Suċċettore tal-Barmil Miksi bis-SiC Personalizzat

Immaġni Dehru ta' Suċettur tal-Barmil Miksi b'SiC Personalizzat

Deskrizzjoni Qasira:

VET Energy huwa manifattur u fornitur professjonali ta' susċetturi tal-kanna miksija bis-SiC fiċ-Ċina. Aħna niżviluppaw kontinwament proċessi avvanzati biex nipprovdu materjali aktar avvanzati, u ħdimna teknoloġija brevettata esklussiva, li tista' tagħmel it-twaħħil bejn il-kisi u s-sottostrat aktar issikkat u anqas suxxettibbli għal distakk. Merħba biex iżżur il-fabbrika tagħna u ħerqana li nkunu s-sieħeb fit-tul tiegħek fiċ-Ċina.

Ibgħatilna email Niżżel bħala PDF

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Susċettur tal-kannahuwa komponent ewlieni fi proċessi ta' tkabbir epitassjali tas-semikondutturi bħal MOCVD, MBE, CVD. Jintuża prinċipalment biex iġorr wejfers f'kmamar ta' reazzjoni b'temperatura għolja u jipprovdi ambjent ta' kamp termali uniformi u stabbli biex jiżgura depożizzjoni preċiża ta' saffi epitassjali (bħal GaN, SiC, eċċ.). Il-funzjoni ewlenija tiegħu hija li tikseb uniformità għolja fit-temperatura tal-wiċċ tal-wejfer permezz ta' kontroll preċiż tal-kamp termali, u b'hekk tiżgura l-ħxuna, il-konċentrazzjoni tad-doping, u l-uniformità tal-istruttura tal-kristall ta' films irqaq epitassjali.

Aħna nużaw it-teknoloġija brevettata tagħna biex nagħmlu l-susċettur tal-kannab'purità estremament għolja, uniformità tajba tal-kisi u ħajja ta' servizz eċċellenti, kif ukoll proprjetajiet għoljin ta' reżistenza kimika u stabbiltà termali.

VET Energy juża grafita ta' purità għolja b'kisja CVD-SiC biex itejjeb l-istabbiltà kimika:

1. Materjal tal-grafita ta' purità għolja
Konduttività termali għolja: il-konduttività termali tal-grafita hija tliet darbiet dik tas-silikon, li tista' tittrasferixxi malajr is-sħana mis-sors tat-tisħin għall-wejfer u tqassar il-ħin tat-tisħin.
Saħħa mekkanika: Densità tal-grafita taħt pressjoni iżostatika ≥ 1.85 g/cm³, kapaċi tiflaħ temperaturi għoljin 'il fuq minn 1200 ℃ mingħajr deformazzjoni.

2. Kisi tas-SiC bis-CVD
Saff β-SiC jiġi ffurmat fuq il-wiċċ tal-grafita permezz ta' depożizzjoni kimika tal-fwar (CVD), b'purità ta' ≥ 99.99995%, l-iżball tal-uniformità tal-ħxuna tal-kisi huwa inqas minn ±5%, u l-ħruxija tal-wiċċ hija inqas minn Ra0.5um.

3. Titjib fil-prestazzjoni:
Reżistenza għall-korrużjoni: tista' tiflaħ gassijiet korrużivi għolja bħal Cl2, HCl, eċċ., tista' testendi l-ħajja tal-epitassija GaN bi tliet darbiet fl-ambjent NH3.
Stabbiltà termali: Il-koeffiċjent tal-espansjoni termali (4.5 × 10-6/℃) jaqbel mal-grafita biex jevita l-qsim tal-kisi kkawżat minn varjazzjonijiet fit-temperatura.
Ebusija u Reżistenza għall-Ilbies: L-ebusija Vickers tilħaq it-28 GPa, li hija 10 darbiet ogħla mill-grafita u tista' tnaqqas ir-riskju ta' grif tal-wejfer.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi tas-CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-Kristall	Fażi β tal-FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-Qamħ	2~10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-Sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Saħħa Flessurali	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulu ta' Young	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / TermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd hija intrapriża ta' teknoloġija għolja li tiffoka fuq l-iżvilupp u l-produzzjoni ta' materjali avvanzati ta' kwalità għolja, il-materjali u t-teknoloġija inklużi l-grafita, il-karbur tas-silikon, iċ-ċeramika, it-trattament tal-wiċċ bħal kisi tas-SiC, kisi tat-TaC, kisi tal-karbonju tal-ħġieġ, kisi tal-karbonju pirolitiku, eċċ., dawn il-prodotti jintużaw ħafna fil-fotovoltajka, is-semikondutturi, l-enerġija ġdida, il-metallurġija, eċċ.

It-tim tekniku tagħna ġej minn istituzzjonijiet ta' riċerka domestiċi ewlenin, u żviluppa diversi teknoloġiji brevettati biex jiżgura l-prestazzjoni u l-kwalità tal-prodott, jista' wkoll jipprovdi lill-klijenti b'soluzzjonijiet materjali professjonali.