Tøndemodtagerer en kernekomponent i halvlederepitaksiale vækstprocesser såsom MOCVD, MBE og CVD. Det bruges hovedsageligt til at bære wafere i højtemperaturreaktionskamre og give et ensartet og stabilt termisk feltmiljø for at sikre præcis aflejring af epitaksiale lag (såsom GaN, SiC osv.). Dets kernefunktion er at opnå høj ensartethed af waferoverfladetemperaturen gennem præcis termisk feltkontrol og derved sikre tykkelsen, doteringskoncentrationen og krystalstrukturensartetheden af epitaksiale tyndfilm.
Vi bruger vores patenterede teknologi til at fremstilletøndemodtagermed ekstremt høj renhed, god belægningsensartethed og en fremragende levetid, samt høj kemisk resistens og termisk stabilitet.
VET Energy bruger grafit af høj renhed med CVD-SiC-belægning for at forbedre den kemiske stabilitet:
1. Grafitmateriale af høj renhed
Høj varmeledningsevne: Grafits varmeledningsevne er tre gange så høj som siliciums, hvilket hurtigt kan overføre varme fra varmekilden til waferen og forkorte opvarmningstiden.
Mekanisk styrke: Isostatisk trykgrafitdensitet ≥ 1,85 g/cm³, i stand til at modstå høje temperaturer over 1200 ℃ uden deformation.
2. CVD SiC-belægning
Et β-SiC-lag dannes på overfladen af grafit ved kemisk dampaflejring (CVD) med en renhed på ≥ 99,99995%, ensartethedsfejlen for belægningstykkelsen er mindre end ± 5%, og overfladeruheden er mindre end Ra0,5um.
3. Forbedring af ydeevne:
Korrosionsbestandighed: Kan modstå stærkt korrosive gasser såsom Cl2, HCl osv., kan forlænge levetiden for GaN-epitaksi med tre gange i NH3-miljøet.
Termisk stabilitet: Den termiske udvidelseskoefficient (4,5 × 10⁻⁶/℃) matcher grafit for at undgå revner i belægningen forårsaget af temperaturudsving.
Hårdhed og slidstyrke: Vickers-hårdheden når 28 GPa, hvilket er 10 gange højere end grafits og kan reducere risikoen for ridser i waferen.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995% |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjningsstyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed, der fokuserer på udvikling og produktion af avancerede materialer i høj kvalitet. Materialerne og teknologien omfatter grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. Disse produkter anvendes i vid udstrækning inden for solceller, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og har udviklet flere patenterede teknologier for at sikre produktets ydeevne og kvalitet, og kan også give kunderne professionelle materialeløsninger.
