Tunnmottagareär en kärnkomponent i epitaxiella tillväxtprocesser för halvledare såsom MOCVD, MBE, CVD. Den används huvudsakligen för att bära wafers i högtemperaturreaktionskammare och ge en enhetlig och stabil termisk fältmiljö för att säkerställa exakt avsättning av epitaxiella lager (såsom GaN, SiC, etc.). Dess kärnfunktion är att uppnå hög enhetlighet av waferns yttemperatur genom exakt termisk fältkontroll, vilket säkerställer tjockleken, dopningskoncentrationen och kristallstrukturen hos epitaxiella tunna filmer.
Vi använder vår patenterade teknik för att tillverkapipmottagaremed extremt hög renhet, god beläggningsjämnhet och utmärkt livslängd, samt hög kemisk resistens och termisk stabilitet.
VET Energy använder högren grafit med CVD-SiC-beläggning för att förbättra den kemiska stabiliteten:
1. Grafitmaterial med hög renhet
Hög värmeledningsförmåga: Grafits värmeledningsförmåga är tre gånger högre än kisels, vilket snabbt kan överföra värme från värmekällan till skivan och förkorta uppvärmningstiden.
Mekanisk hållfasthet: Isostatisk tryckgrafitdensitet ≥ 1,85 g/cm³, tål höga temperaturer över 1200 ℃ utan deformation.
2. CVD SiC-beläggning
Ett β-SiC-skikt bildas på grafitens yta genom kemisk ångavsättning (CVD), med en renhet på ≥ 99,99995 %, likformighetsfelet för beläggningstjockleken är mindre än ± 5 % och ytjämnheten är mindre än Ra0,5 um.
3. Prestandaförbättring:
Korrosionsbeständighet: tål starkt korrosiva gaser som Cl2, HCl etc., kan förlänga livslängden för GaN-epitaxin med tre gånger i NH3-miljö.
Termisk stabilitet: Värmeutvidgningskoefficienten (4,5 × 10⁻⁶/℃) matchar grafiten för att undvika sprickbildning i beläggningen orsakad av temperaturfluktuationer.
Hårdhet och slitstyrka: Vickers-hårdheten når 28 GPa, vilket är 10 gånger högre än grafit och kan minska risken för repor på skivor.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / Kornstorlek | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Böjhållfasthet | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermajagLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag som fokuserar på utveckling och produktion av avancerade material av högsta kvalitet. Materialen och tekniken inkluderar grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning etc. Dessa produkter används ofta inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.
Vårt tekniska team kommer från ledande inhemska forskningsinstitutioner och har utvecklat flera patenterade tekniker för att säkerställa produktens prestanda och kvalitet, och kan också förse kunderna med professionella materiallösningar.
