Prilagođeni susceptor cijevi obložen SiC-om

Susceptor bačveje ključna komponenta u procesima epitaksijalnog rasta poluprovodnika kao što su MOCVD, MBE, CVD. Uglavnom se koristi za nošenje pločica u reakcijskim komorama na visokim temperaturama i obezbjeđivanje ujednačenog i stabilnog okruženja termičkog polja kako bi se osiguralo precizno nanošenje epitaksijalnih slojeva (kao što su GaN, SiC, itd.). Njegova osnovna funkcija je postizanje visoke ujednačenosti temperature površine pločice putem precizne kontrole termičkog polja, čime se osigurava ujednačenost debljine, koncentracije dopiranja i kristalne strukture epitaksijalnih tankih filmova.

Koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo napravilisusceptor cijevisa izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i odličnim vijekom trajanja, kao i visokom hemijskom otpornošću i termičkom stabilnošću.

VET Energy koristi grafit visoke čistoće sa CVD-SiC premazom kako bi poboljšao hemijsku stabilnost:

1. Grafitni materijal visoke čistoće
Visoka toplotna provodljivost: toplotna provodljivost grafita je tri puta veća od toplotne provodljivosti silicija, što može brzo prenijeti toplotu od izvora toplote do pločice i skratiti vrijeme zagrijavanja.
Mehanička čvrstoća: Gustina grafita pri izostatičkom pritisku ≥ 1,85 g/cm³, sposoban da izdrži visoke temperature iznad 1200 ℃ bez deformacije.

2. CVD SiC premaz
Sloj β-SiC se formira na površini grafita hemijskim taloženjem iz pare (CVD), sa čistoćom od ≥ 99,99995%, greška ujednačenosti debljine premaza je manja od ±5%, a hrapavost površine je manja od Ra0,5um.

3. Poboljšanje performansi:
Otpornost na koroziju: može izdržati visoke korozivne gasove kao što su Cl2, HCl itd., može produžiti vijek trajanja GaN epitaksije za tri puta u NH3 okruženju.
Termička stabilnost: Koeficijent termičkog širenja (4,5 × 10-6/℃) odgovara grafitu kako bi se izbjeglo pucanje premaza uzrokovano temperaturnim fluktuacijama.
Tvrdoća i otpornost na habanje: Vickersova tvrdoća dostiže 28 GPa, što je 10 puta više od grafita i može smanjiti rizik od ogrebotina na pločici.