Tunnuviðnámer kjarnaþáttur í vaxtarferlum hálfleiðara eins og MOCVD, MBE og CVD. Það er aðallega notað til að flytja skífur í háhitaviðbragðsklefum og veita einsleitt og stöðugt hitasviðsumhverfi til að tryggja nákvæma útfellingu á skífum (eins og GaN, SiC o.s.frv.). Kjarnahlutverk þess er að ná mikilli einsleitni á yfirborðshita skífunnar með nákvæmri stjórnun á hitasviði og tryggja þannig þykkt, lyfjastyrk og einsleitni kristalbyggingar þunnra skífna.
Við notum einkaleyfisverndaða tækni okkar til að framleiðatunnuviðnámmeð afar mikilli hreinleika, góðri einsleitni húðunar og framúrskarandi endingartíma, svo og mikilli efnaþol og hitastöðugleika.
VET Energy notar hágæða grafít með CVD-SiC húðun til að auka efnafræðilegan stöðugleika:
1. Grafítefni með mikilli hreinleika
Hár hitaleiðni: Hitaleiðni grafíts er þrisvar sinnum meiri en hitaleiðni kísils, sem getur fljótt flutt hita frá hitagjafanum til skífunnar og stytt upphitunartímann.
Vélrænn styrkur: Grafítþéttleiki við ísóstatískan þrýsting ≥ 1,85 g/cm³, þolir háan hita yfir 1200 ℃ án þess að afmyndast.
2. CVD SiC húðun
β-SiC lag myndast á yfirborði grafíts með efnafræðilegri gufuútfellingu (CVD), með hreinleika ≥ 99,99995%, einsleitni skekkjunnar í húðþykkt er minni en ± 5% og yfirborðsgrófleiki er minni en Ra0,5um.
3. Árangursbætur:
Tæringarþol: þolir mjög tærandi lofttegundir eins og Cl2, HCl o.s.frv., getur þrefaldað líftíma GaN-epitaxis í NH3 umhverfi.
Hitastöðugleiki: Hitaþenslustuðullinn (4,5 × 10⁻⁶/℃) passar við grafít til að koma í veg fyrir sprungur í húð vegna hitasveiflna.
Hörku og slitþol: Vickers hörkustigið nær 28 GPa, sem er 10 sinnum hærra en grafít og getur dregið úr hættu á rispum á skífum.
| Hjarta- og æðasjúkdómur SiC薄膜基本物理性能 Helstu eðliseiginleikar CVD SiChúðun | |
| 性质 / Eign | 典型数值 / Dæmigert gildi |
| 晶体结构 / Kristalbygging | FCC β fasa多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Þéttleiki | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hörku | 2500 维氏硬度（500g álag） |
| 晶粒大小 / Kornastærð | 2~10μm |
| 纯度 / Efnafræðileg hreinleiki | 99,99995% |
| 热容 / Hitarýmd | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimunarhitastig | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Beygjustyrkur | 415 MPa RT 4 punkta |
| 杨氏模量 / Youngs stuðull | 430 Gpa 4pt beygja, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLeiðni | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Varmaþensla (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er hátæknifyrirtæki sem einbeitir sér að þróun og framleiðslu á hágæða efnum, þar á meðal grafíti, kísilkarbíði, keramik, yfirborðsmeðferð eins og SiC húðun, TaC húðun, glerkenndum kolefnishúðun, hitaleiðandi kolefnishúðun o.s.frv., þessar vörur eru mikið notaðar í ljósorku, hálfleiðurum, nýrri orku, málmvinnslu o.s.frv.
Tækniteymi okkar kemur frá fremstu innlendum rannsóknarstofnunum og hefur þróað margar einkaleyfisverndaðar tækni til að tryggja afköst og gæði vörunnar og getur einnig veitt viðskiptavinum faglegar efnislausnir.
