Προσαρμοσμένος δέκτης βαρελιού με επίστρωση SiC

Υποδοχέας βαρελιούείναι ένα βασικό συστατικό σε διεργασίες επιταξιακής ανάπτυξης ημιαγωγών όπως MOCVD, MBE, CVD. Χρησιμοποιείται κυρίως για τη μεταφορά πλακιδίων σε θαλάμους αντίδρασης υψηλής θερμοκρασίας και παρέχει ένα ομοιόμορφο και σταθερό περιβάλλον θερμικού πεδίου για να εξασφαλιστεί η ακριβής εναπόθεση επιταξιακών στρωμάτων (όπως GaN, SiC, κ.λπ.). Η βασική του λειτουργία είναι να επιτύχει υψηλή ομοιομορφία της θερμοκρασίας της επιφάνειας των πλακιδίων μέσω ακριβούς ελέγχου θερμικού πεδίου, εξασφαλίζοντας έτσι το πάχος, τη συγκέντρωση πρόσμιξης και την ομοιομορφία της κρυσταλλικής δομής των λεπτών επιταξιακών μεμβρανών.

Χρησιμοποιούμε την κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία μας για να κατασκευάσουμε τουποδοχέας κάννηςμε εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλή ομοιομορφία επίστρωσης και εξαιρετική διάρκεια ζωής, καθώς και υψηλές χημικές αντοχές και ιδιότητες θερμικής σταθερότητας.

Η VET Energy χρησιμοποιεί γραφίτη υψηλής καθαρότητας με επίστρωση CVD-SiC για την ενίσχυση της χημικής σταθερότητας:

1. Υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας
Υψηλή θερμική αγωγιμότητα: η θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη είναι τριπλάσια από αυτή του πυριτίου, η οποία μπορεί να μεταφέρει γρήγορα θερμότητα από την πηγή θέρμανσης στο πλακίδιο και να μειώσει τον χρόνο θέρμανσης.
Μηχανική αντοχή: Ισοστατική πίεση γραφίτη πυκνότητας ≥ 1,85 g/cm³, ικανή να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες άνω των 1200 ℃ χωρίς παραμόρφωση.

2. Επίστρωση CVD SiC
Ένα στρώμα β-SiC σχηματίζεται στην επιφάνεια του γραφίτη με χημική εναπόθεση ατμών (CVD), με καθαρότητα ≥ 99,99995%, το σφάλμα ομοιομορφίας του πάχους της επίστρωσης είναι μικρότερο από ± 5% και η τραχύτητα της επιφάνειας είναι μικρότερη από Ra0,5um.

3. Βελτίωση απόδοσης:
Αντοχή στη διάβρωση: μπορεί να αντέξει υψηλά διαβρωτικά αέρια όπως Cl2, HCl, κ.λπ., μπορεί να παρατείνει τη διάρκεια ζωής της επιταξίας GaN κατά τρεις φορές στο περιβάλλον NH3.
Θερμική σταθερότητα: Ο συντελεστής θερμικής διαστολής (4,5 × 10-6/℃) ταιριάζει με τον γραφίτη για να αποφευχθεί η ρωγμάτωση της επικάλυψης που προκαλείται από διακυμάνσεις της θερμοκρασίας.
Σκληρότητα και αντοχή στη φθορά: Η σκληρότητα Vickers φτάνει τα 28 GPa, η οποία είναι 10 φορές υψηλότερη από τον γραφίτη και μπορεί να μειώσει τον κίνδυνο γρατσουνιών στις γκοφρέτες.