SiC estalitako upel suszeptore pertsonalizatua

Upel-suszeptoreaMOCVD, MBE, CVD bezalako erdieroaleen epitaxial hazkuntza prozesuetan osagai nagusia da. Batez ere tenperatura altuko erreakzio ganberetan obleak eramateko eta eremu termiko uniforme eta egonkorra eskaintzeko erabiltzen da, geruza epitaxialen (GaN, SiC, etab.) deposizio zehatza bermatzeko. Bere funtzio nagusia oblearen gainazaleko tenperaturaren uniformetasun handia lortzea da, eremu termiko zehatzaren kontrol bidez, horrela film epitaxial meheen lodiera, dopaje kontzentrazioa eta kristal egituraren uniformetasuna bermatuz.

Gure patente bidezko teknologia erabiltzen dugu egitekoupel-suszeptorepurutasun oso handikoa, estaldura-uniformetasun ona eta zerbitzu-bizitza bikaina, baita erresistentzia kimiko eta egonkortasun termiko handiko propietateak ere.

VET Energy-k CVD-SiC estaldura duen grafito purua erabiltzen du egonkortasun kimikoa hobetzeko:

1. Grafitozko material purua
Eroankortasun termiko handia: grafitoaren eroankortasun termikoa silizioarena baino hiru aldiz handiagoa da, eta horrek berogailu-iturritik obleara beroa azkar transferi dezake eta berogailu-denbora laburtu.
Erresistentzia mekanikoa: Grafitoaren dentsitate isostatikoa ≥ 1.85 g/cm³-koa da, eta 1200 ℃-tik gorako tenperatura altuak deformatu gabe jasateko gai da.

2. CVD SiC estaldura
β-SiC geruza bat sortzen da grafitoaren gainazalean lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) bidez, % 99,99995 ≥-ko purutasunarekin, estalduraren lodieraren uniformetasun-errorea ± % 5 baino txikiagoa da, eta gainazalaren zimurtasuna Ra0,5 um baino txikiagoa da.

3. Errendimenduaren hobekuntza:
Korrosioarekiko erresistentzia: Cl2, HCl eta abar bezalako gas korrosibo handiak jasan ditzake, eta GaN epitaxiaren iraupena hirukoiztu dezake NH3 ingurunean.
Egonkortasun termikoa: Hedapen termikoaren koefizientea (4,5 × 10-6/℃) grafitoarekin bat dator, tenperatura-gorabeherek eragindako estalduraren pitzadurak saihesteko.
Gogortasuna eta higadurarekiko erresistentzia: Vickers gogortasunak 28 GPa-ra iristen da, grafitoarena baino 10 aldiz handiagoa dena eta oblearen marradura arriskua murriztu dezakeena.