Susceptor de barril revestido de SiC personalizado

Susceptor de barrilé un compoñente central nos procesos de crecemento epitaxial de semicondutores como MOCVD, MBE e CVD. Úsase principalmente para transportar obleas en cámaras de reacción de alta temperatura e proporcionar un ambiente de campo térmico uniforme e estable para garantir a deposición precisa de capas epitaxiais (como GaN, SiC, etc.). A súa función principal é lograr unha alta uniformidade da temperatura da superficie da oblea mediante un control preciso do campo térmico, garantindo así o grosor, a concentración de dopaxe e a uniformidade da estrutura cristalina das películas delgadas epitaxiais.

Usamos a nosa tecnoloxía patentada para fabricarsusceptor de barrilcunha pureza extremadamente alta, boa uniformidade de revestimento e unha excelente vida útil, así como propiedades de alta resistencia química e estabilidade térmica.

VET Energy usa grafito de alta pureza con revestimento CVD-SiC para mellorar a estabilidade química:

1. Material de grafito de alta pureza
Alta condutividade térmica: a condutividade térmica do grafito é tres veces maior que a do silicio, o que pode transferir rapidamente a calor da fonte de quecemento á oblea e acurtar o tempo de quecemento.
Resistencia mecánica: densidade do grafito a presión isostática ≥ 1,85 g/cm³, capaz de soportar altas temperaturas por riba de 1200 ℃ sen deformación.

2. Revestimento de SiC por CVD
Fórmase unha capa de β-SiC na superficie do grafito mediante deposición química de vapor (CVD), cunha pureza de ≥ 99,99995 %, o erro de uniformidade do grosor do revestimento é inferior a ± 5 % e a rugosidade superficial é inferior a Ra0,5 um.

3. Mellora do rendemento:
Resistencia á corrosión: pode soportar gases altamente corrosivos como Cl2, HCl, etc., pode prolongar a vida útil da epitaxia de GaN por tres no ambiente de NH3.
Estabilidade térmica: o coeficiente de expansión térmica (4,5 × 10-6/℃) coincide co grafito para evitar que o revestimento se rache por mor das flutuacións de temperatura.
Dureza e resistencia ao desgaste: a dureza Vickers alcanza os 28 GPa, 10 veces maior que a do grafito e pode reducir o risco de rabuñaduras na oblea.