Thùng chứalà thành phần cốt lõi trong các quy trình phát triển epitaxial bán dẫn như MOCVD, MBE, CVD. Nó chủ yếu được sử dụng để mang các tấm wafer trong các buồng phản ứng nhiệt độ cao và cung cấp môi trường trường nhiệt đồng đều và ổn định để đảm bảo lắng đọng chính xác các lớp epitaxial (như GaN, SiC, v.v.). Chức năng cốt lõi của nó là đạt được độ đồng đều cao của nhiệt độ bề mặt tấm wafer thông qua kiểm soát trường nhiệt chính xác, do đó đảm bảo độ dày, nồng độ pha tạp và tính đồng nhất của cấu trúc tinh thể của màng mỏng epitaxial.
Chúng tôi sử dụng công nghệ được cấp bằng sáng chế của mình để tạo rathùng chứacó độ tinh khiết cực cao, độ đồng đều của lớp phủ tốt và tuổi thọ tuyệt vời, cũng như khả năng chống hóa chất và ổn định nhiệt cao.
VET Energy sử dụng than chì có độ tinh khiết cao với lớp phủ CVD-SiC để tăng cường độ ổn định hóa học:
1. Vật liệu than chì có độ tinh khiết cao
Độ dẫn nhiệt cao: độ dẫn nhiệt của than chì gấp ba lần so với silicon, có khả năng truyền nhiệt nhanh từ nguồn nhiệt đến tấm wafer, rút ngắn thời gian gia nhiệt.
Độ bền cơ học: Khối lượng riêng của than chì áp suất đẳng tĩnh ≥ 1,85 g/cm³, có khả năng chịu được nhiệt độ cao trên 1200℃ mà không bị biến dạng.
2. Lớp phủ CVD SiC
Lớp β - SiC được hình thành trên bề mặt than chì bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD), có độ tinh khiết ≥ 99,99995%, sai số đồng đều về độ dày lớp phủ nhỏ hơn ± 5% và độ nhám bề mặt nhỏ hơn Ra0,5um.
3. Cải thiện hiệu suất:
Khả năng chống ăn mòn: có thể chịu được các loại khí có tính ăn mòn cao như Cl2, HCl, v.v., có thể kéo dài tuổi thọ của GaN epitaxy lên gấp ba lần trong môi trường NH3.
Độ ổn định nhiệt: Hệ số giãn nở nhiệt (4,5 × 10-6/℃) phù hợp với than chì để tránh nứt lớp phủ do biến động nhiệt độ.
Độ cứng và khả năng chống mài mòn: Độ cứng Vickers đạt tới 28 GPa, cao hơn than chì 10 lần và có thể giảm nguy cơ trầy xước tấm wafer.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | Giai đoạn β của FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2~10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Nhiệt dung | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Môđun Young | 430 Gpa 4pt uốn cong, 1300℃ |
| 导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Sự giãn nở vì nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng VET Ningbo là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào phát triển và sản xuất các vật liệu tiên tiến cao cấp, các vật liệu và công nghệ bao gồm than chì, silicon carbide, gốm sứ, xử lý bề mặt như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., các sản phẩm này được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước và đã phát triển nhiều công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo hiệu suất và chất lượng sản phẩm, đồng thời có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp.
