Jak czyścić łódź grafitową PECVD?| VET Energy

1. Potwierdzenie przed czyszczeniem

1) KiedyŁódź grafitowa PECVD/nośnik jest używany ponad 100 do 150 razy, operator musi sprawdzić stan powłoki na czas. Jeśli występuje nieprawidłowa powłoka, należy ją oczyścić i potwierdzić. Normalny kolor powłoki krzemowego wafla w grafitowej łodzi/nośniku jest niebieski. Jeśli wafel ma kolor inny niż niebieski, wiele kolorów lub różnica kolorów między waflami jest duża, jest to nieprawidłowa powłoka, a przyczyna nieprawidłowości musi zostać potwierdzona na czas.
2) Po zakończeniu procesu personel analizuje stan powłokiŁódź grafitowa PECVD/przewoźnik, określi, czy łódź grafitowa wymaga czyszczenia i czy punkt karty wymaga wymiany, a łódź grafitowa/przewoźnik, które wymagają czyszczenia, zostaną przekazane personelowi zajmującemu się sprzętem w celu czyszczenia.

 

3) Połódź grafitowa/nośnik jest uszkodzony, personel produkcyjny wyjmie wszystkie płytki krzemowe z łodzi grafitowej i za pomocą sprężonego powietrza (CDA) posortuje fragmenty włódź grafitowa. Po zakończeniu personel obsługujący sprzęt przeniesie go do zbiornika z kwasem, który został przygotowany z określoną proporcją roztworu HF do czyszczenia.

 

2. Czyszczenie łodzi grafitowej

Zaleca się stosowanie 15-25% roztworu kwasu fluorowodorowego do trzech rund czyszczenia, każda po 4-5 godzin, i okresowe bąbelkowanie azotem podczas procesu namaczania i czyszczenia, dodając około pół godziny czyszczenia; uwaga: nie zaleca się używania powietrza bezpośrednio jako źródła gazu do bąbelkowania. Po trawieniu płucz czystą wodą przez około 10 godzin i upewnij się, że łódź została dokładnie wyczyszczona. Po czyszczeniu sprawdź powierzchnię łodzi, czubek karty grafitowej i połączenie arkusza łodzi oraz inne części, aby zobaczyć, czy nie ma żadnych pozostałości azotku krzemu. Następnie osusz zgodnie z wymaganiami.

3. Środki ostrożności podczas czyszczenia

A) Ponieważ kwas HF jest substancją silnie żrącą i ma pewną lotność, jest niebezpieczny dla operatorów. Dlatego operatorzy na stanowisku czyszczącym muszą podejmować środki ostrożności i być nadzorowani przez dedykowaną osobę.

B) Zaleca się rozmontowanie łodzi i czyszczenie tylko części grafitowej podczas czyszczenia, aby każdą część stykową można było wyczyścić dokładniej. Obecnie wielu krajowych producentów stosuje czyszczenie całościowe, co jest wygodne, ale ponieważ kwas HF jest żrący dla części ceramicznych, czyszczenie całościowe skróci żywotność odpowiednich części.