קאַסטאַמייזד SiC קאָוטאַד פאַס סאַסעפּטאָר

קורצע באַשרייַבונג:

וועט ענערגיע איז א פראפעסיאנעלער פאבריקאנט און סופלייער פון SiC באדעקטע בעראל סוספעקטאָרן אין כינע. מיר אנטוויקלען כסדר פארגעשריטענע פראצעסן צו צושטעלן מער פארגעשריטענע מאַטעריאַלן, און מיר האבן אויסגעארבעט אן עקסקלוסיווע פּאַטענטירטע טעכנאָלאָגיע, וואָס קען מאַכן די פארבינדונג צווישן דער קאָוטינג און דעם סאַבסטראַט פעסטער און ווייניקער פּראָנע צו אָפּטייל. ברוכים הבאים צו באַזוכן אונדזער פאַבריק און מיר קוקן פאָרויס צו זיין אייער לאַנג-טערמין שותף אין כינע.

שיקט אַן אימעיל צו אונדז אראָפּלאָדן ווי PDF

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

פאַס סאַסעפּטאָראיז אַ קערן קאָמפּאָנענט אין האַלב-קאָנדוקטאָר עפּיטאַקסיאַל וווּקס פּראָצעסן ווי MOCVD, MBE, CVD. עס ווערט דער הויפּט גענוצט צו טראָגן וועיפערס אין הויך-טעמפּעראַטור רעאַקציע קאַמערן און צושטעלן אַ מונדיר און סטאַביל טערמיש פעלד סביבה צו ענשור פּינקטלעך דעפּאָזיציע פון עפּיטאַקסיאַל לייַערס (אַזאַ ווי GaN, SiC, עטק.). זיין קערן פונקציע איז צו דערגרייכן הויך מונדיר פון וועיפער ייבערפלאַך טעמפּעראַטור דורך פּינקטלעך טערמיש פעלד קאָנטראָל, דערמיט ענשורינג די גרעב, דאָפּינג קאַנסאַנטריישאַן, און קריסטאַל סטרוקטור מונדיר פון עפּיטאַקסיאַל דין פילמען.

מיר ניצן אונדזער פּאַטענטירטע טעכנאָלאָגיע צו מאַכן דיפאַס סאַסעפּטאָרמיט גאָר הויכער ריינקייט, גוטע קאָוטינג איינהייטלעכקייט און אַן אויסגעצייכנט סערוויס לעבן, ווי אויך הויכע כעמישער קעגנשטעל און טערמישע פעסטקייט אייגנשאַפטן.

וועט ענערגיע ניצט הויך-ריינקייט גראַפיט מיט CVD-SiC קאָוטינג צו פֿאַרבעסערן די כעמישע פעסטקייט:

1. הויך ריינקייט גראַפיט מאַטעריאַל
הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי: די טערמישע קאַנדאַקטיוויטי פון גראַפיט איז דריי מאָל אַז פון סיליקאָן, וואָס קענען געשווינד אַריבערפירן היץ פון די באַהיצונג מקור צו די ווייפער און פאַרקירצן די באַהיצונג צייט.
מעכאנישע שטאַרקייט: איזאָסטאַטיש דרוק גראַפיט געדיכטקייט ≥ 1.85 ג/קמ³, טויגעוודיק צו וויטשטיין הויך טעמפּעראַטורן העכער 1200 ℃ אָן דעפאָרמאַציע.

2. CVD SiC קאָוטינג
א β-SiC שיכט ווערט געשאפן אויף דער ייבערפלאך פון גראַפיט דורך כעמישע פארע דעפּאַזישאַן (CVD), מיט אַ ריינקייט פון ≥ 99.99995%, די יוניפאָרמאַטי טעות פון קאָוטינג גרעב איז ווייניקער ווי ± 5%, און די ייבערפלאך ראַפנאַס איז ווייניקער ווי Ra0.5um.

3. פֿאַרבעסערונג פֿון פאָרשטעלונג:
קעראָוזשאַן קעגנשטעל: קען אַנטקעגנשטעלן הויך קעראָוזיוו גאַזן אַזאַ ווי Cl2, HCl, עטק, קען פאַרלענגערן די לעבן פון GaN עפּיטאַקסי מיט דריי מאָל אין די NH3 סוויווע.
טערמישע פעסטקייט: דער קאעפיציענט פון טערמישער אויסברייטונג (4.5 × 10-6/℃) איז גלייך מיט גראַפיט כדי צו פארמיידן קראַקינג אין די קאָוטינג, געפֿירט דורך טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס.
כאַרטקייט און טראָגן קעגנשטעל: די וויקערס כאַרטקייט דערגרייכט 28 GPa, וואָס איז 10 מאָל העכער ווי גראַפיט און קען רעדוצירן דעם ריזיקירן פון וועיפער סקראַטשיז.

קאַרדיאָוואַסקולאַרע קרענק (CVD) SiC薄膜基本物理性能 גרונטלעכע פיזישע אייגנשאפטן פון CVD SiCבאַדעקונג
性质 / פאַרמעגן	典型数值 / טיפּישער ווערט
晶体结构 / קריסטאַל סטרוקטור	FCC β פאַזע多晶，主要为（111）取向
密度 / געדיכטקייט	3.21 ג/קמ³
硬度 / האַרטקייט	2500 维氏硬度（500ג מאַסע）
晶粒大小 / גריין גרייס	2~10μm
纯度 / כעמישע ריינקייט	99.99995%
热容 / היץ קאַפּאַציטעט	640 דזש·ק״ג^-1·ק^-1
升华温度 / סובלימאַציע טעמפּעראַטור	2700℃
抗弯强度 / בייגנדיק שטאַרקייט	415 MPa RT 4-פונקט
杨氏模量 יונגס מאָדולוס	430 Gpa 4pt בייגן, 1300℃
导热系数 / טערמאַלקאָנדוקטיוויטי	300 וואט·מ^-1·ק^-1
热膨胀系数 / טערמישע עקספּאַנשאַן (CTE)	4.5×10^-6K^-1

נינגבאָ וועט ענערגיע טעכנאָלאָגיע קאָו., לטד איז אַ הויך-טעק ענטערפּרייז פאָקוסירט אויף דער אַנטוויקלונג און פּראָדוקציע פון הויך-סוף אַוואַנסירטע מאַטעריאַלן, די מאַטעריאַלן און טעכנאָלאָגיע אַרייַנגערעכנט גראַפיט, סיליקאָן קאַרבייד, קעראַמיק, ייבערפלאַך באַהאַנדלונג ווי SiC קאָוטינג, TaC קאָוטינג, גלאַסי קאַרבאָן קאָוטינג, פּיראָליטיק קאַרבאָן קאָוטינג, אאז"ו ו, די פּראָדוקטן זענען וויידלי געניצט אין פאָטאָוואָלטאַיק, האַלב-קאָנדוקטאָר, נייַע ענערגיע, מעטאַלורגיע, אאז"ו ו.

אונדזער טעכנישער מאַנשאַפֿט קומט פֿון די בעסטע דינער פֿאָרשונג אינסטיטוציעס, און האָבן אַנטוויקלט קייפל פּאַטענטירטע טעכנאָלאָגיעס צו ענשור פּראָדוקט פאָרשטעלונג און קוואַליטעט, און קענען אויך צושטעלן קאַסטאַמערז מיט פּראָפֿעסיאָנעלע מאַטעריאַל לייזונגען.