Баррелдик сусцепторMOCVD, MBE, CVD сыяктуу жарым өткөргүч эпитаксиалдык өсүү процесстериндеги негизги компонент болуп саналат. Ал негизинен жогорку температуралуу реакция камераларында пластиналарды ташуу жана эпитаксиалдык катмарлардын (мисалы, GaN, SiC ж.б.) так чөкмөсүн камсыз кылуу үчүн бирдей жана туруктуу жылуулук талаасынын чөйрөсүн камсыз кылуу үчүн колдонулат. Анын негизги функциясы - так жылуулук талаасын башкаруу аркылуу пластинанын бетинин температурасынын жогорку бирдейлигине жетүү, ошону менен эпитаксиалдык жука пленкалардын калыңдыгын, легирлөө концентрациясын жана кристаллдык түзүлүштүн бирдейлигин камсыз кылуу.
Биз патенттелген технологиябызды колдонуп, төмөнкүлөрдү жасайбыз:баррелдик сусцепторөтө жогорку тазалыгы, жакшы каптоо бирдейлиги жана эң сонун кызмат мөөнөтү, ошондой эле жогорку химиялык каршылык жана термикалык туруктуулук касиеттери менен.
VET Energy химиялык туруктуулукту жогорулатуу үчүн CVD-SiC каптамасы бар жогорку тазалыктагы графитти колдонот:
1. Жогорку тазалыктагы графит материалы
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү: графиттин жылуулук өткөрүмдүүлүгү кремнийдикине караганда үч эсе жогору, ал жылуулукту жылытуу булагынан пластинага тез өткөрүп, жылытуу убактысын кыскартат.
Механикалык бекемдиги: Изостатикалык басымдагы графиттин тыгыздыгы ≥ 1,85 г/см³, деформациясыз 1200 ℃ жогору жогорку температурага туруштук бере алат.
2. CVD SiC каптоосу
Графиттин бетинде химиялык буу чөктүрүү (CVD) аркылуу β-SiC катмары пайда болот, анын тазалыгы ≥ 99.99995% түзөт, каптоо калыңдыгынын бирдейлик катасы ±5% дан аз, ал эми беттин оройлугу Ra0.5um дан аз.
3. Иштин натыйжалуулугун жогорулатуу:
Коррозияга туруктуулук: Cl2, HCl ж.б. сыяктуу жогорку коррозиялык газдарга туруштук бере алат, NH3 чөйрөсүндө GaN эпитаксиясынын иштөө мөөнөтүн үч эсеге узарта алат.
Жылуулук туруктуулугу: Температуранын өзгөрүшүнөн улам пайда болгон каптоо жаракаларын болтурбоо үчүн жылуулук кеңейүү коэффициенти (4,5 × 10-6/℃) графит менен дал келет.
Катуулук жана эскирүүгө туруктуулук: Виккерстин катуулугу 28 ГПага жетет, бул графитке караганда 10 эсе жогору жана пластинанын чийилип калуу коркунучун азайтат.
| жүрөк-кан тамыр оорулары SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC негизги физикалык касиеттерикаптоо | |
| 性质 / Мүлк | 典型数值 / Типтүү маани |
| 晶体结构 / Кристаллдык түзүлүш | FCC β фазасы多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Тыгыздык | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Катуулугу | 2500 维氏硬度（500г жүк） |
| 晶粒大小 / Дандын өлчөмү | 2~10 мкм |
| 纯度 / Химиялык тазалык | 99.99995% |
| 热容 / Жылуулук сыйымдуулугу | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Сублимация температурасы | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Ийилүүнүн күчү | 415 МПа RT 4-чекиттүү |
| 杨氏模量 / Янгдын модулу | 430 ГПа 4pt ийилүү, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалӨткөргүчтүк | 300 Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Жылуулук кеңейүүсү (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd компаниясы жогорку класстагы өнүккөн материалдарды, анын ичинде графит, кремний карбиди, керамика, SiC каптоо, TaC каптоо, айнек көмүртек каптоо, пиролитикалык көмүртек каптоо ж.б. сыяктуу беттик иштетүүлөрдү иштеп чыгууга жана өндүрүүгө багытталган жогорку технологиялуу ишкана болуп саналат, бул продукциялар фотоэлектрдик, жарым өткөргүчтөр, жаңы энергетика, металлургия ж.б. тармактарда кеңири колдонулат.
Биздин техникалык команда алдыңкы ата мекендик изилдөө институттарынан келип, продукциянын иштешин жана сапатын камсыз кылуу үчүн бир нече патенттелген технологияларды иштеп чыгышкан, ошондой эле кардарларга кесипкөй материалдык чечимдерди сунуштай алышат.
-
Тантал карбидин (TaC) каптоо өндүрүүчүсү ...
-
Майланган графит таякчасы
-
Графит жана көмүртек шакекчелери арзан баада
-
Электрондук насос графит насосунун валы жеңи жогорку...
-
Pemfc Stack суутек отуну клеткасынын кубаттуулук системасы 2000w
-
Жогорку тыгыздыктагы графит втулкалуу вакуумдук насостун графиги...