Susceptor фармоишии SiC Камушки баррел

Ҳасбкунандаи баррелҷузъи асосии равандҳои афзоиши эпитаксиалии нимноқил ба монанди MOCVD, MBE, CVD мебошад. Он асосан барои интиқоли вафельҳо дар камераҳои реаксияи баландҳарорат истифода мешавад ва муҳити яксон ва устувори майдони гармиро таъмин мекунад, то ҷойгиршавии дақиқи қабатҳои эпитаксиалӣ (ба монанди GaN, SiC ва ғайра) таъмин карда шавад. Вазифаи асосии он ба даст овардани якрангии баланди ҳарорати сатҳи вафли тавассути назорати дақиқи майдони гармӣ ва ба ин васила таъмини ғафсӣ, консентратсияи допинг ва якрангии сохтори кристаллии филмҳои тунуки эпитаксиалӣ мебошад.

Мо технологияи патентшудаи худро барои сохтани он истифода мебаремҳассосияти баррелбо тозагии бениҳоят баланд, якрангии хуби пӯшиш ва мӯҳлати хизмати аъло, инчунин муқовимати баланди кимиёвӣ ва хосиятҳои устувории гармӣ.

VET Energy барои баланд бардоштани устувории кимиёвӣ графити тозаи баландро бо рӯйпӯши CVD-SiC истифода мебарад:

1. Маводи графити тозагии баланд
Кобилияти гармигузаронии баланд: гармигузаронии графит нисбат ба кремний се маротиба зиёд аст, ки метавонад гармиро аз манбаи гармидиҳӣ ба вафли зуд интиқол диҳад ва вақти гармиро кӯтоҳ кунад.
Қувваи механикӣ: Зичии графити фишори изостатикӣ ≥ 1,85 г/см ³, қодир аст ба ҳарорати баланд аз 1200 ℃ бе деформатсия тоб оварад.

2. Сарпӯши CVD SiC
Дар сатҳи графит дар натиҷаи таҳшиншавии буғи химиявӣ (CVD) қабати β - SiC ба вуҷуд меояд, ки тозагии ≥ 99,99995%, хатогии якрангии ғафсии рӯйпӯш камтар аз ±5% ва ноҳамвории сатҳ камтар аз Ra0,5um аст.

3. Баланд бардоштани самаранокӣ:
Муқовимат ба зангзанӣ: метавонад ба газҳои баланди зангзананда, аз қабили Cl2, HCl ва ғайра тоб оварад, метавонад мӯҳлати умри эпитаксияи GaN-ро дар муҳити NH3 се маротиба дароз кунад.
Устувории гармӣ: Коэффисиенти васеъшавии гармӣ (4,5 × 10-6 / ℃) ба графит мувофиқат мекунад, то аз крекинги рӯйпӯш, ки аз тағирёбии ҳарорат ба вуҷуд омадааст, пешгирӣ кунад.
Сахтӣ ва муқовимат ба фарсудашавӣ: Сахтии Викерс ба 28 GPa мерасад, ки аз графит 10 маротиба зиёдтар аст ва метавонад хатари харошидан вафлиро коҳиш диҳад.