Hoe om 'n PECVD-grafietboot skoon te maak? | VET Energy

1. Erkenning voor skoonmaak

1) Wanneer diePECVD grafietboot/draer word meer as 100 tot 150 keer gebruik, moet die operateur die toestand van die deklaag betyds nagaan. Indien daar 'n abnormale deklaag is, moet dit skoongemaak en bevestig word. Die normale deklaagkleur van die silikonwafel in die grafietboot/draer is blou. As die wafel nie-blou, veelvuldige kleure het, of die kleurverskil tussen die wafels groot is, is dit 'n abnormale deklaag, en die oorsaak van die abnormaliteit moet betyds bevestig word.
2) Na die proses ontleed personeel die deklaagtoestand van diePECVD grafietboot/draer, hulle sal bepaal of die grafietboot skoongemaak moet word en of die kaartpunt vervang moet word, en die grafietboot/draer wat skoongemaak moet word, sal aan die toerustingpersoneel oorhandig word vir skoonmaak.

 

3) Na diegrafietboot/draer beskadig is, sal die produksiepersoneel al die silikonwafers in die grafietboot uithaal en CDA (saamgeperste lug) gebruik om die fragmente in die uit te sorteer.grafietbootNa voltooiing sal die toerustingpersoneel dit in die suurtenk lig wat met 'n sekere hoeveelheid HF-oplossing vir skoonmaak voorberei is.

 

2. Skoonmaak van grafietboot

Dit word aanbeveel om 'n 15-25% hidrofluoorsuuroplossing vir drie skoonmaakrondes te gebruik, elk vir 4-5 uur, en periodiek stikstof te borrel tydens die week- en skoonmaakproses, en ongeveer 'n halfuur skoonmaak by te voeg; let wel: dit word nie aanbeveel om lug direk as die gasbron vir borreling te gebruik nie. Spoel na die inmaak met suiwer water vir ongeveer 10 uur en bevestig dat die boot deeglik skoongemaak is. Kontroleer asseblief die oppervlak van die boot, die grafietkaartpunt en die bootplaatlas, en ander dele na skoonmaak om te sien of daar enige silikonnitride-residu is. Droog dan volgens die vereistes.

3. Skoonmaakmaatreëls

A) Aangesien HF-suur 'n hoogs korrosiewe stof is en 'n sekere vlugtigheid het, is dit gevaarlik vir operateurs. Daarom moet operateurs by die skoonmaakpos veiligheidsmaatreëls tref en deur 'n toegewyde persoon bestuur word.

B) Dit word aanbeveel om die boot uitmekaar te haal en slegs die grafietdeel tydens skoonmaak skoon te maak, sodat elke kontakdeel deegliker skoongemaak kan word. Tans gebruik baie huishoudelike vervaardigers algehele skoonmaak, wat gerieflik is, maar omdat HF-suur korrosief is vir keramiekonderdele, sal algehele skoonmaak die lewensduur van die ooreenstemmende onderdele verkort.