Прилагођени сусцептор цеви са SiC премазом

Сусцептор буретаје основна компонента у процесима епитаксијалног раста полупроводника као што су MOCVD, MBE, CVD. Углавном се користи за ношење плочица у реакционим коморама на високој температури и обезбеђивање униформног и стабилног окружења термичког поља како би се осигурало прецизно наношење епитаксијалних слојева (као што су GaN, SiC, итд.). Његова основна функција је постизање високе униформности температуре површине плочице путем прецизне контроле термичког поља, чиме се обезбеђује униформност дебљине, концентрације допирања и кристалне структуре епитаксијалних танких филмова.

Користимо нашу патентирану технологију да бисмо направилицевни сусцепторса изузетно високом чистоћом, добром уједначеношћу премаза и одличним веком трајања, као и високом хемијском отпорношћу и термичком стабилношћу.

VET Energy користи графит високе чистоће са CVD-SiC премазом како би побољшао хемијску стабилност:

1. Графитни материјал високе чистоће
Висока топлотна проводљивост: топлотна проводљивост графита је три пута већа од силицијума, што може брзо пренети топлоту са извора грејања на плочицу и скратити време загревања.
Механичка чврстоћа: Густина графита при изостатском притиску ≥ 1,85 г/цм³, способна да издржи високе температуре изнад 1200 ℃ без деформације.

2. CVD SiC премаз
β-SiC слој се формира на површини графита хемијским таложењем из паре (CVD), са чистоћом од ≥ 99,99995%, грешка уједначености дебљине премаза је мања од ±5%, а храпавост површине је мања од Ra0,5um.

3. Побољшање перформанси:
Отпорност на корозију: може издржати јаке корозивне гасове као што су Cl2, HCl итд., може продужити век трајања GaN епитаксе за три пута у NH3 окружењу.
Термичка стабилност: Коефицијент термичког ширења (4,5 × 10-6/℃) одговара графиту како би се избегло пуцање премаза изазвано температурним флуктуацијама.
Тврдоћа и отпорност на хабање: Викерсова тврдоћа достиже 28 GPa, што је 10 пута веће од графита и може смањити ризик од огреботина на плочици.