ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್MOCVD, MBE, CVD ನಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಇದು ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ಮತ್ತು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರಗಳ (GaN, SiC, ಇತ್ಯಾದಿ) ನಿಖರವಾದ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಏಕರೂಪದ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ಪರಿಸರವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾದ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮೂಲಕ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ತಾಪಮಾನದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದು ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳ ದಪ್ಪ, ಡೋಪಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆಯ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ನಾವು ನಮ್ಮ ಪೇಟೆಂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡುಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಉತ್ತಮ ಲೇಪನ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸೇವಾ ಜೀವನ, ಜೊತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು VET ಎನರ್ಜಿಯು CVD-SiC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ:
1. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತು
ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ಗಿಂತ ಮೂರು ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು, ಇದು ತಾಪನ ಮೂಲದಿಂದ ವೇಫರ್ಗೆ ಶಾಖವನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ವರ್ಗಾಯಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪನ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ: ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಒತ್ತಡದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ≥ 1.85 g/cm ³, ವಿರೂಪಗೊಳ್ಳದೆ 1200 ℃ ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
2. CVD SiC ಲೇಪನ
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಮೂಲಕ β - SiC ಪದರವು ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಇದರ ಶುದ್ಧತೆಯು ≥ 99.99995% ಆಗಿದೆ, ಲೇಪನ ದಪ್ಪದ ಏಕರೂಪತೆಯ ದೋಷವು ±5% ಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿದೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವು Ra0.5um ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿದೆ.
3. ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಸುಧಾರಣೆ:
ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ: Cl2, HCl, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು, NH3 ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ GaN ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಮೂರು ಪಟ್ಟು ವಿಸ್ತರಿಸಬಹುದು.
ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ: ತಾಪಮಾನದ ಏರಿಳಿತಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಲೇಪನ ಬಿರುಕುಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ (4.5 × 10-6/℃) ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತದೆ.
ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ: ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನವು 28 GPa ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಇದು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ಗಿಂತ 10 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಗೀರುಗಳ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
| ಸಿವಿಡಿ SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC ಯ ಮೂಲ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳುಲೇಪನ | |
| 性质 / ಆಸ್ತಿ | 典型数值 / ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
| 晶体结构 / ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆ | FCC β ಹಂತ多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.21 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| 硬度 / ಗಡಸುತನ | 2500 维氏硬度 (500g ಲೋಡ್) |
| 晶粒大小 / ಧಾನ್ಯ ಸಿಝೆ | 2~10μm |
| 纯度 / ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುದ್ಧತೆ | 99.99995% |
| 热容 / ಶಾಖ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 640 ಜೆ·ಕೆಜಿ-1·ಕೆ-1 |
| 升华温度 / ಉತ್ಪತನ ತಾಪಮಾನ | 2700℃ ತಾಪಮಾನ |
| 抗弯强度 / ಬಾಗುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 415 MPa RT 4-ಪಾಯಿಂಟ್ |
| 杨氏模量 / ಯಂಗ್ಸ್ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 430 Gpa 4pt ಬೆಂಡ್, 1300℃ |
| 导热系数 / ಥರ್ಮಾಎಲ್ವಾಹಕತೆ | 300W·ಮೀ-1·ಕೆ-1 |
| 热膨胀系数 / ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
ನಿಂಗ್ಬೋ VET ಎನರ್ಜಿ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಕಂ., ಲಿಮಿಟೆಡ್ ಒಂದು ಹೈಟೆಕ್ ಉದ್ಯಮವಾಗಿದ್ದು, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, SiC ಲೇಪನದಂತಹ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆ, TaC ಲೇಪನ, ಗಾಜಿನ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿದಂತೆ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಅರೆವಾಹಕ, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವು ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಬಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬಹು ಪೇಟೆಂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದೆ, ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ವೃತ್ತಿಪರ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸಬಹುದು.
