Barela susceptoroestas kerna komponanto en duonkonduktaĵaj epitaksiaj kreskoprocezoj kiel MOCVD, MBE, CVD. Ĝi estas ĉefe uzata por porti oblatojn en alttemperaturajn reakciajn ĉambrojn kaj provizi unuforman kaj stabilan termikan kampan medion por certigi precizan demetadon de epitaksiaj tavoloj (kiel GaN, SiC, ktp.). Ĝia kerna funkcio estas atingi altan homogenecon de la surfaca temperaturo de la oblato per preciza termika kampa kontrolo, tiel certigante la dikecon, dopan koncentriĝon kaj kristalstrukturan homogenecon de epitaksiaj maldikaj filmoj.
Ni uzas nian patentitan teknologion por fari labarela susceptorokun ekstreme alta pureco, bona tegaĵa homogeneco kaj bonega servodaŭro, same kiel alta kemia rezisto kaj termikaj stabilecaj ecoj.
VET Energy uzas altpurecan grafiton kun CVD-SiC-tegaĵo por plibonigi kemian stabilecon:
1. Alta pureca grafita materialo
Alta varmokondukteco: la varmokondukteco de grafito estas triobla ol tiu de silicio, kiu povas rapide transdoni varmon de la varmofonto al la oblato kaj mallongigi la varmotempon.
Mekanika forto: Izostata premo grafita denseco ≥ 1.85 g/cm³, kapabla elteni altajn temperaturojn super 1200 ℃ sen deformiĝo.
2. CVD SiC-tegaĵo
β-SiC-tavolo formiĝas sur la surfaco de grafito per kemia vapora deponado (CVD), kun pureco de ≥ 99.99995%, la homogeneca eraro de la tegaĵa dikeco estas malpli ol ±5%, kaj la surfaca malglateco estas malpli ol Ra0.5um.
3. Plibonigo de rendimento:
Kororezisto: povas elteni altajn korodajn gasojn kiel Cl2, HCl, ktp., povas plilongigi la vivdaŭron de GaN-epitaksio trioble en NH3-medio.
Termika stabileco: La koeficiento de termika ekspansio (4,5 × 10⁻⁶/℃) kongruas kun la grafito por eviti fendetojn de la tegaĵo kaŭzitajn de temperaturfluktuoj.
Malmoleco kaj Eluziĝrezisto: La Vickers-malmoleco atingas 28 GPa, kio estas 10 fojojn pli alta ol grafito kaj povas redukti la riskon de gratvundoj sur la obletoj.
| KVM SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj ecoj de CVD SiCtegaĵo | |
| 性质 / Nemoveblaĵo | 典型数值 / Tipa Valoro |
| 晶体结构 / Kristala strukturo | FCC β fazo多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Denseco | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Malmoleco | 2500 维氏硬度（500g ŝarĝo） |
| 晶粒大小 / Grengrandeco | 2~10μm |
| 纯度 / Kemia Pureco | 99.99995% |
| 热容 / Varmokapacito | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimada Temperaturo | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Fleksa Forto | 415 MPa RT 4-punkta |
| 杨氏模量 / Modulo de Young | 430 Gpa 4pt kurbo, 1300℃ |
| 导热系数 / TermolKonduktiveco | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Termika Ekspansio (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd estas altteknologia entrepreno, kiu fokusiĝas al la disvolviĝo kaj produktado de altkvalitaj progresintaj materialoj. La materialoj kaj teknologioj inkluzivas grafiton, siliciokarbidon, ceramikaĵon, surfactraktadon kiel SiC-tegaĵon, TaC-tegaĵon, vitrecan karbonan tegaĵon, pirolizan karbonan tegaĵon, ktp., kaj ĉi tiuj produktoj estas vaste uzataj en fotovoltaiko, duonkonduktaĵo, nova energio, metalurgio, ktp.
Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, kaj evoluigis plurajn patentitajn teknologiojn por certigi produktan rendimenton kaj kvaliton, kaj ankaŭ povas provizi al klientoj profesiajn materialajn solvojn.
