బారెల్ ససెప్టర్MOCVD, MBE, CVD వంటి సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రక్రియలలో ఇది ఒక కీలకమైన భాగం. దీనిని ప్రధానంగా వేఫర్లను అధిక-ఉష్ణోగ్రత రియాక్షన్ ఛాంబర్లలో ఉంచడానికి మరియు GaN, SiC వంటి ఎపిటాక్సియల్ పొరలను కచ్చితంగా నిక్షేపించడానికి ఏకరీతి మరియు స్థిరమైన ఉష్ణ క్షేత్ర వాతావరణాన్ని అందించడానికి ఉపయోగిస్తారు. కచ్చితమైన ఉష్ణ క్షేత్ర నియంత్రణ ద్వారా వేఫర్ ఉపరితల ఉష్ణోగ్రతలో అధిక ఏకరూపతను సాధించడం, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ పలుచని పొరల మందం, డోపింగ్ గాఢత మరియు స్ఫటిక నిర్మాణ ఏకరూపతను నిర్ధారించడం దీని ప్రధాన విధి.
మేము మా పేటెంట్ పొందిన సాంకేతికతను ఉపయోగించి తయారు చేస్తాముబారెల్ ససెప్టర్అత్యంత అధిక స్వచ్ఛత, మంచి పూత ఏకరూపత మరియు అద్భుతమైన సేవా జీవితం, అలాగే అధిక రసాయన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వ లక్షణాలతో.
రసాయన స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచడానికి VET ఎనర్జీ అధిక స్వచ్ఛత గల గ్రాఫైట్ను CVD-SiC పూతతో ఉపయోగిస్తుంది:
1. అధిక స్వచ్ఛత గల గ్రాఫైట్ పదార్థం
అధిక ఉష్ణ వాహకత: గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ వాహకత సిలికాన్ కంటే మూడు రెట్లు ఎక్కువ, ఇది తాపన మూలం నుండి వేఫర్కు వేడిని వేగంగా బదిలీ చేసి, తాపన సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది.
యాంత్రిక బలం: ఐసోస్టాటిక్ పీడనం వద్ద గ్రాఫైట్ సాంద్రత ≥ 1.85 గ్రా/సెం.మీ³, ఇది 1200 ℃ కంటే ఎక్కువ అధిక ఉష్ణోగ్రతలను వైకల్యం చెందకుండా తట్టుకోగలదు.
2. CVD SiC పూత
రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) పద్ధతి ద్వారా గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై ≥ 99.99995% స్వచ్ఛతతో ఒక β - SiC పొర ఏర్పడుతుంది, పూత మందం యొక్క ఏకరూపత దోషం ±5% కంటే తక్కువగా ఉంటుంది మరియు ఉపరితల గరుకుదనం Ra0.5um కంటే తక్కువగా ఉంటుంది.
3. పనితీరు మెరుగుదల:
క్షయ నిరోధకత: Cl2, HCl మొదలైన అధిక క్షయకారక వాయువులను తట్టుకోగలదు, NH3 వాతావరణంలో GaN ఎపిటాక్సీ యొక్క జీవితకాలాన్ని మూడు రెట్లు పొడిగించగలదు.
ఉష్ణ స్థిరత్వం: ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల వల్ల పూత పగుళ్లు రాకుండా నివారించడానికి, దీని ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం (4.5 × 10-6/℃) గ్రాఫైట్తో సరిపోలుతుంది.
కఠినత్వం మరియు అరుగుదల నిరోధకత: వికర్స్ కఠినత్వం 28 GPa కు చేరుకుంటుంది, ఇది గ్రాఫైట్ కంటే 10 రెట్లు ఎక్కువ మరియు వేఫర్పై గీతలు పడే ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.
| సివిడి SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలుపూత | |
| 性质 ఆస్తి | 典型数值 / సాధారణ విలువ |
| 晶体结构 / స్ఫటిక నిర్మాణం | FCC β దశ多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / సాంద్రత | 3.21 గ్రా/సెంమీ³ |
| 硬度 / కఠినత్వం | 2500 维氏硬度 (500g లోడ్) |
| 晶粒大小 ధాన్యం పరిమాణం | 2~10μm |
| 纯度 రసాయన స్వచ్ఛత | 99.99995% |
| 热容 / ఉష్ణ సామర్థ్యం | 640 J·kg-1·కె-1 |
| 升华温度 ఉత్పతన ఉష్ణోగ్రత | 2700℃ |
| 抗弯强度 / వంగుదల బలం | 415 MPa RT 4-పాయింట్ |
| 杨氏模量 యంగ్ మాడ్యులస్ | 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃ |
| 导热系数 / థర్మాlవాహకత | 300W·m-1·కె-1 |
| 热膨胀系数 ఉష్ణ వ్యాకోచం (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
నింగ్బో VET ఎనర్జీ టెక్నాలజీ కో., లిమిటెడ్ అనేది ఉన్నత స్థాయి అధునాతన పదార్థాల అభివృద్ధి మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారించే ఒక హై-టెక్ సంస్థ. గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్, సిరామిక్స్, SiC కోటింగ్, TaC కోటింగ్, గ్లాసీ కార్బన్ కోటింగ్, పైరోలిటిక్ కార్బన్ కోటింగ్ మొదలైన ఉపరితల చికిత్స వంటి పదార్థాలు మరియు సాంకేతికత ఈ సంస్థ యొక్క ఉత్పత్తులలో ఉన్నాయి. ఈ ఉత్పత్తులు ఫోటోవోల్టాయిక్, సెమీకండక్టర్, నూతన శక్తి, లోహశాస్త్రం మొదలైన రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి.
మా సాంకేతిక బృందం దేశీయ అగ్రశ్రేణి పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది మరియు ఉత్పత్తి పనితీరు, నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి అనేక పేటెంట్ పొందిన సాంకేతికతలను అభివృద్ధి చేసింది, అలాగే వినియోగదారులకు వృత్తిపరమైన మెటీరియల్ పరిష్కారాలను కూడా అందించగలదు.
