Testreszabott SiC bevonatú hordószuszceptor

HordószuszceptorA félvezető epitaxiális növekedési folyamatok, például a MOCVD, MBE és CVD eljárások központi eleme. Főként ostyák magas hőmérsékletű reakciókamrákban történő hordozására használják, és egyenletes és stabil hőtér-környezetet biztosítanak az epitaxiális rétegek (például GaN, SiC stb.) pontos lerakódásának biztosítása érdekében. Fő funkciója a ostya felületi hőmérsékletének nagyfokú egyenletességének elérése a precíz hőtér-szabályozás révén, ezáltal biztosítva az epitaxiális vékonyrétegek vastagságát, adalékkoncentrációját és kristályszerkezetének egyenletességét.

Szabadalmaztatott technológiánkat használjuk a gyártáshozhordószuszceptorrendkívül nagy tisztasággal, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas vegyi ellenálló képességgel és hőstabilitási tulajdonságokkal rendelkezik.

A VET Energy nagy tisztaságú grafitot használ CVD-SiC bevonattal a kémiai stabilitás fokozása érdekében:

1. Nagy tisztaságú grafit anyag
Magas hővezető képesség: a grafit hővezető képessége háromszorosa a szilíciuménak, ami gyorsan átviheti a hőt a fűtőforrásból az ostyára, és lerövidíti a melegítési időt.
Mechanikai szilárdság: Izosztatikus nyomású grafit sűrűsége ≥ 1,85 g/cm³, képes ellenállni az 1200 ℃ feletti magas hőmérsékletnek deformáció nélkül.

2. CVD SiC bevonat
A grafit felületén kémiai gőzfázisú leválasztással (CVD) β-SiC réteget képeznek, amelynek tisztasága ≥ 99,99995%, a bevonat vastagságának egyenletességi hibája kisebb, mint ±5%, a felületi érdesség pedig kisebb, mint Ra0,5 μm.

3. Teljesítménynövelés:
Korrózióállóság: ellenáll a magas korrozív gázoknak, például a Cl2-nek, HCl-nek stb., és a GaN epitaxia élettartamát háromszorosára növelheti NH3 környezetben.
Hőstabilitás: A hőtágulási együttható (4,5 × 10-6/℃) megegyezik a grafitéval, hogy elkerülje a hőmérséklet-ingadozások okozta bevonatrepedést.
Keménység és kopásállóság: A Vickers-keménység eléri a 28 GPa-t, ami tízszer nagyobb, mint a grafité, és csökkentheti a lapka karcolódásának kockázatát.