მორგებული SiC დაფარული ლულის სასუსტორი

ლულის სუსცეპტორიწარმოადგენს ნახევარგამტარული ეპიტაქსიური ზრდის პროცესების, როგორიცაა MOCVD, MBE, CVD, ძირითად კომპონენტს. იგი ძირითადად გამოიყენება მაღალი ტემპერატურის რეაქციის კამერებში ვაფლების გადასატანად და ერთგვაროვანი და სტაბილური თერმული ველის გარემოს უზრუნველსაყოფად, ეპიტაქსიური ფენების (როგორიცაა GaN, SiC და ა.შ.) ზუსტი დალექვის უზრუნველსაყოფად. მისი ძირითადი ფუნქციაა ვაფლის ზედაპირის ტემპერატურის მაღალი ერთგვაროვნების მიღწევა ზუსტი თერმული ველის კონტროლის გზით, რითაც უზრუნველყოფილია ეპიტაქსიური თხელი ფენების სისქე, დოპირების კონცენტრაცია და კრისტალური სტრუქტურის ერთგვაროვნება.

ჩვენ ვიყენებთ ჩვენს მიერ დაპატენტებულ ტექნოლოგიას, რათა შევქმნათლულის სუსცეპტორიუკიდურესად მაღალი სისუფთავით, კარგი საფარის ერთგვაროვნებით და შესანიშნავი მომსახურების ხანგრძლივობით, ასევე მაღალი ქიმიური წინააღმდეგობით და თერმული სტაბილურობის თვისებებით.

VET Energy იყენებს მაღალი სისუფთავის გრაფიტს CVD-SiC საფარით ქიმიური სტაბილურობის გასაუმჯობესებლად:

1. მაღალი სისუფთავის გრაფიტის მასალა
მაღალი თბოგამტარობა: გრაფიტის თბოგამტარობა სამჯერ აღემატება სილიკონის თბოგამტარობას, რაც საშუალებას იძლევა სწრაფად გადავიდეს სითბო გათბობის წყაროდან ვაფლზე და შევამციროთ გათბობის დრო.
მექანიკური სიმტკიცე: იზოსტატიკური წნევის გრაფიტის სიმკვრივე ≥ 1.85 გ/სმ³, დეფორმაციის გარეშე 1200 ℃-ზე მაღალი ტემპერატურის გაძლება.

2. კარდიოვასკულური დიელექტრიკული სიცივის (CVD) SiC საფარი
გრაფიტის ზედაპირზე ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) შედეგად წარმოიქმნება β-SiC ფენა, რომლის სისუფთავეა ≥ 99.99995%, საფარის სისქის ერთგვაროვნების შეცდომა ±5%-ზე ნაკლებია, ხოლო ზედაპირის უხეშობა Ra0.5um-ზე ნაკლებია.

3. შესრულების გაუმჯობესება:
კოროზიისადმი მდგრადობა: შეუძლია გაუძლოს მაღალი კოროზიული აირების ეფექტს, როგორიცაა Cl2, HCl და ა.შ., შეუძლია სამჯერ გაზარდოს GaN ეპიტაქსიის სიცოცხლის ხანგრძლივობა NH3 გარემოში.
თერმული სტაბილურობა: თერმული გაფართოების კოეფიციენტი (4.5 × 10-6/℃) შეესაბამება გრაფიტს, რათა თავიდან იქნას აცილებული ტემპერატურის რყევებით გამოწვეული საფარის ბზარები.
სიმტკიცე და ცვეთისადმი წინააღმდეგობა: ვიკერსის სიმტკიცე 28 გპა-ს აღწევს, რაც გრაფიტზე 10-ჯერ მეტია და შეუძლია შეამციროს ვაფლის ნაკაწრების რისკი.