Ыңгайлаштырылган SiC капталган баррель Susceptor

Баррель сезгичMOCVD, MBE, CVD сыяктуу жарым өткөргүчтүү эпитаксиалдык өсүү процесстеринин негизги компоненти. Ал, негизинен, жогорку температуралык реакция камераларында пластиналарды алып жүрүү үчүн колдонулат жана эпитаксиалдык катмарлардын (мисалы, GaN, SiC ж. Анын негизги милдети так жылуулук талаасын башкаруу аркылуу пластинка бетинин температурасынын жогорку бирдейлигине жетишүү, ошону менен эпитаксиалдык жука пленкалардын калыңдыгын, допинг концентрациясын жана кристалл структурасынын бирдейлигин камсыз кылуу.

Биз өзүбүздүн патенттелген технологиябызды жасайбызбаррель сезгичөтө жогорку тазалыгы, жакшы жабуунун бирдейлиги жана мыкты кызмат мөөнөтү, ошондой эле жогорку химиялык туруктуулук жана жылуулук туруктуулук касиеттери менен.

VET Energy химиялык туруктуулукту жогорулатуу үчүн CVD-SiC капталган жогорку тазалыктагы графитти колдонот:

1. Жогорку тазалыктагы графит материалы
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк: графиттин жылуулук өткөргүчтүгү кремнийдикинен үч эсе көп, ал жылуулукту жылытуу булагынан пластинкага тез өткөрүп, жылытуу убактысын кыскарта алат.
Механикалык күч: изостатикалык басымдын графит тыгыздыгы ≥ 1,85 г/см³, деформациясыз 1200 ℃ жогору жогорку температурага туруштук бере алат.

2. CVD SiC каптоо
Графиттин бетинде β - SiC катмары химиялык бууларды чөктүрүүдө (CVD) түзүлөт, тазалыгы ≥ 99,99995%, каптоо калыңдыгынын бир тектүү катасы ±5%тен аз, бетинин тегиздиги Ra0,5um кем.

3. Иштин натыйжалуулугун жогорулатуу:
Коррозияга туруштук берүү: Cl2, HCl, ж.
Жылуулук туруктуулугу: Термикалык кеңейүү коэффициенти (4,5 × 10-6 / ℃) графитке дал келет, бул температуранын өзгөрүшүнөн пайда болгон каптоо жаракаларын болтурбоо үчүн.
Катуулугу жана эскирүү туруктуулугу: Vickers катуулугу 28 GPa жетет, бул графиттен 10 эсе жогору жана пластинка чийилип калуу коркунучун азайтат.