தனிப்பயனாக்கப்பட்ட SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டர்

பீப்பாய் ஏற்பிMOCVD, MBE, CVD போன்ற குறைக்கடத்தி எபிடெக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் இது ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். இது முக்கியமாக உயர்-வெப்பநிலை வினை அறைகளில் வேஃபர்களைத் தாங்குவதற்கும், எபிடெக்சியல் அடுக்குகளின் (GaN, SiC போன்றவை) துல்லியமான படிதலை உறுதி செய்வதற்காக ஒரு சீரான மற்றும் நிலையான வெப்பப் புலச் சூழலை வழங்குவதற்கும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. துல்லியமான வெப்பப் புலக் கட்டுப்பாட்டின் மூலம் வேஃபர் மேற்பரப்பு வெப்பநிலையில் உயர் சீரான தன்மையை அடைவதே இதன் முக்கியச் செயல்பாடாகும், இதன் மூலம் எபிடெக்சியல் மென்படலங்களின் தடிமன், டோப்பிங் செறிவு மற்றும் படிக அமைப்பு ஆகியவற்றின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

நாங்கள் எங்கள் காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கிறோம்பீப்பாய் தாங்கிமிக அதிக தூய்மை, நல்ல பூச்சுச் சீர்மை மற்றும் சிறந்த சேவை ஆயுள், அத்துடன் உயர் இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மைப் பண்புகளுடன்.

VET எனர்ஜி, வேதியியல் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்காக, CVD-SiC பூச்சு கொண்ட உயர் தூய்மையான கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்துகிறது:

1. உயர் தூய்மை கிராஃபைட் பொருள்
உயர் வெப்பக் கடத்துத்திறன்: கிராஃபைட்டின் வெப்பக் கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட மூன்று மடங்கு அதிகம். இதனால், வெப்பமூட்டும் மூலத்திலிருந்து வேஃபருக்கு வெப்பத்தை விரைவாகக் கடத்தி, வெப்பமூட்டும் நேரத்தையும் குறைக்க முடிகிறது.
இயந்திர வலிமை: ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்த கிராஃபைட் அடர்த்தி ≥ 1.85 கி/செ.மீ³, 1200 ℃-க்கு மேற்பட்ட உயர் வெப்பநிலையை உருக்குலைவின்றித் தாங்கக்கூடியது.

2. CVD SiC பூச்சு
வேதி ஆவிப் படிவு (CVD) மூலம் கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் ஒரு β - SiC படலம் உருவாக்கப்படுகிறது. இதன் தூய்மை ≥ 99.99995%, பூச்சின் தடிமனின் சீரான பிழை ±5%-க்கும் குறைவு, மற்றும் மேற்பரப்பின் சொரசொரப்பு Ra0.5um-க்கும் குறைவு.

3. செயல்திறன் மேம்பாடு:
அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்: Cl2, HCl போன்ற அதிக அரிக்கும் வாயுக்களைத் தாங்கக்கூடியது, மேலும் NH3 சூழலில் GaN எபிடாக்ஸியின் ஆயுட்காலத்தை மூன்று மடங்கு நீட்டிக்க முடியும்.
வெப்ப நிலைத்தன்மை: வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் பூச்சு விரிசல்களைத் தவிர்க்க, இதன் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் (4.5 × 10-6/℃) கிராஃபைட்டுடன் ஒத்துப்போகிறது.
கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன்: விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை 28 GPa-ஐ எட்டுகிறது, இது கிராஃபைட்டை விட 10 மடங்கு அதிகம் மற்றும் வேஃபர் கீறல்களின் அபாயத்தைக் குறைக்க வல்லது.