SiC Coated Barrel Susceptor namboarina

Barrel susceptordia singa fototra amin'ny fizotran'ny fitomboana epitaxial semiconductor toy ny MOCVD, MBE, CVD. Izy io dia ampiasaina indrindra amin'ny fitondrana wafers amin'ny efitrano fanehoan-kevitra amin'ny hafanana ary manome tontolo iainana mafana sy mafana mba hiantohana ny fametrahana ny sosona epitaxial (toy ny GaN, SiC, sns.). Ny asany fototra dia ny hanatratra ny fitovian'ny mari-pana ambony indrindra amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso tsara ny saha mafana, ka miantoka ny hateviny, ny fifantohana doping, ary ny firafitry ny kristaly mitovy amin'ny sarimihetsika manify epitaxial.

Mampiasa ny teknolojia patentinay izahay mba hanaovana nybarrel susceptormiaraka amin'ny fahadiovana avo dia avo, ny fitovian'ny coating tsara ary ny fiainana serivisy tsara, ary koa ny fanoherana simika avo lenta sy ny toetran'ny hafanana mafana.

Ny VET Energy dia mampiasa graphite madio tsara miaraka amin'ny coating CVD-SiC hanatsarana ny fahamarinan-toerana simika:

1. Fitaovana grafita madio tsara
Conductivity mafana avo: ny conductivity mafana amin'ny grafit dia avo telo heny noho ny silisiôma, izay afaka mamindra haingana ny hafanana avy amin'ny loharano fanafanana mankany amin'ny wafer ary manafohy ny fotoana fanafanana.
Hery mekanika: Isostatic pressure graphite density ≥ 1.85 g/cm ³, mahazaka hafanana ambony mihoatra ny 1200 ℃ tsy misy deformation.

2. CVD SiC coating
A β - SiC sosona miforona eo ambonin'ny grafit amin'ny simika etona deposition (CVD), amin'ny fahadiovana ny ≥ 99.99995%, ny fahadisoam-panantenana ny coating hatevin'ny latsaky ny ± 5%, ary ny roughness ambonin'ny dia latsaky ny Ra0.5um.

3. Fanatsarana ny fampisehoana:
Ny fanoherana ny harafesina: mahatanty entona mahery vaika toy ny Cl2, HCl, sns, dia afaka manitatra ny androm-piainan'ny GaN epitaxy in-telo ao amin'ny tontolo NH3.
Ny fahamarinan-toerana mafana: Ny coefficient ny fanitarana mafana (4.5 × 10-6 / ℃) dia mifanandrify amin'ny graphite mba hisorohana ny fikorontanan'ny coating vokatry ny fiovaovan'ny mari-pana.
Fahamafisana sy fanoherana: Ny hamafin'ny Vickers dia mahatratra 28 GPa, izay avo 10 heny noho ny graphite ary mety hampihena ny mety hisian'ny scratches wafer.