د بیرل سیسپټردا د سیمیکمډکټر ایپیټیکسیل ودې پروسو لکه MOCVD، MBE، CVD کې یو اصلي جز دی. دا په عمده توګه د لوړ تودوخې غبرګون چیمبرونو کې د ویفرونو لیږدولو لپاره کارول کیږي او د اپیټیکسیل پرتونو (لکه GaN، SiC، او نور) دقیق زیرمه کولو ډاډ ترلاسه کولو لپاره یو یونیفورم او مستحکم حرارتي ساحه چاپیریال چمتو کوي. د دې اصلي دنده د دقیق تودوخې ساحې کنټرول له لارې د ویفر سطحې تودوخې لوړ یووالي ترلاسه کول دي، په دې توګه د ایپیټیکسیل پتلو فلمونو ضخامت، ډوپینګ غلظت، او کرسټال جوړښت یووالي ډاډمن کول دي.
موږ د خپل پیټ شوي ټیکنالوژۍ څخه کار اخلو ترڅو جوړ کړود بېرل سوسپټرد خورا لوړ پاکوالي، ښه پوښ یوشانوالي او غوره خدمت ژوند، او همدارنګه د لوړ کیمیاوي مقاومت او حرارتي ثبات ملکیتونو سره.
د VET انرژي د کیمیاوي ثبات د لوړولو لپاره د CVD-SiC کوټینګ سره لوړ پاکوالي ګرافایټ کاروي:
۱. د لوړ پاکوالي ګرافایټ مواد
لوړ حرارتي چالکتیا: د ګرافایټ حرارتي چالکتیا د سیلیکون په پرتله درې چنده ده، کوم چې کولی شي په چټکۍ سره تودوخه د تودوخې سرچینې څخه ویفر ته انتقال کړي او د تودوخې وخت لنډ کړي.
میخانیکي ځواک: د ایزوسټاتیک فشار ګرافایټ کثافت ≥ 1.85 g/cm ³، د 1200 ℃ څخه پورته د لوړې تودوخې سره د خرابوالي پرته مقاومت کولو توان لري.
۲. د CVD SiC کوټینګ
د ګرافایټ په سطحه د کیمیاوي بخاراتو د زیرمو (CVD) په واسطه د β - SiC طبقه جوړیږي، چې پاکوالی یې ≥ 99.99995٪ دی، د کوټینګ ضخامت د یووالي تېروتنه د ±5٪ څخه کمه ده، او د سطحې ناهموارۍ د Ra0.5um څخه کمه ده.
۳. د فعالیت ښه والی:
د زنګ وهلو مقاومت: د لوړ زنګ وهونکي ګازونو لکه Cl2، HCl، او نورو سره مقاومت کولی شي، کولی شي د NH3 چاپیریال کې د GaN ایپیټیکسي عمر درې چنده زیات کړي.
د تودوخې ثبات: د تودوخې پراخېدو ضریب (۴.۵ × ۱۰-۶/℃) د ګرافایټ سره سمون خوري ترڅو د تودوخې د بدلونونو له امله د پوښ د درزیدو مخه ونیسي.
سختۍ او د اغوستلو مقاومت: د ویکرز سختۍ 28 GPa ته رسیږي، کوم چې د ګرافایټ په پرتله 10 ځله لوړ دی او کولی شي د ویفر سکریچونو خطر کم کړي.
| سي وي ډي SiC薄膜基本物理性能 د CVD SiC اساسي فزیکي ځانګړتیاوېپوښل | |
| 性质 / ملکیت | 典型数值 / عادي ارزښت |
| 晶体结构 / کرسټال جوړښت | د FCC β مرحله多晶، 主要为 (111) 取向 |
| 密度 / کثافت | ۳.۲۱ ګرامه/سانتي متره |
| 硬度 / سختي | 2500 维氏硬度 (500g بار) |
| 晶粒大小 / د غلې دانې سیز | ۲~۱۰μm |
| 纯度 / کیمیاوي پاکوالی | ۹۹.۹۹۹۹۵٪ |
| 热容 / د تودوخې ظرفیت | ۶۴۰ جور کیلوګرامه-1· ک-1 |
| 升华温度 / د سبلیمیشن تودوخه | ۲۷۰۰ ℃ |
| 抗弯强度 / انعطاف منونکی ځواک | ۴۱۵ MPa RT ۴-نقطه |
| 杨氏模量 / د ځوانانو ماډول | ۴۳۰ جي پي اې ۴ پونډه کږوالی، ۱۳۰۰ ℃ |
| 导热系数 / ترمالچالکتیا | ۳۰۰ واټه · متر-1· ک-1 |
| 热膨胀系数 / د تودوخې پراخوالی (CTE) | ۴.۵×۱۰-6K-1 |
نینګبو VET انرژي ټیکنالوژۍ شرکت لمیټډ یو لوړ ټیک تصدۍ ده چې د لوړ پای پرمختللي موادو پراختیا او تولید باندې تمرکز کوي، مواد او ټیکنالوژي پشمول د ګرافایټ، سیلیکون کاربایډ، سیرامیک، د سطحې درملنې لکه SiC کوټینګ، TaC کوټینګ، شیشې کاربن کوټینګ، پیرولیټیک کاربن کوټینګ، او داسې نور، دا محصولات په پراخه کچه په فوتوولټیک، سیمیکمډکټر، نوې انرژي، فلزاتو، او نورو کې کارول کیږي.
زموږ تخنیکي ټیم د لوړ پوړو کورنیو څیړنیزو ادارو څخه راځي، او د محصول فعالیت او کیفیت ډاډمن کولو لپاره یې ډیری پیټینټ شوي ټیکنالوژي رامینځته کړې، کولی شي پیرودونکو ته مسلکي مادي حلونه هم چمتو کړي.
