حامل برميلييُعدّ عنصرًا أساسيًا في عمليات نمو الطبقات الرقيقة لأشباه الموصلات، مثل الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD) والترسيب الجزيئي الشعاعي (MBE) والترسيب الكيميائي للبخار (CVD). ويُستخدم بشكل رئيسي لحمل الرقاقات في غرف التفاعل ذات درجات الحرارة العالية، وتوفير بيئة مجال حراري متجانسة ومستقرة لضمان الترسيب الدقيق للطبقات الرقيقة (مثل GaN وSiC وغيرها). وتتمثل وظيفته الأساسية في تحقيق تجانس عالٍ في درجة حرارة سطح الرقاقة من خلال التحكم الدقيق في المجال الحراري، مما يضمن تجانس سمك وتركيز التطعيم والبنية البلورية للأغشية الرقيقة.
نستخدم تقنيتنا الحاصلة على براءة اختراع لصنعحامل برميليتميز بنقاء عالٍ للغاية، وتجانس جيد في الطلاء، وعمر خدمة ممتاز، بالإضافة إلى مقاومة كيميائية عالية وخصائص استقرار حراري.
تستخدم شركة VET Energy الجرافيت عالي النقاء مع طلاء CVD-SiC لتعزيز الاستقرار الكيميائي:
1. مادة جرافيت عالية النقاء
الموصلية الحرارية العالية: الموصلية الحرارية للجرافيت ثلاثة أضعاف الموصلية الحرارية للسيليكون، مما يسمح بنقل الحرارة بسرعة من مصدر التسخين إلى الرقاقة وتقصير وقت التسخين.
القوة الميكانيكية: كثافة الجرافيت تحت الضغط المتساوي ≥ 1.85 جم/سم³، قادرة على تحمل درجات حرارة عالية تزيد عن 1200 درجة مئوية دون تشوه.
2. طلاء كربيد السيليكون بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار
يتم تشكيل طبقة β - SiC على سطح الجرافيت عن طريق الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، بنقاء ≥ 99.99995%، وخطأ توحيد سمك الطلاء أقل من ±5%، وخشونة السطح أقل من Ra0.5um.
3. تحسين الأداء:
مقاومة التآكل: يمكنها تحمل الغازات المسببة للتآكل بشدة مثل Cl2 و HCl وما إلى ذلك، ويمكنها إطالة عمر طبقة GaN بمقدار ثلاثة أضعاف في بيئة NH3.
الاستقرار الحراري: يتطابق معامل التمدد الحراري (4.5 × 10-6/℃) مع الجرافيت لتجنب تشقق الطلاء الناتج عن تقلبات درجة الحرارة.
الصلابة ومقاومة التآكل: تصل صلابة فيكرز إلى 28 جيجا باسكال، وهو أعلى بعشر مرات من الجرافيت ويمكن أن يقلل من خطر خدش الرقاقة.
| أمراض القلب والأوعية الدموية SiCهذا هو السبب في ذلك الخصائص الفيزيائية الأساسية لـ CVD SiCطلاء | |
| 性质 / ملكية | 典型数值 القيمة النموذجية |
| شكرا جزيلا / البنية البلورية | الطور β ذو التركيب المكعب المتمركز على الوجوه多晶,主要为(111) 取向 |
| 密度 / كثافة | 3.21 جم/سم³ |
| نعم الصلابة | 2500 ميكروغرام (حمولة 500 جرام) |
| 晶粒大小 حجم الحبوب | 2~10 ميكرومتر |
| نعم / النقاء الكيميائي | 99.99995% |
| 热容 / السعة الحرارية | 640 جول/كجم-1·ك-1 |
| 升华温度 درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / قوة الانحناء | 415 ميجا باسكال RT 4-point |
| 杨氏模量 معامل يونغ | انحناء 430 جيجا باسكال، 1300 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / ثيرمالالموصلية | 300 واط/متر-1·ك-1 |
| هذا هو الحال / التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
شركة نينغبو فيت لتكنولوجيا الطاقة المحدودة هي شركة ذات تقنية عالية تركز على تطوير وإنتاج مواد متطورة عالية الجودة، وتشمل المواد والتكنولوجيا الجرافيت وكربيد السيليكون والسيراميك ومعالجة الأسطح مثل طلاء SiC وطلاء TaC وطلاء الكربون الزجاجي وطلاء الكربون المحلل حرارياً، وما إلى ذلك، وتستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في الخلايا الكهروضوئية وأشباه الموصلات والطاقة الجديدة والمعادن، وما إلى ذلك.
يتألف فريقنا التقني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، وقد طور العديد من التقنيات الحاصلة على براءات اختراع لضمان أداء المنتج وجودته، كما يمكنه تزويد العملاء بحلول مواد احترافية.
