Dostosowany susceptor lufy powlekany SiC

Susceptor beczkijest podstawowym elementem w procesach epitaksjalnego wzrostu półprzewodników, takich jak MOCVD, MBE, CVD. Jest głównie używany do przenoszenia płytek w komorach reakcyjnych o wysokiej temperaturze i zapewniania jednolitego i stabilnego środowiska pola termicznego w celu zapewnienia precyzyjnego osadzania warstw epitaksjalnych (takich jak GaN, SiC itp.). Jego podstawową funkcją jest osiągnięcie wysokiej jednorodności temperatury powierzchni płytki poprzez precyzyjną kontrolę pola termicznego, zapewniając w ten sposób grubość, stężenie domieszek i jednorodność struktury krystalicznej cienkich warstw epitaksjalnych.

Wykorzystujemy naszą opatentowaną technologię, abysusceptor lufyo wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, a także wysokiej odporności chemicznej i stabilności termicznej.

VET Energy wykorzystuje grafit o wysokiej czystości z powłoką CVD-SiC w celu zwiększenia stabilności chemicznej:

1. Materiał grafitowy o wysokiej czystości
Wysoka przewodność cieplna: przewodność cieplna grafitu jest trzykrotnie większa niż krzemu, co umożliwia szybkie przenoszenie ciepła ze źródła ciepła do wafla i skrócenie czasu nagrzewania.
Wytrzymałość mechaniczna: Gęstość grafitu izostatycznego ≥ 1,85 g/cm³, wytrzymuje wysokie temperatury powyżej 1200 ℃ bez odkształceń.

2. Powłoka CVD SiC
Warstwa β - SiC powstaje na powierzchni grafitu metodą osadzania chemicznego z fazy gazowej (CVD) o czystości ≥ 99,99995%, błąd jednorodności grubości powłoki jest mniejszy niż ±5%, a chropowatość powierzchni jest mniejsza niż Ra0,5um.

3. Poprawa wydajności:
Odporność na korozję: wytrzymuje działanie silnie żrących gazów, takich jak Cl2, HCl itp., może wydłużyć żywotność epitaksji GaN trzykrotnie w środowisku NH3.
Stabilność termiczna: Współczynnik rozszerzalności cieplnej (4,5 × 10-6/℃) jest taki sam jak w przypadku grafitu, co zapobiega pękaniu powłoki pod wpływem wahań temperatury.
Twardość i odporność na zużycie: Twardość Vickersa sięga 28 GPa, co jest 10-krotnie wyższą wartością niż w przypadku grafitu i może ograniczyć ryzyko zarysowania płytek.