Prispôsobený susceptor hlavne s povlakom SiC

Valcový susceptorje kľúčovou súčasťou epitaxných rastových procesov polovodičov, ako sú MOCVD, MBE, CVD. Používa sa hlavne na prenášanie doštičiek vo vysokoteplotných reakčných komorách a na zabezpečenie rovnomerného a stabilného prostredia tepelného poľa, aby sa zabezpečila presná depozícia epitaxných vrstiev (ako napríklad GaN, SiC atď.). Jeho hlavnou funkciou je dosiahnuť vysokú rovnomernosť teploty povrchu doštičky prostredníctvom presnej regulácie tepelného poľa, čím sa zabezpečí rovnomernosť hrúbky, koncentrácie dopovania a kryštálovej štruktúry epitaxných tenkých vrstiev.

Na výrobu používame našu patentovanú technológiuvalcový susceptors extrémne vysokou čistotou, dobrou rovnomernosťou povlaku a vynikajúcou životnosťou, ako aj vysokou chemickou odolnosťou a tepelnou stabilitou.

Spoločnosť VET Energy používa vysoko čistý grafit s povlakom CVD-SiC na zvýšenie chemickej stability:

1. Vysoko čistý grafitový materiál
Vysoká tepelná vodivosť: tepelná vodivosť grafitu je trikrát vyššia ako tepelná vodivosť kremíka, čo umožňuje rýchly prenos tepla zo zdroja tepla na doštičku a skrátenie času ohrevu.
Mechanická pevnosť: Hustota grafitu pri izostatickom tlaku ≥ 1,85 g/cm³, odolná voči vysokým teplotám nad 1200 ℃ bez deformácie.

2. CVD SiC povlak
Na povrchu grafitu sa chemickým nanášaním z pár (CVD) vytvára vrstva β-SiC s čistotou ≥ 99,99995 %, chyba rovnomernosti hrúbky povlaku je menšia ako ± 5 % a drsnosť povrchu je menšia ako Ra0,5 μm.

3. Zlepšenie výkonu:
Odolnosť voči korózii: odoláva vysoko korozívnym plynom, ako sú Cl2, HCl atď., môže predĺžiť životnosť GaN epitaxie až trojnásobne v prostredí NH3.
Tepelná stabilita: Koeficient tepelnej rozťažnosti (4,5 × 10-6/℃) zodpovedá grafitu, aby sa zabránilo praskaniu povlaku spôsobenému kolísaním teploty.
Tvrdosť a odolnosť proti opotrebovaniu: Tvrdosť podľa Vickersa dosahuje 28 GPa, čo je 10-krát viac ako u grafitu a môže znížiť riziko poškriabania doštičky.