Räätälöity piikarbidipäällysteinen tynnyrisuskeptori

Tynnyrisuskeptorion keskeinen komponentti puolijohteiden epitaksiaalisissa kasvatusprosesseissa, kuten MOCVD, MBE ja CVD. Sitä käytetään pääasiassa kiekkojen kuljettamiseen korkean lämpötilan reaktiokammioissa ja tasaisen ja vakaan lämpökenttäympäristön tarjoamiseen epitaksiaalisten kerrosten (kuten GaN, SiC jne.) tarkan kerrostumisen varmistamiseksi. Sen ydintoiminto on saavuttaa kiekkojen pintalämpötilan korkea tasaisuus tarkan lämpökentän säädön avulla, mikä varmistaa epitaksiaalisten ohutkalvojen paksuuden, dopingpitoisuuden ja kiderakenteen tasaisuuden.

Käytämme patentoitua teknologiaamme valmistaaksemmetynnyrisuskeptorierittäin puhtaalla, hyvällä pinnoitteen tasaisuudella ja erinomaisella käyttöiällä sekä korkealla kemikaalien kestävyydellä ja lämmönkestävyydellä.

VET Energy käyttää erittäin puhdasta grafiittia ja CVD-SiC-pinnoitetta kemiallisen stabiilisuuden parantamiseksi:

1. Erittäin puhdasta grafiittimateriaalia
Korkea lämmönjohtavuus: grafiitin lämmönjohtavuus on kolme kertaa suurempi kuin piin, mikä voi nopeasti siirtää lämpöä lämmönlähteestä kiekkoon ja lyhentää lämmitysaikaa.
Mekaaninen lujuus: Isostaattinen paine, grafiittitiheys ≥ 1,85 g/cm³, kestää yli 1200 ℃:n korkeita lämpötiloja ilman muodonmuutoksia.

2. CVD-piikarbidipinnoite
Kemiallisella höyrypinnoituksella (CVD) grafiitin pinnalle muodostuu β-SiC-kerros, jonka puhtaus on ≥ 99,99995 %, pinnoitteen paksuuden tasaisuusvirhe on alle ± 5 % ja pinnan karheus on alle Ra0,5 μm.

3. Suorituskyvyn parantaminen:
Korroosionkestävyys: kestää voimakkaasti syövyttäviä kaasuja, kuten Cl2:ta, HCl:a jne., ja voi pidentää GaN-epitaksian käyttöikää kolminkertaiseksi NH3-ympäristössä.
Lämpöstabiilius: Lämpölaajenemiskerroin (4,5 × 10-6/℃) vastaa grafiittia, mikä estää lämpötilanvaihteluiden aiheuttaman pinnoitteen halkeilun.
Kovuus ja kulutuskestävyys: Vickers-kovuus saavuttaa 28 GPa:n, mikä on 10 kertaa suurempi kuin grafiitilla ja voi vähentää kiekkojen naarmuuntumisriskiä.