Tønnemottakerer en kjernekomponent i halvlederepitaksiale vekstprosesser som MOCVD, MBE og CVD. Den brukes hovedsakelig til å bære wafere i høytemperaturreaksjonskamre og gi et jevnt og stabilt termisk feltmiljø for å sikre presis avsetning av epitaksiale lag (som GaN, SiC osv.). Kjernefunksjonen er å oppnå høy ensartethet av waferoverflatetemperaturen gjennom presis termisk feltkontroll, og dermed sikre tykkelsen, dopingkonsentrasjonen og krystallstrukturen til epitaksiale tynne filmer.
Vi bruker vår patenterte teknologi for å lagetønnemottakermed ekstremt høy renhet, god beleggjevnhet og utmerket levetid, samt høy kjemisk motstand og termiske stabilitetsegenskaper.
VET Energy bruker grafitt med høy renhet med CVD-SiC-belegg for å forbedre den kjemiske stabiliteten:
1. Grafittmateriale med høy renhet
Høy varmeledningsevne: Varmeledningsevnen til grafitt er tre ganger så høy som silisium, noe som raskt kan overføre varme fra varmekilden til skiven og forkorte oppvarmingstiden.
Mekanisk styrke: Isostatisk trykkgrafitttetthet ≥ 1,85 g/cm³, i stand til å motstå høye temperaturer over 1200 ℃ uten deformasjon.
2. CVD SiC-belegg
Et β-SiC-lag dannes på overflaten av grafitt ved kjemisk dampavsetning (CVD), med en renhet på ≥ 99,99995 %, ensartethetsfeilen i beleggtykkelsen er mindre enn ± 5 %, og overflateruheten er mindre enn Ra0,5 um.
3. Ytelsesforbedring:
Korrosjonsbestandighet: tåler sterkt korrosive gasser som Cl2, HCl osv., kan forlenge levetiden til GaN-epitaksi med tre ganger i NH3-miljøet.
Termisk stabilitet: Termisk utvidelseskoeffisient (4,5 × 10⁻⁶/℃) samsvarer med grafitt for å unngå sprekkdannelser i belegget forårsaket av temperatursvingninger.
Hardhet og slitestyrke: Vickers-hardheten når 28 GPa, som er 10 ganger høyere enn grafitt og kan redusere risikoen for riper i skiver.
| Hjerte- og kardiovaskulær sykdom SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
| 晶体结构 / Krystallstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tetthet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardhet | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kjemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermalKonduktivitet | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på utvikling og produksjon av avanserte materialer i høy kvalitet. Materialene og teknologien inkluderer grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Disse produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og har utviklet flere patenterte teknologier for å sikre produktets ytelse og kvalitet, og kan også gi kundene profesjonelle materialløsninger.
