ang pag-crack ng coating na dulot ng mga pagbabago sa temperatura.
Hardness at Wear Resistance: Ang tigas ng Vickers ay umabot sa 28 GPa, na 10 beses na mas mataas kaysa sa graphite at maaaring mabawasan ang panganib ng mga gasgas ng wafer.