Susceptor de barril recobert de SiC personalitzat

Susceptor de barrilés un component bàsic en els processos de creixement epitaxial de semiconductors com ara MOCVD, MBE, CVD. S'utilitza principalment per transportar oblies en cambres de reacció d'alta temperatura i proporcionar un entorn de camp tèrmic uniforme i estable per garantir una deposició precisa de capes epitaxials (com ara GaN, SiC, etc.). La seva funció principal és aconseguir una alta uniformitat de la temperatura de la superfície de l'oblia mitjançant un control precís del camp tèrmic, garantint així el gruix, la concentració de dopatge i la uniformitat de l'estructura cristal·lina de les pel·lícules primes epitaxials.

Fem servir la nostra tecnologia patentada per fer quesusceptor de barrilamb una puresa extremadament alta, bona uniformitat del recobriment i una excel·lent vida útil, així com propietats d'alta resistència química i estabilitat tèrmica.

VET Energy utilitza grafit d'alta puresa amb recobriment CVD-SiC per millorar l'estabilitat química:

1. Material de grafit d'alta puresa
Alta conductivitat tèrmica: la conductivitat tèrmica del grafit és tres vegades superior a la del silici, cosa que pot transferir ràpidament la calor de la font de calefacció a l'oblia i escurçar el temps d'escalfament.
Resistència mecànica: densitat de grafit a pressió isostàtica ≥ 1,85 g/cm³, capaç de suportar temperatures elevades superiors a 1200 ℃ sense deformació.

2. Recobriment CVD de SiC
Una capa de β-SiC es forma a la superfície del grafit per deposició química de vapor (CVD), amb una puresa de ≥ 99,99995%, l'error d'uniformitat del gruix del recobriment és inferior a ± 5% i la rugositat superficial és inferior a Ra0,5um.

3. Millora del rendiment:
Resistència a la corrosió: pot suportar gasos altament corrosius com Cl2, HCl, etc., pot allargar la vida útil de l'epitaxia de GaN tres vegades en un entorn de NH3.
Estabilitat tèrmica: el coeficient d'expansió tèrmica (4,5 × 10-6/℃) coincideix amb el grafit per evitar que el recobriment s'esquerdi per les fluctuacions de temperatura.
Duresa i resistència al desgast: la duresa Vickers arriba als 28 GPa, 10 vegades més alta que la del grafit i pot reduir el risc de ratllades a la oblia.