Баррель сусепторыMOCVD, MBE, CVD кебек ярымүткәргеч эпитаксиаль үсеш процессларының төп компоненты. Ул, нигездә, югары температуралы реакция палаталарында вафер йөртү өчен, эпитаксиаль катламнарның төгәл урнашуын тәэмин итү өчен бердәм һәм тотрыклы җылылык кыры мохитен тәэмин итү өчен кулланыла (GaN, SiC һ.б.). Аның төп функциясе - төгәл җылылык кыры контроле аша вафер өслеге температурасының югары бердәмлегенә ирешү, шуның белән эпитаксиаль нечкә пленкаларның калынлыгын, допинг концентрациясен һәм кристалл структурасы бердәмлеген тәэмин итү.
Без патентланган технологияне кулланабызбаррель сусепторбик югары чисталык, яхшы каплау бердәмлеге һәм искиткеч хезмәт вакыты, шулай ук югары химик каршылык һәм җылылык тотрыклылыгы белән.
VET Energy химик тотрыклылыкны арттыру өчен CVD-SiC капламы белән югары чисталыклы графит куллана:
1. Highгары чисталык графит материалы
Highгары җылылык үткәрүчәнлеге: графитның җылылык үткәрүчәнлеге кремнийныкыннан өч тапкыр күбрәк, ул җылылык чыганагыннан тизлекне ваферга күчерә һәм җылыту вакытын кыскартырга мөмкин.
Механик көч: изостатик басым графит тыгызлыгы 85 1,85 г / см ³, югары температураны 1200 above өстендә деформациягә каршы тора ала.
2. CVD SiC каплау
A - SiC катламы графит өслегендә химик пар парламенты (CVD) белән барлыкка килә, чисталыгы ≥ 99.99995%, каплау калынлыгының бертөрле хата ± 5%, ә өслекнең тупаслыгы Ra0.5umдан ким.
3. Эшчәнлекне яхшырту:
Коррозиягә каршы тору: Cl2, HCl һ.б. кебек югары коррозив газларга каршы тора ала, GaN эпитаксының гомерен NH3 мохитендә өч тапкыр озайта ала.
Rылылык тотрыклылыгы: Термаль киңәю коэффициенты (4,5 × 10-6 / ℃) температураның үзгәрүеннән килеп чыккан каплау ярылмасын өчен графитка туры килә.
Катылык һәм киемгә каршы тору: Викерсның катылыгы 28 GPa җитә, бу графиттан 10 тапкырга югарырак һәм вафер сызу куркынычын киметә ала.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC төп физик үзлекләрекаплау | |
| 性质 / Милек | 典型数值 / Типик кыйммәт |
| 晶体结构 / Бәллүр структурасы | FCC β фаза多晶，主要为（111 ）取向 |
| 密度 / Тыгызлыгы | 3.21 г / см³ |
| 硬度 / Каты | 2500 维氏硬度（ 500г йөк） |
| 晶粒大小 / SiZe ашлыгы | 2 ~ 10μм |
| 纯度 / Химик чисталык | 99.99995% |
| 热容 / Atылылык сыйдырышлыгы | 640 J · кг-1· К.-1 |
| 升华温度 / Сублимация температурасы | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Флексур көч | 415 MPa RT 4 балл |
| 杨氏模量 / Яшьләр модуле | 430 Gpa 4pt бөкләнү, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ТермаlUcткәрүчәнлек | 300W · м-1· К.-1 |
| 热膨胀系数 / Rылылык киңәюе (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - югары технологияле предприятия, югары дәрәҗәдәге алдынгы материаллар, графит, кремний карбид, керамика, материаллар һәм технологияләр, SiC каплау кебек өслек эшкәртү, TaC каплау, пыяла углерод каплау, пиролитик углерод каплау һ.б.
Безнең техник коллектив иң яхшы эчке тикшеренү институтларыннан килә, һәм продукт җитештерүчәнлеген һәм сыйфатын тәэмин итү өчен күп патентланган технологияләр уйлап тапты, шулай ук клиентларга профессиональ материаль чишелешләр бирә ала.
