Suseptor Laras Berlapis SiC yang Disesuaikan

Gambar Unggulan Susceptor Laras Berlapis SiC yang Disesuaikan

Deskripsi Singkat:

VET Energy adalah produsen dan pemasok profesional susceptor barel berlapis SiC di Tiongkok. Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih maju, dan telah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih erat dan kurang rentan terhadap pelepasan. Selamat datang untuk mengunjungi pabrik kami dan kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Susceptor barelmerupakan komponen inti dalam proses pertumbuhan epitaksial semikonduktor seperti MOCVD, MBE, CVD. Fungsi utamanya adalah untuk membawa wafer ke dalam ruang reaksi suhu tinggi dan menyediakan lingkungan medan termal yang seragam dan stabil untuk memastikan deposisi lapisan epitaksial (seperti GaN, SiC, dll.) yang presisi. Fungsi intinya adalah untuk mencapai keseragaman suhu permukaan wafer yang tinggi melalui kontrol medan termal yang presisi, sehingga memastikan ketebalan, konsentrasi doping, dan keseragaman struktur kristal film tipis epitaksial.

Kami menggunakan teknologi yang dipatenkan untuk membuatsusceptor bareldengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik dan masa pakai yang sangat baik, serta ketahanan kimia dan stabilitas termal yang tinggi.

VET Energy menggunakan grafit dengan kemurnian tinggi yang dilapisi CVD-SiC untuk meningkatkan stabilitas kimia:

1. Bahan grafit dengan kemurnian tinggi
Konduktivitas termal tinggi: konduktivitas termal grafit tiga kali lipat dari silikon, yang dapat dengan cepat mentransfer panas dari sumber pemanas ke wafer dan mempersingkat waktu pemanasan.
Kekuatan mekanik: Kepadatan grafit tekanan isostatik ≥ 1,85 g/cm³, mampu menahan suhu tinggi di atas 1200 ℃ tanpa deformasi.

2. Pelapisan SiC CVD
Lapisan β-SiC dibentuk pada permukaan grafit melalui pengendapan uap kimia (CVD), dengan kemurnian ≥ 99,99995%, kesalahan keseragaman ketebalan lapisan kurang dari ±5%, dan kekasaran permukaan kurang dari Ra0,5um.

3. Peningkatan kinerja:
Ketahanan terhadap korosi: dapat menahan gas korosif tinggi seperti Cl2, HCl, dll., dapat memperpanjang umur epitaksi GaN hingga tiga kali lipat dalam lingkungan NH3.
Stabilitas termal: Koefisien ekspansi termal (4,5 × 10⁻⁶/℃) sesuai dengan grafit untuk menghindari keretakan lapisan yang disebabkan oleh fluktuasi suhu.
Kekerasan dan Ketahanan Aus: Kekerasan Vickers mencapai 28 GPa, yang 10 kali lebih tinggi daripada grafit dan dapat mengurangi risiko goresan pada wafer.

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar SiC CVDlapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 Ukuran Butir	2~10μm
纯度 Kemurnian Kimiawi	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 Modulus Young	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / ThermalDaya konduksi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. adalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada pengembangan dan produksi material canggih kelas atas, termasuk material dan teknologi seperti grafit, silikon karbida, keramik, dan perawatan permukaan seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk ini banyak digunakan dalam bidang fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan telah mengembangkan berbagai teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kinerja dan kualitas produk, serta dapat memberikan solusi material profesional kepada pelanggan.