Dostosowany susceptor lufy powlekany SiC

Susceptor beczkiJest kluczowym elementem w procesach epitaksjalnego wzrostu półprzewodników, takich jak MOCVD, MBE i CVD. Służy głównie do przenoszenia płytek w wysokotemperaturowych komorach reakcyjnych i zapewnia jednorodne i stabilne środowisko pola termicznego, co pozwala na precyzyjne osadzanie warstw epitaksjalnych (takich jak GaN, SiC itp.). Jego podstawową funkcją jest uzyskanie wysokiej jednorodności temperatury powierzchni płytki poprzez precyzyjną kontrolę pola termicznego, zapewniając w ten sposób jednorodność grubości, stężenia domieszek i struktury krystalicznej cienkich warstw epitaksjalnych.

Wykorzystujemy naszą opatentowaną technologię, aby stworzyćsusceptor lufyo wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej trwałości, a także wysokiej odporności chemicznej i stabilności termicznej.

VET Energy wykorzystuje grafit o wysokiej czystości z powłoką CVD-SiC w celu zwiększenia stabilności chemicznej:

1. Materiał grafitowy o wysokiej czystości
Wysoka przewodność cieplna: przewodność cieplna grafitu jest trzykrotnie większa niż krzemu, co umożliwia szybkie przenoszenie ciepła ze źródła ciepła do wafla i skrócenie czasu nagrzewania.
Wytrzymałość mechaniczna: gęstość grafitu izostatycznego ≥ 1,85 g/cm³, wytrzymuje wysokie temperatury powyżej 1200 ℃ bez odkształceń.

2. Powłoka CVD SiC
Warstwa β-SiC powstaje na powierzchni grafitu metodą osadzania chemicznego z fazy gazowej (CVD) o czystości ≥ 99,99995%, błąd jednorodności grubości powłoki jest mniejszy niż ±5%, a chropowatość powierzchni jest mniejsza niż Ra0,5um.

3. Poprawa wydajności:
Odporność na korozję: wytrzymuje działanie silnie żrących gazów, takich jak Cl2, HCl itp., co może wydłużyć żywotność epitaksji GaN nawet trzykrotnie w środowisku NH3.
Stabilność termiczna: współczynnik rozszerzalności cieplnej (4,5 × 10-6/℃) jest taki sam jak w przypadku grafitu, co zapobiega pękaniu powłoki pod wpływem wahań temperatury.
Twardość i odporność na zużycie: Twardość Vickersa sięga 28 GPa, co jest 10-krotnie wyższą wartością niż w przypadku grafitu i może ograniczyć ryzyko zarysowania wafli.