Barrel sezgichiMOCVD, MBE, CVD kabi yarimo'tkazgich epitaksial o'sish jarayonlarida asosiy komponent hisoblanadi. U asosan yuqori haroratli reaktsiya kameralarida gofretlarni tashish uchun ishlatiladi va epitaksial qatlamlarning (masalan, GaN, SiC va boshqalar) aniq yotqizilishini ta'minlash uchun bir xil va barqaror termal maydon muhitini ta'minlaydi. Uning asosiy vazifasi - aniq termal maydon nazorati orqali gofret sirt haroratining yuqori bir xilligiga erishish va shu bilan epitaksial yupqa plyonkalarning qalinligi, doping kontsentratsiyasi va kristal tuzilishining bir xilligini ta'minlash.
Ishlab chiqarish uchun biz patentlangan texnologiyamizdan foydalanamizbarrel sensorijuda yuqori tozaligi, yaxshi qoplama bir xilligi va mukammal xizmat muddati, shuningdek, yuqori kimyoviy qarshilik va termal barqarorlik xususiyatlariga ega.
VET Energy kimyoviy barqarorlikni oshirish uchun CVD-SiC qoplamali yuqori toza grafitdan foydalanadi:
1. Yuqori tozalikdagi grafit materiali
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: grafitning issiqlik o'tkazuvchanligi kremniynikidan uch barobar ko'p, issiqlikni isitish manbasidan gofretga tezda o'tkazishi va isitish vaqtini qisqartirishi mumkin.
Mexanik quvvat: Izostatik bosim grafit zichligi ≥ 1,85 g/sm³, deformatsiyasiz 1200 ℃ dan yuqori haroratlarga bardosh bera oladi.
2. CVD SiC qoplamasi
B - SiC qatlami grafit yuzasida kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD) bilan hosil bo'ladi, tozaligi ≥ 99,99995%, qoplama qalinligining bir xillik xatosi ±5% dan kam, sirt pürüzlülüğü Ra0,5um dan kam.
3. Ishlash samaradorligini oshirish:
Korroziyaga chidamlilik: Cl2, HCl va boshqalar kabi yuqori korroziy gazlarga bardosh bera oladi, NH3 muhitida GaN epitaksisining ishlash muddatini uch barobarga uzaytirishi mumkin.
Issiqlik barqarorligi: Issiqlik kengayish koeffitsienti (4,5 × 10-6 / ℃) harorat o'zgarishi natijasida yuzaga keladigan qoplama yorilishiga yo'l qo'ymaslik uchun grafitga mos keladi.
Qattiqlik va aşınma qarshiligi: Vickers qattiqligi 28 GPa ga etadi, bu grafitdan 10 baravar yuqori va gofret tirnalgan xavfini kamaytirishi mumkin.
| CVD SiClíngíngíngíngyínín CVD SiC ning asosiy fizik xususiyatlariqoplama | |
| mí / Mulk | chàngǎng / Oddiy qiymat |
| língíngín / Kristal tuzilishi | FCC b fazasimìní,sīngīdḺ(111)jàn |
| qín / Zichlik | 3,21 g/sm³ |
| yán / Qattiqlik | 2500 língínín(500g yuk) |
| língjín / Don hajmi | 2 ~ 10 mkm |
| yáng / Kimyoviy tozalik | 99,99995% |
| yān / Issiqlik sig'imi | 640 J·kg-1· K-1 |
| chàngìnìnẦ / Sublimatsiya harorati | 2700 ℃ |
| làngāngān / Egilish kuchi | 415 MPa RT 4 nuqtali |
| lííííí / Young moduli | 430 Gpa 4pt egilish, 1300 ℃ |
| língíní / TermalO'tkazuvchanlik | 300 Vt·m-1· K-1 |
| língíngín / Termal kengayish (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd yuqori darajadagi ilg'or materiallar, materiallar va texnologiyalarni ishlab chiqish va ishlab chiqarishga qaratilgan yuqori texnologiyali korxona bo'lib, grafit, silikon karbid, keramika, SiC qoplamasi, TaC qoplamasi, shishasimon uglerod qoplamasi, pirolitik uglerod qoplamasi va boshqalar kabi sirtni qayta ishlash, bu mahsulotlar keng tarqalgan bo'lib qo'llaniladi.
Bizning texnik guruhimiz eng yaxshi mahalliy ilmiy-tadqiqot institutlaridan keladi va mahsulotning ishlashi va sifatini ta'minlash uchun bir nechta patentlangan texnologiyalarni ishlab chiqdi, shuningdek, mijozlarga professional moddiy echimlarni taqdim etishi mumkin.
-
Tantal karbid qoplamali yarim oy qismi
-
5 kVt yangi texnologiya Yaxshi ishlash SOFC quvvati ...
-
SiC qoplamali uglerod-uglerodli kompozit plastinka
-
Yuqori toza yuqori haroratga chidamli grafit ...
-
Termal moslashuvchan grafit qog'oz elektr tokini o'tkazadi ...
-
125KW avtomobil proton almashinuvi membranasi vodorod ...




