ឧបករណ៍ទទួលបន្ទុកធុងគឺជាសមាសធាតុស្នូលនៅក្នុងដំណើរការលូតលាស់ epitaxial semiconductor ដូចជា MOCVD, MBE, CVD។ វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីផ្ទុកបន្ទះ wafer នៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងផ្តល់នូវបរិយាកាសវាលកម្ដៅឯកសណ្ឋាន និងស្ថិរភាព ដើម្បីធានាបាននូវការដាក់ស្រទាប់ epitaxial យ៉ាងច្បាស់លាស់ (ដូចជា GaN, SiC ជាដើម)។ មុខងារស្នូលរបស់វាគឺដើម្បីសម្រេចបាននូវឯកសណ្ឋានខ្ពស់នៃសីតុណ្ហភាពផ្ទៃបន្ទះ wafer តាមរយៈការគ្រប់គ្រងវាលកម្ដៅដ៏ច្បាស់លាស់ ដោយហេតុនេះធានាបាននូវកម្រាស់ កំហាប់សារធាតុដូពីង និងឯកសណ្ឋានរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើង epitaxial។
យើងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាដែលមានប៉ាតង់របស់យើង ដើម្បីធ្វើឱ្យឧបករណ៍ទទួលធុងជាមួយនឹងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត ឯកសណ្ឋាននៃថ្នាំកូតល្អ និងអាយុកាលសេវាកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ក៏ដូចជាភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិស្ថេរភាពកម្ដៅ។
VET Energy ប្រើប្រាស់ក្រាហ្វីតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជាមួយនឹងថ្នាំកូត CVD-SiC ដើម្បីបង្កើនស្ថេរភាពគីមី៖
១. សម្ភារៈក្រាហ្វីតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់
ចរន្តកំដៅខ្ពស់៖ ចរន្តកំដៅនៃក្រាហ្វីតគឺបីដងនៃស៊ីលីកុន ដែលអាចផ្ទេរកំដៅពីប្រភពកំដៅទៅបន្ទះ wafer បានយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងកាត់បន្ថយពេលវេលាកំដៅ។
កម្លាំងមេកានិច៖ សម្ពាធអ៊ីសូស្តាទិចដង់ស៊ីតេក្រាហ្វីត ≥ 1.85 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប មានសមត្ថភាពទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់លើសពី 1200 ℃ ដោយមិនខូចទ្រង់ទ្រាយ។
2. ថ្នាំកូត SiC CVD
ស្រទាប់ β - SiC ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃក្រាហ្វីតដោយការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ដោយមានភាពបរិសុទ្ធ ≥ 99.99995% កំហុសឯកសណ្ឋាននៃកម្រាស់ថ្នាំកូតគឺតិចជាង ± 5% និងភាពរដុបនៃផ្ទៃគឺតិចជាង Ra0.5um។
៣. ការកែលម្អប្រសិទ្ធភាព៖
ភាពធន់នឹងការច្រេះ៖ អាចទប់ទល់នឹងឧស្ម័នច្រេះខ្ពស់ដូចជា Cl2, HCl ជាដើម អាចពន្យារអាយុកាលរបស់ GaN epitaxy បានបីដងនៅក្នុងបរិស្ថាន NH3។
ស្ថេរភាពកម្ដៅ៖ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (4.5 × 10-6/℃) ត្រូវគ្នានឹងក្រាហ្វីត ដើម្បីជៀសវាងការប្រេះថ្នាំកូតដែលបណ្តាលមកពីការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព។
ភាពរឹង និងភាពធន់នឹងការពាក់៖ ភាពរឹងរបស់ Vickers ឈានដល់ 28 GPa ដែលខ្ពស់ជាងក្រាហ្វីត 10 ដង និងអាចកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការកោសបន្ទះសៀគ្វី។
| ជំងឺ CVD SiC薄膜基本物理性能 លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តជាមូលដ្ឋាននៃ CVD SiCថ្នាំកូត | |
| 性质 / អចលនទ្រព្យ | 典型数值 / តម្លៃធម្មតា |
| 晶体结构 / រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ | ដំណាក់កាល FCC β多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / ដង់ស៊ីតេ | ៣,២១ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| 硬度 / ភាពរឹង | 2500 维氏硬度 (ផ្ទុក 500 ក្រាម) |
| 晶粒大小 / ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ | ២~១០ មីក្រូម៉ែត្រ |
| 纯度 / ភាពបរិសុទ្ធគីមី | ៩៩.៩៩៩៩៥% |
| 热内 / សមត្ថភាពកំដៅ | ៦៤០ ជូល·គីឡូក្រាម-1·ខេ-1 |
| 升华温度 / សីតុណ្ហភាពនៃការរលាយ | ២៧០០អង្សាសេ |
| 抗弯强度 / កម្លាំងបត់បែន | ៤១៥ MPa RT ៤ ចំណុច |
| 杨氏模量 / ម៉ូឌុលរបស់យ៉ង់ | ពត់ ៤៣០ Gpa ៤pt, ១៣០០℃ |
| 导热系数 / ទែរម៉ាលីត្រចរន្តអគ្គិសនី | ៣០០វ៉ាត់·ម៉ែត្រ-1·ខេ-1 |
| 热膨胀系数 / ការពង្រីកកម្ដៅ (CTE) | ៤.៥ × ១០-6K-1 |
ក្រុមហ៊ុន Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd គឺជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់មួយដែលផ្តោតលើការអភិវឌ្ឍ និងផលិតវត្ថុធាតុដើមទំនើបៗ សម្ភារៈ និងបច្ចេកវិទ្យារួមមាន ក្រាហ្វីត ស៊ីលីកុនកាប៊ីត សេរ៉ាមិច ការព្យាបាលលើផ្ទៃដូចជាថ្នាំកូត SiC ថ្នាំកូត TaC ថ្នាំកូតកាបូនកញ្ចក់ ថ្នាំកូតកាបូន pyrolytic ជាដើម ផលិតផលទាំងនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យ photovoltaic អេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលខ្លួន ថាមពលថ្មី លោហធាតុជាដើម។
ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូលៗ ហើយបានបង្កើតបច្ចេកវិទ្យាដែលមានប៉ាតង់ច្រើន ដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការ និងគុណភាពផលិតផល ហើយក៏អាចផ្តល់ជូនអតិថិជននូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈផងដែរ។
