Namlu tutucuYarı iletken epitaksiyel büyüme süreçlerinde (MOCVD, MBE, CVD gibi) temel bir bileşendir. Esas olarak, yüksek sıcaklık reaksiyon odalarında plakaları taşımak ve epitaksiyel katmanların (GaN, SiC vb.) hassas bir şekilde biriktirilmesini sağlamak için düzgün ve kararlı bir termal alan ortamı sağlamak için kullanılır. Temel işlevi, hassas termal alan kontrolü yoluyla plaka yüzey sıcaklığının yüksek homojenliğini sağlamak ve böylece epitaksiyel ince filmlerin kalınlığını, katkı konsantrasyonunu ve kristal yapısının homojenliğini garanti etmektir.
Patentli teknolojimizi kullanarak üretiyoruz.varil taşıyıcıSon derece yüksek saflık, iyi kaplama homojenliği ve mükemmel kullanım ömrünün yanı sıra yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerine sahiptir.
VET Energy, kimyasal kararlılığı artırmak için CVD-SiC kaplamalı yüksek saflıkta grafit kullanmaktadır:
1. Yüksek saflıkta grafit malzeme
Yüksek ısı iletkenliği: Grafitin ısı iletkenliği silikonunkinin üç katıdır; bu da ısıyı ısı kaynağından plakaya hızlı bir şekilde aktarabilir ve ısıtma süresini kısaltabilir.
Mekanik dayanıklılık: İzostatik basınç altında grafit yoğunluğu ≥ 1,85 g/cm³ olup, 1200 ℃'nin üzerindeki yüksek sıcaklıklara deforme olmadan dayanabilir.
2. CVD SiC kaplama
Grafit yüzeyine kimyasal buhar biriktirme (CVD) yöntemiyle, saflığı ≥ %99,99995 olan, kaplama kalınlığının homojenlik hatası ±%5'ten az olan ve yüzey pürüzlülüğü Ra0,5 µm'den düşük olan bir β-SiC tabakası oluşturulmuştur.
3. Performans iyileştirmesi:
Korozyon direnci: Cl2, HCl gibi yüksek derecede aşındırıcı gazlara dayanabilir ve NH3 ortamında GaN epitaksisinin ömrünü üç kat uzatabilir.
Termal kararlılık: Termal genleşme katsayısı (4,5 × 10⁻⁶/℃), sıcaklık değişimlerinden kaynaklanan kaplama çatlamasını önlemek için grafit ile uyumludur.
Sertlik ve Aşınma Direnci: Vickers sertliği 28 GPa'ya ulaşır; bu, grafitin 10 katıdır ve yonga levhasında çizilme riskini azaltabilir.
| CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama | |
| 性质 / Mülk | 典型数值 / Tipik Değer |
| 晶体结构 / Kristal Yapısı | FCC β fazı多晶,主要为（111) |
| 密度 / Yoğunluk | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Sertlik | 2500 kg yük (500g yük) |
| 晶粒大小 / Tane Boyutu | 2~10 μm |
| 纯度 / Kimyasal Saflık | 99.99995% |
| 热容 / Isı Kapasitesi | 640 J·kg-1K-1 |
| Amerika Birleşik Devletleri / Süblimasyon Sıcaklığı | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Eğilme Mukavemeti | 415 MPa RT 4 noktalı |
| 杨氏模量 / Young Modülü | 430 Gpa 4 noktalı büküm, 1300℃ |
| 导热系数 / Thermalİletkenlik | 300W·m-1K-1 |
| Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd, yüksek teknoloji ürünü gelişmiş malzemelerin geliştirilmesi ve üretimine odaklanan bir yüksek teknoloji şirketidir. Ürün yelpazesinde grafit, silisyum karbür, seramik, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama gibi yüzey işlemleri yer almaktadır. Bu ürünler fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmekte olup, ürün performansı ve kalitesini sağlamak için birçok patentli teknoloji geliştirmiştir ve müşterilerine profesyonel malzeme çözümleri de sunabilmektedir.
