Penahan Laras Berlapis SiC yang Disesuaikan

Gambar Unggulan Susceptor Laras Berlapis SiC yang Disesuaikan

Deskripsi Singkat:

VET Energy adalah produsen dan pemasok profesional susceptor barel berlapis SiC di Cina. Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah menemukan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih erat dan tidak mudah terkelupas. Selamat datang untuk mengunjungi pabrik kami dan berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Penahan barelmerupakan komponen inti dalam proses pertumbuhan epitaksial semikonduktor seperti MOCVD, MBE, CVD. Komponen ini terutama digunakan untuk membawa wafer dalam ruang reaksi suhu tinggi dan menyediakan lingkungan medan termal yang seragam dan stabil untuk memastikan pengendapan lapisan epitaksial yang tepat (seperti GaN, SiC, dll.). Fungsi utamanya adalah untuk mencapai keseragaman suhu permukaan wafer yang tinggi melalui kontrol medan termal yang tepat, sehingga memastikan ketebalan, konsentrasi doping, dan keseragaman struktur kristal dari lapisan tipis epitaksial.

Kami menggunakan teknologi kami yang telah dipatenkan untuk membuatpenerima bareldengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman pelapisan yang baik dan masa pakai yang sangat baik, serta sifat ketahanan kimia dan stabilitas termal yang tinggi.

VET Energy menggunakan grafit kemurnian tinggi dengan lapisan CVD-SiC untuk meningkatkan stabilitas kimia:

1. Bahan grafit dengan kemurnian tinggi
Konduktivitas termal yang tinggi: konduktivitas termal grafit tiga kali lipat dari silikon, yang dapat dengan cepat mentransfer panas dari sumber pemanas ke wafer dan mempersingkat waktu pemanasan.
Kekuatan mekanik: Kepadatan grafit tekanan isostatik ≥ 1,85 g/cm³, mampu menahan suhu tinggi di atas 1200 ℃ tanpa deformasi.

2. Pelapisan CVD SiC
Lapisan β - SiC terbentuk pada permukaan grafit melalui deposisi uap kimia (CVD), dengan kemurnian ≥ 99,99995%, kesalahan keseragaman ketebalan lapisan kurang dari ± 5%, dan kekasaran permukaan kurang dari Ra0,5um.

3. Peningkatan kinerja:
Tahan terhadap korosi: dapat menahan gas korosif tinggi seperti Cl2, HCl, dll., dapat memperpanjang umur epitaksi GaN hingga tiga kali lipat di lingkungan NH3.
Stabilitas termal: Koefisien ekspansi termal (4,5 × 10-6/℃) sesuai dengan grafit untuk menghindari retaknya lapisan yang disebabkan oleh fluktuasi suhu.
Kekerasan dan Ketahanan Aus: Kekerasan Vickers mencapai 28 GPa, yang 10 kali lebih tinggi dari grafit dan dapat mengurangi risiko goresan wafer.

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 gram/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 / Ukuran Butiran	Ukuran 2~10 mikrometer
纯度 / Kemurnian Kimia	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermaakuDaya konduksi	Daya 300Wm^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd merupakan perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada pengembangan dan produksi material canggih kelas atas, material dan teknologi tersebut meliputi grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dan lain-lain. Produk-produk ini banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dan lain-lain.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dan telah mengembangkan berbagai teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kinerja dan kualitas produk, juga dapat menyediakan solusi material profesional kepada pelanggan.