ব্যারেল সাসসেপ্টরএটি MOCVD, MBE, CVD-এর মতো সেমিকন্ডাক্টর এপিটেক্সিয়াল গ্রোথ প্রক্রিয়ার একটি মূল উপাদান। এটি প্রধানত উচ্চ-তাপমাত্রার রিঅ্যাকশন চেম্বারে ওয়েফার বহন করতে এবং এপিটেক্সিয়াল লেয়ারের (যেমন GaN, SiC, ইত্যাদি) নির্ভুল ডিপোজিশন নিশ্চিত করার জন্য একটি অভিন্ন ও স্থিতিশীল তাপীয় ক্ষেত্র পরিবেশ প্রদান করতে ব্যবহৃত হয়। এর মূল কাজ হলো নির্ভুল তাপীয় ক্ষেত্র নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে ওয়েফার পৃষ্ঠের তাপমাত্রার উচ্চ অভিন্নতা অর্জন করা, যার ফলে এপিটেক্সিয়াল থিন ফিল্মের পুরুত্ব, ডোপিং ঘনত্ব এবং ক্রিস্টাল কাঠামোর অভিন্নতা নিশ্চিত হয়।
আমরা আমাদের পেটেন্ট করা প্রযুক্তি ব্যবহার করে তৈরি করিব্যারেল সাসসেপ্টরঅত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা, ভালো প্রলেপের সমরূপতা এবং চমৎকার কার্যকালের পাশাপাশি উচ্চ রাসায়নিক প্রতিরোধ ক্ষমতা ও তাপীয় স্থিতিশীলতার বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
VET এনার্জি রাসায়নিক স্থিতিশীলতা বাড়াতে CVD-SiC কোটিং সহ উচ্চ বিশুদ্ধতার গ্রাফাইট ব্যবহার করে:
১. উচ্চ বিশুদ্ধতার গ্রাফাইট উপাদান
উচ্চ তাপ পরিবাহিতা: গ্রাফাইটের তাপ পরিবাহিতা সিলিকনের চেয়ে তিনগুণ বেশি, যা তাপ উৎস থেকে ওয়েফারে দ্রুত তাপ স্থানান্তর করতে পারে এবং উত্তপ্ত হওয়ার সময় কমিয়ে আনে।
যান্ত্রিক শক্তি: আইসোস্ট্যাটিক চাপ গ্রাফাইটের ঘনত্ব ≥ ১.৮৫ গ্রাম/সেমি³, যা বিকৃতি ছাড়াই ১২০০ ℃-এর বেশি উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে সক্ষম।
২. সিভিডি এসআইসি কোটিং
কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন (CVD) পদ্ধতিতে গ্রাফাইটের পৃষ্ঠে একটি β-SiC স্তর তৈরি করা হয়, যার বিশুদ্ধতা ≥ ৯৯.৯৯৯৯৫%, আবরণের পুরুত্বের সমরূপতার ত্রুটি ±৫%-এর কম এবং পৃষ্ঠের অমসৃণতা Ra0.5um-এর চেয়ে কম।
৩. কর্মক্ষমতার উন্নতি:
ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: Cl2, HCl ইত্যাদির মতো উচ্চ ক্ষয়কারী গ্যাস সহ্য করতে পারে এবং NH3 পরিবেশে GaN এপিট্যাক্সির আয়ুষ্কাল তিনগুণ পর্যন্ত বাড়িয়ে দিতে পারে।
তাপীয় স্থিতিশীলতা: এর তাপীয় প্রসারণ সহগ (৪.৫ × ১০⁻⁶/℃) গ্রাফাইটের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, যা তাপমাত্রার ওঠানামার কারণে আবরণে ফাটল ধরা প্রতিরোধ করে।
কাঠিন্য এবং ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: এর ভিকার্স কাঠিন্য ২৮ জিপিএ পর্যন্ত পৌঁছায়, যা গ্রাফাইটের চেয়ে ১০ গুণ বেশি এবং ওয়েফারে আঁচড় পড়ার ঝুঁকি কমাতে পারে।
| সিভিডি SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC এর মৌলিক ভৌত বৈশিষ্ট্যআবরণ | |
| 性质 সম্পত্তি | 典型数值 সাধারণ মান |
| 晶体结构 স্ফটিক কাঠামো | FCC β দশা多晶, 主要为 (111）取向 |
| 密度 ঘনত্ব | ৩.২১ গ্রাম/সেমি³ |
| 硬度 কঠোরতা | 2500 维氏硬度（500g লোড） |
| 晶粒大小 শস্যের আকার | ২~১০μm |
| 纯度 রাসায়নিক বিশুদ্ধতা | ৯৯.৯৯৯৯৫% |
| 热容 তাপ ধারণ ক্ষমতা | ৬৪০ জুল·কেজি-1·কে-1 |
| 升华温度 ঊর্ধ্বপাতন তাপমাত্রা | ২৭০০℃ |
| 抗弯强度 নমন শক্তি | ৪১৫ এমপিএ আরটি ৪-পয়েন্ট |
| 杨氏模量 ইয়ং-এর মডুলাস | ৪৩০ জিপিএ ৪ পয়েন্ট বেন্ড, ১৩০০℃ |
| 导热系数 / থার্মাএলপরিবাহিতা | ৩০০ ওয়াট·মিটার-1·কে-1 |
| 热膨胀系数 তাপীয় প্রসারণ (CTE) | ৪.৫×১০-6K-1 |
নিংবো ভিইটি এনার্জি টেকনোলজি কোং, লিমিটেড একটি উচ্চ-প্রযুক্তি সম্পন্ন প্রতিষ্ঠান যা উন্নত মানের উপকরণের উন্নয়ন ও উৎপাদনে মনোনিবেশ করে। ব্যবহৃত উপকরণ ও প্রযুক্তির মধ্যে রয়েছে গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড, সিরামিক এবং সারফেস ট্রিটমেন্ট যেমন SiC কোটিং, TaC কোটিং, গ্লাসি কার্বন কোটিং, পাইরোলিটিক কার্বন কোটিং ইত্যাদি। এই পণ্যগুলি ফটোভোল্টাইক, সেমিকন্ডাক্টর, নতুন শক্তি, ধাতুবিদ্যা ইত্যাদি ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আমাদের কারিগরি দল দেশের শীর্ষস্থানীয় গবেষণা প্রতিষ্ঠান থেকে এসেছেন এবং পণ্যের কার্যকারিতা ও গুণমান নিশ্চিত করতে একাধিক পেটেন্টকৃত প্রযুক্তি উদ্ভাবন করেছেন, যা গ্রাহকদের পেশাদার উপাদানগত সমাধানও প্রদান করতে পারে।
