Індивідуальний тосцеприймач циліндра з покриттям SiC

Бочковий сусцепторє основним компонентом у процесах епітаксіального вирощування напівпровідників, таких як MOCVD, MBE, CVD. Він в основному використовується для перенесення пластин у високотемпературні реакційні камери та забезпечення рівномірного та стабільного теплового поля для забезпечення точного осадження епітаксіальних шарів (таких як GaN, SiC тощо). Його основна функція полягає в досягненні високої однорідності температури поверхні пластини шляхом точного контролю теплового поля, тим самим забезпечуючи однорідність товщини, концентрації легування та кристалічної структури епітаксіальних тонких плівок.

Ми використовуємо нашу запатентовану технологію для виготовленнябочкоподібний токсцепторз надзвичайно високою чистотою, гарною рівномірністю покриття та чудовим терміном служби, а також високою хімічною стійкістю та термостабільністю.

VET Energy використовує високочистий графіт з покриттям CVD-SiC для підвищення хімічної стабільності:

1. Графітовий матеріал високої чистоти
Висока теплопровідність: теплопровідність графіту втричі перевищує теплопровідність кремнію, що дозволяє швидко передавати тепло від джерела нагрівання до пластини та скорочувати час нагрівання.
Механічна міцність: щільність графіту при ізостатичному тиску ≥ 1,85 г/см³, здатний витримувати високі температури понад 1200 ℃ без деформації.

2. Покриття SiC методом CVD
Шар β-SiC утворюється на поверхні графіту методом хімічного осадження з парової фази (CVD) з чистотою ≥ 99,99995%, похибка однорідності товщини покриття менше ±5%, а шорсткість поверхні менше Ra0,5 мкм.

3. Покращення продуктивності:
Корозійна стійкість: може витримувати вплив високоагресивних газів, таких як Cl2, HCl тощо, що може подовжити термін служби епітаксії GaN утричі в середовищі NH3.
Термічна стабільність: коефіцієнт теплового розширення (4,5 × 10-6/℃) відповідає графіту, що запобігає розтріскуванню покриття, спричиненому коливаннями температури.
Твердість та зносостійкість: твердість за Віккерсом досягає 28 ГПа, що в 10 разів вище, ніж у графіту, і може зменшити ризик подряпин на пластині.