ʻO ka mea hoʻopaʻa pahu i uhi ʻia ʻo SiC i hoʻopilikino ʻia

Mea hoʻopaʻa barelaʻO ia kekahi ʻāpana koʻikoʻi i nā kaʻina hana ulu epitaxial semiconductor e like me MOCVD, MBE, CVD. Hoʻohana nui ʻia ia e lawe i nā wafers i loko o nā keʻena hopena wela kiʻekiʻe a hāʻawi i kahi kahua thermal like a paʻa hoʻi e hōʻoia i ka waiho pololei ʻana o nā papa epitaxial (e like me GaN, SiC, a pēlā aku). ʻO kāna hana nui ka hoʻokō ʻana i ke ʻano like o ka mahana o ka ʻili wafer ma o ka kaohi ʻana i ke kahua thermal pololei, no laila e hōʻoiaʻiʻo ana i ka mānoanoa, ka hoʻohuihui doping, a me ke ʻano like o ke ʻano kristal o nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi epitaxial.

Hoʻohana mākou i kā mākou ʻenehana i hoʻopaʻa ʻia e hana i kamea hoʻopaʻa pahume ka maʻemaʻe kiʻekiʻe loa, ke ʻano like o ka uhi ʻana a me ke ola lawelawe maikaʻi loa, a me ke kūpaʻa kemika kiʻekiʻe a me nā waiwai kūpaʻa wela.

Hoʻohana ʻo VET Energy i ka graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe me ka uhi CVD-SiC e hoʻoikaika i ke kūpaʻa kemika:

1. Mea graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe
ʻO ke alakaʻi wela kiʻekiʻe: ʻekolu manawa o ke alakaʻi wela o ka graphite o ka silicon, hiki ke hoʻoili koke i ka wela mai ke kumu hoʻomehana i ka wafer a hoʻopōkole i ka manawa hoʻomehana.
Ikaika mīkini: ʻO ka nui o ke kaomi graphite isostatic ≥ 1.85 g/cm³, hiki ke kū i nā mahana kiʻekiʻe ma luna o 1200 ℃ me ka ʻole o ka deformation.

2. Uhi ʻana o CVD SiC
Hoʻokumu ʻia kahi papa β - SiC ma luna o ka ʻili o ka graphite e ka hoʻokahe ʻana o ka mahu kemika (CVD), me ka maʻemaʻe o ≥ 99.99995%, ʻoi aku ka hewa like o ka mānoanoa o ka uhi ʻana ma mua o ± 5%, a ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka ʻili ma mua o Ra0.5um.

3. Hoʻomaikaʻi ʻana i ka hana:
Ke kūpaʻa ʻana i ka palaho: hiki ke kū i nā kinoea palaho kiʻekiʻe e like me Cl2, HCl, a pēlā aku, hiki ke hoʻolōʻihi i ke ola o GaN epitaxy i ʻekolu manawa i loko o ke kaiapuni NH3.
Paʻa wela: Hoʻohālikelike ke koina o ka hoʻonui wela (4.5 × 10-6/℃) me ka graphite e pale aku i ka haki ʻana o ka uhi i hoʻokumu ʻia e nā loli o ka mahana.
Paʻakikī a me ke Kū'ē ʻana i ka ʻAʻahu: Hiki i ka paʻakikī Vickers i 28 GPa, ʻo ia hoʻi he 10 mau manawa kiʻekiʻe ma mua o ka graphite a hiki ke hōʻemi i ka pilikia o nā ʻōpala wafer.