مستقبِل البرميليُعدّ مُكوّنًا أساسيًا في عمليات النموّ الطبقي لأشباه الموصلات، مثل MOCVD وMBE وCVD. ويُستخدم بشكل رئيسي لحمل الرقائق في غرف التفاعل عالية الحرارة، وتوفير بيئة مجال حراري متجانسة ومستقرة لضمان ترسيب دقيق للطبقات الطبقية (مثل GaN وSiC، إلخ). وتتمثل وظيفته الأساسية في تحقيق درجة حرارة سطح الرقاقة بدرجة حرارة موحدة عالية من خلال التحكم الدقيق في المجال الحراري، مما يضمن سماكة وتركيز التشويب وتجانس البنية البلورية للأغشية الرقيقة الطبقية.
نحن نستخدم تقنيتنا الحاصلة على براءة اختراع لصنعمستقبِل البرميلمع نقاء عالي للغاية وتوحيد طلاء جيد وعمر خدمة ممتاز بالإضافة إلى مقاومة كيميائية عالية وخصائص استقرار حراري.
تستخدم شركة VET Energy الجرافيت عالي النقاء مع طلاء CVD-SiC لتعزيز الاستقرار الكيميائي:
1. مادة الجرافيت عالية النقاء
موصلية حرارية عالية: الموصلية الحرارية للجرافيت هي ثلاثة أضعاف الموصلية الحرارية للسيليكون، مما يمكنه نقل الحرارة بسرعة من مصدر التسخين إلى الرقاقة وتقصير وقت التسخين.
القوة الميكانيكية: كثافة الجرافيت عند الضغط المتساوي ≥ 1.85 جم / سم مكعب، قادرة على تحمل درجات حرارة عالية تزيد عن 1200 درجة مئوية دون تشوه.
2. طلاء CVD SiC
يتم تشكيل طبقة β-SiC على سطح الجرافيت عن طريق الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، مع نقاء ≥ 99.99995٪، وخطأ توحيد سمك الطلاء أقل من ± 5٪، وخشونة السطح أقل من Ra0.5um.
3. تحسين الأداء:
مقاومة التآكل: يمكنها تحمل الغازات المسببة للتآكل مثل Cl2 وHCl وما إلى ذلك، ويمكنها إطالة عمر طبقة GaN بمقدار ثلاثة أضعاف في بيئة NH3.
الاستقرار الحراري: يتطابق معامل التمدد الحراري (4.5 × 10-6/℃) مع الجرافيت لتجنب تشقق الطلاء الناجم عن تقلبات درجات الحرارة.
الصلابة ومقاومة التآكل: تصل صلابة فيكرز إلى 28 جيجا باسكال، وهو ما يزيد بمقدار 10 مرات عن صلابة الجرافيت ويمكن أن يقلل من خطر خدوش الرقاقة.
| أمراض القلب والأوعية الدموية SiCهذا هو السبب في ذلك الخصائص الفيزيائية الأساسية لـ CVD SiCطلاء | |
| 性质 / ملكية | 典型数值 / القيمة النموذجية |
| شكرا جزيلا / البنية البلورية | مرحلة بيتا FCC多晶,主要为(111) 取向 |
| 密度 / كثافة | 3.21 جم/سم³ |
| نعم / الصلابة | 2500 ميكروغرام (حمولة 500 جرام) |
| شكرا جزيلا / حجم الحبوب | 2~10 ميكرومتر |
| نعم / النقاء الكيميائي | 99.99995% |
| 热容 / السعة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
| 升华温度 / درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / قوة الانحناء | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
| 杨氏模量 /معامل يونغ | 430 جيجا باسكال، انحناء 4 نقاط، 1300 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / ثيرمالالموصلية | 300 واط·متر-1·ك-1 |
| هذا هو الحال / التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
شركة نينغبو فيت لتكنولوجيا الطاقة المحدودة هي مؤسسة ذات تكنولوجيا عالية تركز على تطوير وإنتاج المواد المتقدمة الراقية، والمواد والتكنولوجيا بما في ذلك الجرافيت، وكربيد السيليكون، والسيراميك، والمعالجة السطحية مثل طلاء SiC، وطلاء TaC، وطلاء الكربون الزجاجي، وطلاء الكربون الحراري، وما إلى ذلك، وتستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في الطاقة الكهروضوئية، وأشباه الموصلات، والطاقة الجديدة، والمعادن، وما إلى ذلك.
يأتي فريقنا الفني من أفضل مؤسسات البحث المحلية، وقد طور العديد من التقنيات الحاصلة على براءة اختراع لضمان أداء المنتج والجودة، ويمكنه أيضًا تزويد العملاء بحلول مادية احترافية.
