Bộ phận đỡ hình thùngĐây là một thành phần cốt lõi trong các quy trình tăng trưởng màng bán dẫn epitaxy như MOCVD, MBE, CVD. Nó chủ yếu được sử dụng để mang các tấm wafer trong buồng phản ứng nhiệt độ cao và cung cấp môi trường trường nhiệt đồng nhất và ổn định nhằm đảm bảo sự lắng đọng chính xác của các lớp epitaxy (như GaN, SiC, v.v.). Chức năng cốt lõi của nó là đạt được độ đồng nhất cao về nhiệt độ bề mặt wafer thông qua việc kiểm soát trường nhiệt chính xác, từ đó đảm bảo độ dày, nồng độ pha tạp và tính đồng nhất cấu trúc tinh thể của các màng mỏng epitaxy.
Chúng tôi sử dụng công nghệ đã được cấp bằng sáng chế của mình để sản xuất ra sản phẩm này.bộ phận đỡ hình thùngVới độ tinh khiết cực cao, độ đồng đều lớp phủ tốt và tuổi thọ sử dụng tuyệt vời, cũng như khả năng kháng hóa chất cao và tính ổn định nhiệt tốt.
VET Energy sử dụng than chì có độ tinh khiết cao với lớp phủ CVD-SiC để tăng cường độ ổn định hóa học:
1. Vật liệu than chì có độ tinh khiết cao
Độ dẫn nhiệt cao: độ dẫn nhiệt của than chì gấp ba lần so với silicon, giúp truyền nhiệt nhanh chóng từ nguồn nhiệt đến tấm bán dẫn và rút ngắn thời gian gia nhiệt.
Độ bền cơ học: Mật độ than chì ở áp suất đẳng tĩnh ≥ 1,85 g/cm³, có khả năng chịu được nhiệt độ cao trên 1200 ℃ mà không bị biến dạng.
2. Lớp phủ SiC CVD
Một lớp β-SiC được hình thành trên bề mặt than chì bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD), với độ tinh khiết ≥ 99,99995%, sai số về độ dày lớp phủ nhỏ hơn ±5%, và độ nhám bề mặt nhỏ hơn Ra0,5um.
3. Cải thiện hiệu suất:
Khả năng chống ăn mòn: có thể chịu được các khí ăn mòn mạnh như Cl2, HCl, v.v., có thể kéo dài tuổi thọ của lớp màng GaN lên gấp ba lần trong môi trường NH3.
Độ ổn định nhiệt: Hệ số giãn nở nhiệt (4,5 × 10-6/℃) phù hợp với than chì để tránh hiện tượng nứt lớp phủ do biến động nhiệt độ.
Độ cứng và khả năng chống mài mòn: Độ cứng Vickers đạt 28 GPa, cao gấp 10 lần so với than chì và có thể giảm nguy cơ trầy xước tấm bán dẫn.
| Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能 Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 Giá trị điển hình |
| 晶体结构 Cấu trúc tinh thể | Pha β của FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2~10μm |
| 纯度 Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Dung lượng nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 Nhiệt độ thăng hoa | 2700℃ |
| 抗弯强度 Sức mạnh uốn cong | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 Mô đun Young | Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng Ningbo VET là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào phát triển và sản xuất các vật liệu tiên tiến cao cấp. Các vật liệu và công nghệ này bao gồm than chì, cacbua silic, gốm sứ, xử lý bề mặt như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ cacbon thủy tinh, lớp phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Các sản phẩm này được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, đã phát triển nhiều công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo hiệu suất và chất lượng sản phẩm, đồng thời có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp.
