தனிப்பயனாக்கப்பட்ட SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டர்

குறுகிய விளக்கம்:

VET எனர்ஜி என்பது சீனாவில் SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டரின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும். மேம்பட்ட பொருட்களை வழங்குவதற்காக நாங்கள் தொடர்ந்து மேம்பட்ட செயல்முறைகளை உருவாக்கி வருகிறோம், மேலும் பூச்சுக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான பிணைப்பை இறுக்கமாக்கும் மற்றும் பற்றின்மைக்கு குறைவான வாய்ப்பை ஏற்படுத்தும் பிரத்யேக காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தை உருவாக்கியுள்ளோம். எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட வரவேற்கிறோம், மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக இருக்க ஆவலுடன் காத்திருக்கிறோம்.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும் PDF ஆக பதிவிறக்கவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

பீப்பாய் சஸ்பெப்டர்MOCVD, MBE, CVD போன்ற குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். இது முக்கியமாக உயர் வெப்பநிலை எதிர்வினை அறைகளில் செதில்களை எடுத்துச் செல்லவும், எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் (GaN, SiC, முதலியன) துல்லியமான படிவை உறுதி செய்ய சீரான மற்றும் நிலையான வெப்ப புல சூழலை வழங்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. துல்லியமான வெப்ப புலக் கட்டுப்பாடு மூலம் செதில் மேற்பரப்பு வெப்பநிலையின் உயர் சீரான தன்மையை அடைவதே இதன் முக்கிய செயல்பாடு, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் மெல்லிய படலங்களின் தடிமன், ஊக்கமருந்து செறிவு மற்றும் படிக அமைப்பு சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

நாங்கள் எங்கள் காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்திபீப்பாய் சஸ்பெப்டர்மிக உயர்ந்த தூய்மை, நல்ல பூச்சு சீரான தன்மை மற்றும் சிறந்த சேவை வாழ்க்கை, அத்துடன் அதிக இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை பண்புகளுடன்.

வேதியியல் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த VET எனர்ஜி CVD-SiC பூச்சுடன் கூடிய உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்துகிறது:

1. உயர் தூய்மை கிராஃபைட் பொருள்
அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட மூன்று மடங்கு அதிகம், இது வெப்பமூட்டும் மூலத்திலிருந்து வேஃபருக்கு வெப்பத்தை விரைவாக மாற்றும் மற்றும் வெப்ப நேரத்தை குறைக்கும்.
இயந்திர வலிமை: ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் கிராஃபைட் அடர்த்தி ≥ 1.85 கிராம்/செ.மீ ³, 1200 ℃ க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையை சிதைவு இல்லாமல் தாங்கும் திறன் கொண்டது.

2. CVD SiC பூச்சு
கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) மூலம் ஒரு β - SiC அடுக்கு உருவாகிறது, இதன் தூய்மை ≥ 99.99995% ஆகும், பூச்சு தடிமனின் சீரான பிழை ±5% க்கும் குறைவாகவும், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra0.5um ஐ விட குறைவாகவும் உள்ளது.

3. செயல்திறன் மேம்பாடு:
அரிப்பு எதிர்ப்பு: Cl2, HCl போன்ற அதிக அரிக்கும் வாயுக்களைத் தாங்கும், NH3 சூழலில் GaN எபிடாக்ஸியின் ஆயுட்காலத்தை மூன்று மடங்கு நீட்டிக்கும்.
வெப்ப நிலைத்தன்மை: வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் பூச்சு விரிசல்களைத் தவிர்க்க வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் (4.5 × 10-6/℃) கிராஃபைட்டுடன் பொருந்துகிறது.
கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு: விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை 28 GPa ஐ அடைகிறது, இது கிராஃபைட்டை விட 10 மடங்கு அதிகம் மற்றும் வேஃபர் கீறல்களின் அபாயத்தைக் குறைக்கும்.

சிவிடி SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC இன் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்பூச்சு
性质 / சொத்து	典型数值 / வழக்கமான மதிப்பு
晶体结构 / படிக அமைப்பு	FCC β கட்டம்多晶，主要为（111）取向
密度 / அடர்த்தி	3.21 கி/செ.மீ³
硬度 / கடினத்தன்மை	2500 维氏硬度 (500g சுமை)
晶粒大小 / தானிய வகை	2~10μm
纯度 / வேதியியல் தூய்மை	99.99995% (99.99995%)
热容 / வெப்ப திறன்	640 ஜெ·கி.கி.^-1·கே^-1
升华温度 / பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃ வெப்பநிலை
抗弯强度 / நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
杨氏模量 / யங்'ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
导热系数 / தெர்மாஎல்கடத்துத்திறன்	300W·மீ^-1·கே^-1
热膨胀系数 / வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10^-6K^-1

நிங்போ VET எனர்ஜி டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட் என்பது உயர்நிலை மேம்பட்ட பொருட்களின் மேம்பாடு மற்றும் உற்பத்தியில் கவனம் செலுத்தும் ஒரு உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாகும், கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, மட்பாண்டங்கள், SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற மேற்பரப்பு சிகிச்சை உள்ளிட்ட பொருட்கள் மற்றும் தொழில்நுட்பம், இந்த தயாரிப்புகள் ஒளிமின்னழுத்த, குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகம் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களிலிருந்து வருகிறது, மேலும் தயாரிப்பு செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக பல காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பங்களை உருவாக்கியுள்ளது, மேலும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு தொழில்முறை பொருள் தீர்வுகளையும் வழங்க முடியும்.