ตัวรับกระบอกปืนเป็นส่วนประกอบหลักในกระบวนการสร้างเอพิแทกเซียลของสารกึ่งตัวนำ เช่น MOCVD, MBE, CVD โดยส่วนใหญ่ใช้ในการบรรจุเวเฟอร์ในห้องปฏิกิริยาอุณหภูมิสูง และให้สภาพแวดล้อมสนามความร้อนที่สม่ำเสมอและเสถียรเพื่อให้แน่ใจว่าการสะสมชั้นเอพิแทกเซียล (เช่น GaN, SiC เป็นต้น) แม่นยำ หน้าที่หลักของมันคือการทำให้อุณหภูมิพื้นผิวเวเฟอร์มีความสม่ำเสมอสูงผ่านการควบคุมสนามความร้อนที่แม่นยำ จึงรับประกันความหนา ความเข้มข้นของการเจือปน และความสม่ำเสมอของโครงสร้างผลึกของฟิล์มบางเอพิแทกเซียล
เราใช้เทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรของเราในการผลิตตัวรับกระบอกปืนด้วยความบริสุทธิ์สูงมาก ความสม่ำเสมอของการเคลือบดี และอายุการใช้งานที่ยอดเยี่ยม รวมถึงคุณสมบัติทนทานต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนที่สูง
VET Energy ใช้กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงพร้อมการเคลือบ CVD-SiC เพื่อเพิ่มเสถียรภาพทางเคมี:
1. วัสดุกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง
การนำความร้อนสูง: การนำความร้อนของกราไฟต์นั้นสูงกว่าซิลิกอนถึง 3 เท่า ซึ่งสามารถถ่ายเทความร้อนจากแหล่งความร้อนไปยังเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็ว และลดระยะเวลาในการให้ความร้อนลง
ความแข็งแรงทางกล: ความหนาแน่นของกราไฟท์ภายใต้ความดันไอโซสแตติก ≥ 1.85 g/cm ³ สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงที่สูงกว่า 1,200 ℃ โดยไม่เกิดการเสียรูป
2. การเคลือบ CVD SiC
ชั้น β - SiC ถูกสร้างขึ้นบนพื้นผิวของกราไฟท์โดยการสะสมไอเคมี (CVD) โดยมีความบริสุทธิ์ ≥ 99.99995% ข้อผิดพลาดของความสม่ำเสมอของความหนาของการเคลือบน้อยกว่า±5% และความหยาบของพื้นผิวน้อยกว่า Ra0.5um
3. การปรับปรุงประสิทธิภาพ:
ความต้านทานการกัดกร่อน: สามารถทนต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง เช่น Cl2, HCl เป็นต้น สามารถยืดอายุการใช้งานของอิพิแทกซี GaN ได้สามเท่าในสภาพแวดล้อม NH3
เสถียรภาพทางความร้อน: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (4.5 × 10-6/℃) ตรงกับกราไฟท์เพื่อหลีกเลี่ยงการแตกร้าวของการเคลือบที่เกิดจากความผันผวนของอุณหภูมิ
ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอ: ความแข็งของวิกเกอร์สสูงถึง 28 GPa ซึ่งสูงกว่ากราไฟท์ถึง 10 เท่า และสามารถลดความเสี่ยงของรอยขีดข่วนบนเวเฟอร์ได้
| โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能 คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ | |
| 性质 / คุณสมบัติ | 典型数值 / ค่าทั่วไป |
| 晶体结构 / โครงสร้างผลึก | เฟส β ของ FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
| 硬度 / ความแข็ง | 2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม) |
| 晶粒大小 / ขนาดเมล็ดพืช | 2~10ไมโครเมตร |
| 纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี | 99.99995% |
| 热容 / ความจุความร้อน | 640 จ·กก.-1·เค-1 |
| 升华温度 / อุณหภูมิการระเหิด | 2700℃ |
| 抗弯强度 / ความแข็งแรงในการดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
| 杨氏模量 / โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้ง 1300℃ |
| 导热系数 / เทอร์มาลการนำไฟฟ้า | 300 วัตต์·ม.-1·เค-1 |
| 热膨胀系数 / การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd เป็นองค์กรด้านเทคโนโลยีขั้นสูงที่เน้นการพัฒนาและผลิตวัสดุขั้นสูงระดับไฮเอนด์ วัสดุและเทคโนโลยีรวมถึงกราไฟท์ ซิลิกอนคาร์ไบด์ เซรามิก การเคลือบพื้นผิว เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในเซลล์แสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา ฯลฯ
ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยในประเทศชั้นนำ และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรมากมายเพื่อให้แน่ใจถึงประสิทธิภาพและคุณภาพของผลิตภัณฑ์ นอกจากนี้ยังสามารถให้โซลูชันวัสดุระดับมืออาชีพแก่ลูกค้าได้อีกด้วย
