Suseptor larasminangka komponen inti ing proses pertumbuhan epitaksial semikonduktor kayata MOCVD, MBE, CVD. Iki utamane digunakake kanggo nggawa wafer ing ruang reaksi suhu dhuwur lan nyedhiyakake lingkungan medan termal sing seragam lan stabil kanggo njamin deposisi lapisan epitaksial sing tepat (kayata GaN, SiC, lan liya-liyane). Fungsi intine yaiku kanggo entuk keseragaman suhu permukaan wafer sing dhuwur liwat kontrol medan termal sing tepat, saengga njamin kekandelan, konsentrasi doping, lan keseragaman struktur kristal film tipis epitaksial.
Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawesuseptor laraskanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik banget, uga tahan kimia lan sifat stabilitas termal sing dhuwur.
VET Energy migunakaké grafit kemurnian dhuwur kanthi lapisan CVD-SiC kanggo nambah stabilitas kimia:
1. Bahan grafit kemurnian dhuwur
Konduktivitas termal sing dhuwur: konduktivitas termal grafit kaping telu saka silikon, sing bisa kanthi cepet nransfer panas saka sumber pemanas menyang wafer lan nyepetake wektu pemanasan.
Kekuwatan mekanik: Kapadhetan grafit tekanan isostatik ≥ 1,85 g/cm³, bisa tahan suhu dhuwur ing ndhuwur 1200 ℃ tanpa deformasi.
2. Lapisan SiC CVD
Lapisan β-SiC dibentuk ing permukaan grafit kanthi deposisi uap kimia (CVD), kanthi kemurnian ≥ 99,99995%, kesalahan keseragaman kekandelan lapisan kurang saka ± 5%, lan kekasaran permukaan kurang saka Ra0,5um.
3. Peningkatan kinerja:
Tahan korosi: bisa tahan gas korosif dhuwur kayata Cl2, HCl, lan liya-liyane, bisa ngluwihi umur epitaksi GaN nganti telu ing lingkungan NH3.
Stabilitas termal: Koefisien ekspansi termal (4,5 × 10-6/℃) cocog karo grafit kanggo nyegah retakan lapisan sing disebabake dening fluktuasi suhu.
Kekerasan lan Ketahanan Aus: Kekerasan Vickers tekan 28 GPa, sing 10 kali luwih dhuwur tinimbang grafit lan bisa nyuda risiko goresan wafer.
| CVD (Kerusakan Jantung) SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar CVD SiClapisan | |
| 性质 / Properti | 典型数值 / Nilai Khas |
| 晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 Kapadhetan | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Kekerasan | 2500 维氏硬度（500g beban） |
| 晶粒大小 / Ukuran Gandum | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kemurnian Kimia | 99.99995% |
| 热容 Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Suhu Sublimasi | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Kekuwatan Fleksibel | 415 MPa RT 4-titik |
| 杨氏模量 / Modulus Young | 430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalKonduktivitas | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd minangka perusahaan teknologi tinggi sing fokus ing pangembangan lan produksi bahan canggih kelas atas, bahan lan teknologi kalebu grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane, produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lan liya-liyane.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, lan wis ngembangake pirang-pirang teknologi sing dipatenake kanggo njamin kinerja lan kualitas produk, uga bisa nyedhiyakake solusi materi profesional kanggo para pelanggan.
