Barrel susceptorMOCVD, MBE, CVD kabi yarimo'tkazgichli epitaksial o'sish jarayonlarida asosiy komponent hisoblanadi. U asosan yuqori haroratli reaksiya kameralarida gofretlarni tashish va epitaksial qatlamlarning (masalan, GaN, SiC va boshqalar) aniq cho'kishini ta'minlash uchun bir xil va barqaror issiqlik maydoni muhitini ta'minlash uchun ishlatiladi. Uning asosiy vazifasi aniq issiqlik maydonini boshqarish orqali gofret sirt haroratining yuqori bir xilligiga erishish, shu bilan epitaksial yupqa plyonkalarning qalinligi, qo'shimcha konsentratsiyasi va kristall tuzilishining bir xilligini ta'minlashdir.
Biz patentlangan texnologiyamizdan foydalanib, quyidagilarni yaratamizbarrel susceptorjuda yuqori tozaligi, yaxshi qoplama bir xilligi va a'lo xizmat muddati, shuningdek, yuqori kimyoviy qarshilik va termal barqarorlik xususiyatlariga ega.
VET Energy kimyoviy barqarorlikni oshirish uchun CVD-SiC qoplamali yuqori tozalikdagi grafitdan foydalanadi:
1. Yuqori tozalikdagi grafit materiali
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: grafitning issiqlik o'tkazuvchanligi kremniynikidan uch baravar yuqori, bu esa issiqlikni isitish manbasidan gofretga tezda o'tkazishi va isitish vaqtini qisqartirishi mumkin.
Mexanik mustahkamlik: Izostatik bosimli grafit zichligi ≥ 1,85 g/sm³, 1200 ℃ dan yuqori yuqori haroratlarga deformatsiyasiz bardosh bera oladi.
2. CVD SiC qoplamasi
Grafit yuzasida kimyoviy bug' cho'ktirish (CVD) orqali β-SiC qatlami hosil bo'ladi, uning sofligi ≥ 99.99995%, qoplama qalinligining bir xillik xatosi ± 5% dan kam va sirt pürüzlülüğü Ra0.5um dan kam.
3. Ishlashni yaxshilash:
Korroziyaga chidamlilik: Cl2, HCl va boshqalar kabi yuqori korroziyali gazlarga bardosh bera oladi, NH3 muhitida GaN epitaksiyasining ishlash muddatini uch baravar uzaytirishi mumkin.
Issiqlik barqarorligi: Issiqlik kengayish koeffitsienti (4,5 × 10-6 / ℃) harorat o'zgarishi natijasida qoplamaning yorilishining oldini olish uchun grafitga mos keladi.
Qattiqlik va aşınmaya bardoshlilik: Vickers qattiqligi 28 GPa ga etadi, bu grafitdan 10 baravar yuqori va gofret tirnalish xavfini kamaytirishi mumkin.
| Yurak-qon tomir kasalliklari SiClíngíngíngíngyínín CVD SiC ning asosiy fizik xususiyatlariqoplama | |
| mí / Mulk | chàngǎng / Odatdagi qiymat |
| míngíní / Kristall tuzilishi | FCC β fazasimìní，sīngīdḺ（111）jàn |
| qín / Zichlik | 3,21 g/sm³ |
| yán / Qattiqlik | 2500 língínín（500g yuk） |
| língjín / Don SiZe | 2~10 μm |
| yān / Kimyoviy tozalik | 99.99995% |
| yān / Issiqlik sig'imi | 640 J·kg-1·K-1 |
| chàngìnìnẦ / Sublimatsiya harorati | 2700℃ |
| làngāngān / Bükülme kuchi | 415 MPa RT 4 nuqtali |
| mēngǎngín / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt egilish, 1300℃ |
| língjíní / TermalO'tkazuvchanlik | 300 Vt·m-1·K-1 |
| língíngín / Issiqlik kengayishi (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd yuqori texnologiyali korxona bo'lib, yuqori darajadagi ilg'or materiallarni, jumladan, grafit, kremniy karbidi, keramika, SiC qoplamasi, TaC qoplamasi, shishasimon uglerod qoplamasi, pirolitik uglerod qoplamasi va boshqalarni o'z ichiga olgan materiallar va texnologiyalarni ishlab chiqish va ishlab chiqarishga ixtisoslashgan bo'lib, ushbu mahsulotlar fotovoltaik, yarimo'tkazgichlar, yangi energiya, metallurgiya va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi.
Bizning texnik jamoamiz eng yaxshi mahalliy tadqiqot institutlaridan keladi va mahsulotning ishlashi va sifatini ta'minlash uchun bir nechta patentlangan texnologiyalarni ishlab chiqdi, shuningdek, mijozlarga professional material yechimlarini taqdim etishi mumkin.
