Бөшкедегі сусцепторMOCVD, MBE, CVD сияқты жартылай өткізгіш эпитаксиалды өсу процестеріндегі негізгі компонент болып табылады. Ол негізінен жоғары температуралы реакция камераларында пластиналарды тасымалдау және эпитаксиалды қабаттардың (мысалы, GaN, SiC және т.б.) дәл тұндырылуын қамтамасыз ету үшін біркелкі және тұрақты жылу өрісі ортасын қамтамасыз ету үшін қолданылады. Оның негізгі функциясы - эпитаксиалды жұқа қабықшалардың қалыңдығын, легирлеу концентрациясын және кристалдық құрылымның біркелкілігін қамтамасыз ету арқылы дәл жылу өрісін басқару арқылы пластина бетінің температурасының жоғары біркелкілігіне қол жеткізу.
Біз патенттелген технологиямызды қолданамызбөшкелік сусцепторөте жоғары тазалығымен, жақсы жабын біркелкілігімен және тамаша қызмет ету мерзімімен, сондай-ақ жоғары химиялық төзімділік пен термиялық тұрақтылық қасиеттерімен ерекшеленеді.
VET Energy химиялық тұрақтылықты арттыру үшін CVD-SiC жабыны бар жоғары тазалықтағы графитті пайдаланады:
1. Жоғары тазалықтағы графит материалы
Жоғары жылу өткізгіштік: графиттің жылу өткізгіштігі кремнийге қарағанда үш есе жоғары, бұл жылуды қыздыру көзінен пластинаға тез ауыстырып, қыздыру уақытын қысқартады.
Механикалық беріктігі: Изостатикалық қысымдағы графит тығыздығы ≥ 1,85 г/см³, деформациясыз 1200 ℃-тан жоғары жоғары температураға төтеп бере алады.
2. CVD SiC жабыны
Графит бетінде химиялық бу тұндыру (CVD) арқылы β-SiC қабаты түзіледі, оның тазалығы ≥ 99,99995%, жабын қалыңдығының біркелкілік қателігі ±5%-дан аз, ал бетінің кедір-бұдырлығы Ra0,5 мкм-нан аз.
3. Өнімділікті жақсарту:
Коррозияға төзімділік: Cl2, HCl және т.б. сияқты жоғары коррозиялық газдарға төтеп бере алады, NH3 ортасында GaN эпитаксисінің қызмет ету мерзімін үш есеге ұзарта алады.
Термиялық тұрақтылық: Температураның ауытқуынан туындаған жабынның жарылуын болдырмау үшін термиялық кеңею коэффициенті (4,5 × 10-6/℃) графитке сәйкес келеді.
Қаттылық және тозуға төзімділік: Виккерс қаттылығы 28 ГПа-ға жетеді, бұл графиттен 10 есе жоғары және пластина сызаттарының пайда болу қаупін азайта алады.
| Жүрек-қан тамырлары ауруы SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC негізгі физикалық қасиеттеріжабын | |
| 性质 / Мүлік | 典型数值 / Әдеттегі мән |
| 晶体结构 / Кристалдық құрылым | FCC β фазасы多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Тығыздық | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Қаттылық | 2500 维氏硬度（500г жүктеме） |
| 晶粒大小 / Дән өлшемі | 2~10 мкм |
| 纯度 / Химиялық тазалық | 99.99995% |
| 热容 / Жылу сыйымдылығы | 640 Дж·кг-1·K-1 |
| 升华温度 / Сублимация температурасы | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Иілу күші | 415 МПа RT 4 нүктелі |
| 杨氏模量 / Янг модулі | 430 ГПа 4pt иілу, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалӨткізгіштік | 300 Вт·м-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Термиялық кеңею (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd компаниясы жоғары сапалы озық материалдарды, графит, кремний карбиді, керамика, SiC жабыны, TaC жабыны, шыны көміртекті жабыны, пиролитикалық көміртекті жабыны және т.б. сияқты беттік өңдеуді қамтитын материалдар мен технологияларды әзірлеу мен өндіруге бағытталған жоғары технологиялық кәсіпорын болып табылады, бұл өнімдер фотоэлектрлік, жартылай өткізгіштік, жаңа энергетика, металлургия және т.б. салаларда кеңінен қолданылады.
Біздің техникалық командамыз отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан шыққан және өнімнің өнімділігі мен сапасын қамтамасыз ету үшін бірнеше патенттелген технологияларды әзірледі, сонымен қатар тұтынушыларға кәсіби материалдық шешімдер ұсына алады.
