Personnaliséierten SiC beschichteten Barrel Susceptor

Barrel-Susceptorass eng Kärkomponent an epitaktischen Hallefleeder-Wuesstumsprozesser wéi MOCVD, MBE, CVD. Et gëtt haaptsächlech benotzt fir Waferen an Héichtemperatur-Reaktiounskummeren ze transportéieren an eng eenheetlech an stabil thermesch Feldëmfeld ze bidden, fir eng präzis Oflagerung vun epitaktischen Schichten (wéi GaN, SiC, etc.) ze garantéieren. Seng Kärfunktioun ass et, eng héich Uniformitéit vun der Waferuewerflächentemperatur duerch präzis thermesch Feldkontroll z'erreechen, wouduerch d'Dicke, d'Dotierungskonzentratioun an d'Kristallstrukturuniformitéit vun epitaktischen Dënnschichten garantéiert gëtt.

Mir benotzen eis patentéiert Technologie fir d'ProduktiounFassempfängermat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an enger exzellenter Liewensdauer, souwéi héijer chemescher Resistenz an thermescher Stabilitéitseigenschaften.

VET Energy benotzt héichreine Graphit mat CVD-SiC Beschichtung fir d'chemesch Stabilitéit ze verbesseren:

1. Héichreinheetsgrafitmaterial
Héich thermesch Konduktivitéit: D'thermesch Konduktivitéit vu Graphit ass dräimol sou héich wéi déi vu Silizium, wat d'Hëtzt séier vun der Heizquell op de Wafer transferéiere kann an d'Heizzäit verkierzt.
Mechanesch Stäerkt: Isostatesch Drockgrafitdicht ≥ 1,85 g/cm³, fäeg héijen Temperaturen iwwer 1200 ℃ ouni Verformung standzehalen.

2. CVD SiC Beschichtung
Eng β-SiC-Schicht gëtt op der Uewerfläch vum Graphit duerch chemesch Gasoflagerung (CVD) geformt, mat enger Rengheet vun ≥ 99,99995%, de Gläichheetsfehler vun der Beschichtungsdicke ass manner wéi ± 5%, an d'Uewerflächenrauheet ass manner wéi Ra0,5um.

3. Leeschtungsverbesserung:
Korrosiounsbeständegkeet: kann héich korrosive Gaser wéi Cl2, HCl, etc. standhalen, kann d'Liewensdauer vun der GaN-Epitaxie an der NH3-Ëmwelt ëm dräimol verlängeren.
Thermesch Stabilitéit: De Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung (4,5 × 10⁻⁶/℃) entsprécht dem Graphit, fir Rëssbildung an der Beschichtung ze vermeiden, déi duerch Temperaturschwankungen verursaacht gëtt.
Häert a Verschleißbeständegkeet: D'Vickers-Häert erreecht 28 GPa, wat 10 Mol méi héich ass wéi Graphit a kann de Risiko vu Wafer-Kratzer reduzéieren.