Індывідуальны ствалавы токапрыёмнік з пакрыццём SiC

Бочкавы сусцэптарз'яўляецца асноўным кампанентам у працэсах эпітаксіяльнага росту паўправаднікоў, такіх як MOCVD, MBE, CVD. Ён у асноўным выкарыстоўваецца для пераноскі пласцін у рэакцыйных камерах з высокай тэмпературай і забеспячэння аднастайнага і стабільнага асяроддзя цеплавога поля для дакладнага нанясення эпітаксіяльных слаёў (такіх як GaN, SiC і г.д.). Яго асноўная функцыя заключаецца ў дасягненні высокай аднастайнасці тэмпературы паверхні пласцін шляхам дакладнага кантролю цеплавога поля, тым самым забяспечваючы аднастайнасць таўшчыні, канцэнтрацыі легіруючых рэчываў і крышталічнай структуры эпітаксіяльных тонкіх плёнак.

Мы выкарыстоўваем нашу запатэнтаваную тэхналогію, каб зрабіцьствалавы сусцэтарз надзвычай высокай чысцінёй, добрай аднастайнасцю пакрыцця і выдатным тэрмінам службы, а таксама высокай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай стабільнасцю.

VET Energy выкарыстоўвае графіт высокай чысціні з пакрыццём CVD-SiC для павышэння хімічнай стабільнасці:

1. Высокачысты графітавы матэрыял
Высокая цеплаправоднасць: цеплаправоднасць графіту ў тры разы вышэйшая за цеплаправоднасць крэмнію, што дазваляе хутка перадаваць цяпло ад крыніцы нагрэву да пласціны і скарачаць час нагрэву.
Механічная трываласць: шчыльнасць графіту пры ізастатычным ціску ≥ 1,85 г/см³, здольны вытрымліваць высокія тэмпературы вышэй за 1200 ℃ без дэфармацыі.

2. Пакрыццё SiC метадам CVD
На паверхні графіту метадам хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD) утвараецца пласт β-SiC з чысцінёй ≥ 99,99995%, памылка аднастайнасці таўшчыні пакрыцця меншая за ±5%, а шурпатасць паверхні меншая за Ra0,5 мкм.

3. Паляпшэнне прадукцыйнасці:
Устойлівасць да карозіі: можа вытрымліваць уздзеянне высокакаразійных газаў, такіх як Cl2, HCl і г.д., што дазваляе падоўжыць тэрмін службы эпітаксіі GaN у тры разы ў асяроддзі NH3.
Тэрмічная стабільнасць: каэфіцыент цеплавога пашырэння (4,5 × 10⁻⁶/℃) адпавядае графіту, што дазваляе пазбегнуць расколін пакрыцця, выкліканых ваганнямі тэмпературы.
Цвёрдасць і зносаўстойлівасць: цвёрдасць па Вікерсу дасягае 28 ГПа, што ў 10 разоў вышэй, чым у графіту, і можа знізіць рызыку драпін на пласціне.