బారెల్ ససెప్టర్MOCVD, MBE, CVD వంటి సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి ప్రక్రియలలో ఇది ఒక ప్రధాన భాగం. ఇది ప్రధానంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రతిచర్య గదులలో వేఫర్లను తీసుకెళ్లడానికి మరియు ఎపిటాక్సియల్ పొరల (GaN, SiC, మొదలైనవి) ఖచ్చితమైన నిక్షేపణను నిర్ధారించడానికి ఏకరీతి మరియు స్థిరమైన థర్మల్ ఫీల్డ్ వాతావరణాన్ని అందించడానికి ఉపయోగించబడుతుంది. ఖచ్చితమైన థర్మల్ ఫీల్డ్ నియంత్రణ ద్వారా వేఫర్ ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత యొక్క అధిక ఏకరూపతను సాధించడం దీని ప్రధాన విధి, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ సన్నని ఫిల్మ్ల మందం, డోపింగ్ ఏకాగ్రత మరియు క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్ ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది.
మేము మా పేటెంట్ పొందిన సాంకేతిక పరిజ్ఞానాన్ని ఉపయోగించిబారెల్ ససెప్టర్చాలా ఎక్కువ స్వచ్ఛత, మంచి పూత ఏకరూపత మరియు అద్భుతమైన సేవా జీవితం, అలాగే అధిక రసాయన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వ లక్షణాలతో.
VET ఎనర్జీ రసాయన స్థిరత్వాన్ని పెంచడానికి CVD-SiC పూతతో అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ను ఉపయోగిస్తుంది:
1. అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ పదార్థం
అధిక ఉష్ణ వాహకత: గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ వాహకత సిలికాన్ కంటే మూడు రెట్లు ఎక్కువ, ఇది తాపన మూలం నుండి వేఫర్కు వేడిని త్వరగా బదిలీ చేయగలదు మరియు తాపన సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది.
యాంత్రిక బలం: ఐసోస్టాటిక్ ప్రెజర్ గ్రాఫైట్ సాంద్రత ≥ 1.85 గ్రా/సెం.మీ ³, 1200 ℃ కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలను వైకల్యం లేకుండా తట్టుకోగలదు.
2. CVD SiC పూత
గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ద్వారా β - SiC పొర ఏర్పడుతుంది, దీని స్వచ్ఛత ≥ 99.99995%, పూత మందం యొక్క ఏకరూపత లోపం ±5% కంటే తక్కువగా ఉంటుంది మరియు ఉపరితల కరుకుదనం Ra0.5um కంటే తక్కువగా ఉంటుంది.
3. పనితీరు మెరుగుదల:
తుప్పు నిరోధకత: Cl2, HCl మొదలైన అధిక తినివేయు వాయువులను తట్టుకోగలదు, NH3 వాతావరణంలో GaN ఎపిటాక్సీ జీవితకాలాన్ని మూడు రెట్లు పొడిగించగలదు.
ఉష్ణ స్థిరత్వం: ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల వల్ల ఏర్పడే పూత పగుళ్లను నివారించడానికి ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (4.5 × 10-6/℃) గ్రాఫైట్తో సరిపోలుతుంది.
కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకత: వికర్స్ కాఠిన్యం 28 GPa కి చేరుకుంటుంది, ఇది గ్రాఫైట్ కంటే 10 రెట్లు ఎక్కువ మరియు వేఫర్ గీతల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.
| సివిడి SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలుపూత | |
| 性质 / ఆస్తి | 典型数值 / సాధారణ విలువ |
| 晶体结构 / క్రిస్టల్ నిర్మాణం | FCC β దశ多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / సాంద్రత | 3.21 గ్రా/సెం.మీ³ |
| 硬度 / కాఠిన్యం | 2500 维氏硬度 (500g లోడ్) |
| 晶粒大小 / గ్రెయిన్ సైజ్ | 2~10μm |
| 纯度 / రసాయన స్వచ్ఛత | 99.99995% |
| 热容 / ఉష్ణ సామర్థ్యం | 640 జ·కిలోలు-1·కె-1 |
| 升华温度 / సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత | 2700℃ ఉష్ణోగ్రత |
| 抗弯强度 / ఫ్లెక్చరల్ స్ట్రెంత్ | 415 MPa RT 4-పాయింట్ |
| 杨氏模量 / యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 430 Gpa 4pt వంపు, 1300℃ |
| 导热系数 / థర్మాఎల్.వాహకత | 300W·m-1·కె-1 |
| 热膨胀系数 / థర్మల్ విస్తరణ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET ఎనర్జీ టెక్నాలజీ కో., లిమిటెడ్ అనేది హై-ఎండ్ అధునాతన పదార్థాల అభివృద్ధి మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారించే ఒక హై-టెక్ ఎంటర్ప్రైజ్, గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్, సిరామిక్స్, SiC పూత వంటి ఉపరితల చికిత్స, TaC పూత, గ్లాసీ కార్బన్ పూత, పైరోలైటిక్ కార్బన్ పూత మొదలైన వాటితో సహా పదార్థాలు మరియు సాంకేతికత, ఈ ఉత్పత్తులు ఫోటోవోల్టాయిక్, సెమీకండక్టర్, కొత్త శక్తి, లోహశాస్త్రం మొదలైన వాటిలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.
మా సాంకేతిక బృందం అగ్రశ్రేణి దేశీయ పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది మరియు ఉత్పత్తి పనితీరు మరియు నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి బహుళ పేటెంట్ పొందిన సాంకేతికతలను అభివృద్ధి చేసింది, అలాగే వినియోగదారులకు ప్రొఫెషనల్ మెటీరియల్ పరిష్కారాలను అందించగలదు.
