Sut i lanhau cwch graffit PECVD？| Ynni VET

1. Cydnabyddiaeth cyn glanhau

1) Pan fydd yCwch graffit PECVDOs defnyddir y cludwr/cludydd fwy na 100 i 150 o weithiau, mae angen i'r gweithredwr wirio cyflwr y cotio mewn pryd. Os oes cotio annormal, mae angen ei lanhau a'i gadarnhau. Lliw cotio arferol y wafer silicon yn y cwch/cludydd graffit yw glas. Os oes gan y wafer liwiau nad ydynt yn las, lliwiau lluosog, neu os yw'r gwahaniaeth lliw rhwng y waferi yn fawr, mae'n orchudd annormal, ac mae angen cadarnhau achos yr annormaledd mewn pryd.
2) Ar ôl i'r personél brosesu ddadansoddi cyflwr y cotio ar yCwch graffit PECVD/cludwr, byddant yn penderfynu a oes angen glanhau'r cwch graffit ac a oes angen disodli'r pwynt cerdyn, a bydd y cwch/cludwr graffit y mae angen ei lanhau yn cael ei drosglwyddo i bersonél yr offer i'w lanhau.

 

3) Ar ôl ycwch graffit/cludwr wedi'i ddifrodi, bydd y personél cynhyrchu yn tynnu'r holl wafers silicon allan yn y cwch graffit ac yn defnyddio CDA (aer cywasgedig) i ddidoli'r darnau yn ycwch graffitAr ôl ei gwblhau, bydd personél yr offer yn ei godi i'r tanc asid sydd wedi'i baratoi gyda chyfran benodol o doddiant HF ar gyfer glanhau.

 

2. Glanhau cwch graffit

Argymhellir defnyddio hydoddiant asid hydrofflworig 15-25% ar gyfer tair rownd o lanhau, pob un am 4-5 awr, a swigod nitrogen o bryd i'w gilydd yn ystod y broses socian a glanhau, gan ychwanegu tua hanner awr o lanhau; nodyn: ni argymhellir defnyddio aer yn uniongyrchol fel y ffynhonnell nwy ar gyfer swigod. Ar ôl piclo, rinsiwch â dŵr pur am tua 10 awr, a chadarnhewch fod y cwch wedi'i lanhau'n drylwyr. Ar ôl glanhau, gwiriwch wyneb y cwch, pwynt y cerdyn graffit a chymal dalen y cwch, a rhannau eraill i weld a oes unrhyw weddillion silicon nitrid. Yna sychwch yn ôl y gofynion.

3. Rhagofalon glanhau

A) Gan fod asid HF yn sylwedd cyrydol iawn ac mae ganddo rywfaint o anwadalrwydd, mae'n beryglus i weithredwyr. Felly, rhaid i weithredwyr yn y safle glanhau gymryd rhagofalon diogelwch a chael eu rheoli gan berson pwrpasol.

B) Argymhellir dadosod y cwch a glanhau'r rhan graffit yn unig yn ystod y glanhau, fel y gellir glanhau pob rhan gyswllt yn fwy trylwyr. Ar hyn o bryd, mae llawer o weithgynhyrchwyr domestig yn defnyddio glanhau cyffredinol, sy'n gyfleus, ond oherwydd bod asid HF yn cyrydol i rannau ceramig, bydd glanhau cyffredinol yn byrhau oes gwasanaeth y rhannau cyfatebol.