Individualus SiC dengtas barelio susceptorius

Statinės susceptoriusyra pagrindinis komponentas puslaidininkių epitaksinio auginimo procesuose, tokiuose kaip MOCVD, MBE, CVD. Jis daugiausia naudojamas plokštelėms perkelti aukštos temperatūros reakcijos kamerose ir užtikrinti vienodą bei stabilią terminio lauko aplinką, siekiant užtikrinti tikslų epitaksinių sluoksnių (pvz., GaN, SiC ir kt.) nusodinimą. Pagrindinė jo funkcija – pasiekti aukštą plokštelės paviršiaus temperatūros vienodumą tiksliai kontroliuojant terminį lauką, taip užtikrinant epitaksinių plonų plėvelių storį, legiravimo koncentraciją ir kristalinės struktūros vienodumą.

Mes naudojame savo patentuotą technologiją, kad pagamintumestatinės susceptoriuspasižymi itin dideliu grynumu, geru dangos vienodumu ir puikiu tarnavimo laiku, taip pat dideliu atsparumu cheminėms medžiagoms ir terminiu stabilumu.

„VET Energy“ naudoja didelio grynumo grafitą su CVD-SiC danga, kad padidintų cheminį stabilumą:

1. Didelio grynumo grafito medžiaga
Didelis šilumos laidumas: grafito šilumos laidumas yra tris kartus didesnis nei silicio, todėl šiluma gali greitai būti perduota iš šildymo šaltinio į plokštelę ir sutrumpėti kaitinimo laikas.
Mechaninis stiprumas: izostatinio slėgio grafito tankis ≥ 1,85 g/cm³, galintis atlaikyti aukštą temperatūrą virš 1200 ℃ be deformacijos.

2. CVD SiC danga
Cheminio garų nusodinimo (CVD) būdu grafito paviršiuje susidaro β-SiC sluoksnis, kurio grynumas ≥ 99,99995%, dangos storio vienodumo paklaida mažesnė nei ±5%, o paviršiaus šiurkštumas mažesnis nei Ra0,5µm.

3. Našumo gerinimas:
Atsparumas korozijai: gali atlaikyti stiprias korozines dujas, tokias kaip Cl2, HCl ir kt., gali tris kartus pailginti GaN epitaksijos tarnavimo laiką NH3 aplinkoje.
Terminis stabilumas: Šiluminio plėtimosi koeficientas (4,5 × 10-6/℃) atitinka grafitą, kad būtų išvengta dangos įtrūkimų dėl temperatūros svyravimų.
Kietumas ir atsparumas dilimui: Vickerso kietumas siekia 28 GPa, tai yra 10 kartų didesnis nei grafito ir gali sumažinti plokštelių įbrėžimų riziką.