Сусептори баррели бо пӯшонидашудаи SiC фармоишӣ

Санҷиши барреляк ҷузъи асосӣ дар равандҳои афзоиши эпитаксиалии нимноқилҳо, ба монанди MOCVD, MBE, CVD мебошад. Он асосан барои интиқоли вафлҳо дар камераҳои реаксияи ҳарорати баланд ва таъмини муҳити якхела ва устувори майдони гармӣ барои таъмини ҷойгиршавии дақиқи қабатҳои эпитаксиалӣ (ба монанди GaN, SiC ва ғайра) истифода мешавад. Вазифаи асосии он ба даст овардани якхелагии баланди ҳарорати сатҳи вафл тавассути назорати дақиқи майдони гармӣ мебошад, ки бо ин васила ғафсӣ, консентратсияи допинг ва якхелагии сохтори кристаллии плёнкаҳои тунуки эпитаксиалиро таъмин мекунад.

Мо технологияи патентшудаи худро барои сохтани он истифода мебаремсуссептори баррелӣбо тозагии бениҳоят баланд, якрангии хуби рӯйпӯш ва мӯҳлати аълои хизматрасонӣ, инчунин муқовимати баланди кимиёвӣ ва хосиятҳои устувории гармӣ.

Ширкати VET Energy барои баланд бардоштани устувории кимиёвӣ аз графити тозагии баланд бо пӯшиши CVD-SiC истифода мебарад:

1. Маводи графити покизагии баланд
Гузаронандагии гармии баланд: Гузаронандагии гармии графит се маротиба аз кремний зиёдтар аст, ки метавонад гармиро аз манбаи гармидиҳӣ ба пластина зуд интиқол диҳад ва вақти гармкуниро кӯтоҳ кунад.
Қувваи механикӣ: Зичии графитии фишори изостатикӣ ≥ 1.85 г/см³, қодир аст ҳарорати баланди аз 1200 ℃ болоро бидуни деформатсия тоб оварад.

2. Пӯшиши CVD SiC
Қабати β-SiC дар сатҳи графит тавассути таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD) бо покии ≥ 99.99995% ба вуҷуд меояд, хатогии якхелагии ғафсии рӯйпӯш камтар аз ±5% ва ноҳамвории сатҳ камтар аз Ra0.5um аст.

3. Беҳтар кардани фаъолият:
Муқовимат ба зангзанӣ: метавонад ба газҳои зангзанандаи баланд, ба монанди Cl2, HCl ва ғайра тоб оварад, метавонад мӯҳлати эпитаксии GaN-ро дар муҳити NH3 се маротиба дароз кунад.
Устувории гармӣ: Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ (4.5 × 10-6/℃) бо графит мувофиқат мекунад, то аз шикастани рӯйпӯш, ки аз тағирёбии ҳарорат ба вуҷуд меояд, пешгирӣ карда шавад.
Сахтӣ ва муқовимат ба фарсудашавӣ: Сахтии Викерс ба 28 ГПа мерасад, ки аз графит 10 маротиба баландтар аст ва метавонад хатари харошидани вафлро кам кунад.