Прилагоден SiC обложен цевчест сусцептор

Цевчест сусцепторе основна компонента во процесите на раст на полупроводници како што се MOCVD, MBE, CVD. Главно се користи за носење плочки во реакциони комори со висока температура и обезбедува униформно и стабилно термичко поле за да се обезбеди прецизно таложење на епитаксијални слоеви (како што се GaN, SiC, итн.). Неговата основна функција е да постигне висока униформност на температурата на површината на плочките преку прецизна контрола на термичкото поле, со што се обезбедува дебелината, концентрацијата на допир и униформноста на кристалната структура на епитаксијалните тенки филмови.

Ја користиме нашата патентирана технологија за да го направимесусцептор на цевкатасо исклучително висока чистота, добра униформност на премазот и одличен век на траење, како и висока хемиска отпорност и термичка стабилност.

VET Energy користи графит со висока чистота со CVD-SiC облога за подобрување на хемиската стабилност:

1. Графитен материјал со висока чистота
Висока топлинска спроводливост: топлинската спроводливост на графитот е три пати поголема од онаа на силициумот, што може брзо да ја пренесе топлината од изворот на греење до плочата и да го скрати времето на загревање.
Механичка цврстина: Густина на графит под изостатски притисок ≥ 1,85 g/cm³, способна да издржи високи температури над 1200 ℃ без деформација.

2. CVD SiC облога
На површината на графитот се формира слој од β-SiC со хемиско таложење на пареа (CVD), со чистота од ≥ 99,99995%, грешката на униформност на дебелината на облогата е помала од ± 5%, а површинската грубост е помала од Ra0,5um.

3. Подобрување на перформансите:
Отпорност на корозија: може да издржи високо корозивни гасови како што се Cl2, HCl итн., може да го продолжи животниот век на GaN епитаксија за три пати во NH3 средина.
Термичка стабилност: Коефициентот на термичка експанзија (4,5 × 10-6/℃) е соодветен на графитот за да се избегне пукање на облогата предизвикано од температурни флуктуации.
Тврдина и отпорност на абење: Викерсовата тврдост достигнува 28 GPa, што е 10 пати поголема од графитот и може да го намали ризикот од гребнатини на плочката.