Мичкәдәге сусцепторMOCVD, MBE, CVD кебек ярымүткәргеч эпитаксиаль үсеш процессларында төп компонент булып тора. Ул, нигездә, югары температуралы реакция камераларында пластиналарны йөртү һәм эпитаксиаль катламнарның (мәсәлән, GaN, SiC һ.б.) төгәл утыруын тәэмин итү өчен бердәм һәм тотрыклы җылылык кыры мохите тәэмин итү өчен кулланыла. Аның төп функциясе - төгәл җылылык кырын контрольдә тоту аша пластина өслеге температурасының югары бердәмлегенә ирешү, шуның белән эпитаксиаль юка пленкаларның калынлыгын, легирлау концентрациясен һәм кристалл структурасының бердәмлеген тәэмин итү.
Без патентланган технологиябезне кулланабыз, аны ясау өченмичкә сусцепторыгаять югары сафлык, яхшы каплау бер төрлелеге һәм бик яхшы хезмәт итү вакыты, шулай ук югары химик каршылык һәм термик тотрыклылык үзлекләре белән.
VET Energy компаниясе химик тотрыклылыкны арттыру өчен CVD-SiC каплавы белән югары сафлыклы графит куллана:
1. Югары сафлыклы графит материалы
Югары җылылык үткәрүчәнлеге: графитның җылылык үткәрүчәнлеге кремнийныкыннан өч тапкыр артыграк, ул җылылык чыганагыннан пластинага тиз күчә һәм җылыту вакытын кыскарта ала.
Механик ныклык: Изостатик басымлы графит тыгызлыгы ≥ 1,85 г/см³, 1200 ℃ тан югары температураларга деформациясез чыдам.
2. CVD SiC каплавы
Графит өслегендә химик пар белән утырту (CVD) ярдәмендә β-SiC катламы барлыкка килә, аның сафлыгы ≥ 99.99995%, каплау калынлыгының тигезлек хатасы ±5% тан кимрәк, ә өслекнең тигезсезлеге Ra0.5um тан кимрәк.
3. Эш нәтиҗәлелеген яхшырту:
Коррозиягә чыдамлык: Cl2, HCl һ.б. кебек югары коррозик газларга чыдам, NH3 мохитендә GaN эпитаксиясенең гомерен өч тапкыр озайта ала.
Термик тотрыклылык: Термик киңәю коэффициенты (4.5 × 10-6/℃) температура тирбәнешләре аркасында каплау ярылуыннан саклану өчен графит белән туры килә.
Катылык һәм тузуга чыдамлык: Виккерс катылыгы 28 ГПа га җитә, бу графиттан 10 тапкыр югарырак һәм пластина тырналу куркынычын киметә ала.
| йөрәк-кан тамырлары авырулары SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC төп физик үзлекләрекаплау | |
| 性质 / Милек | 典型数值 / Гадәти кыйммәт |
| 晶体结构 / Кристалл структурасы | FCC β фазасы多晶，主要为（111 ）取向 |
| 密度 / Тыгызлык | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Катылык | 2500 维氏硬度（ 500г йөк） |
| 晶粒大小 / Бөртек SiZe | 2~10 мкм |
| 纯度 / Химик чисталык | 99.99995% |
| 热容 / Җылылык сыйдырышлыгы | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Сублимация температурасы | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Бөгелү көче | 415 МПа RT 4 нокталы |
| 杨氏模量 / Янг модуле | 430 ГПа 4pt бөкләнеш, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалҮткәргечлек | 300 Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Җылылык киңәюе (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - югары технологияле алдынгы материаллар эшләү һәм җитештерүгә юнәлтелгән югары технологияле предприятие, графит, кремний карбиды, керамика, SiC каплавы, TaC каплавы, пыяла углерод каплавы, пиролитик углерод каплавы һ.б. кебек өслек эшкәртү материаллары һәм технологияләре. Бу продуктлар фотоэлектрик, ярымүткәргечләр, яңа энергетика, металлургия һ.б. өлкәләрдә киң кулланыла.
Безнең техник команда алдынгы илкүләм тикшеренү институтларыннан килә һәм продуктның нәтиҗәлелеген һәм сыйфатын тәэмин итү өчен күп патентланган технологияләр эшләде, шулай ук клиентларга профессиональ материал чишелешләре тәкъдим итә ала.
