Jak czyścić łódź grafitową PECVD? | VET Energy

1. Potwierdzenie przed czyszczeniem

1) KiedyŁódź grafitowa PECVDJeśli nośnik jest używany ponad 100–150 razy, operator musi na czas sprawdzić stan powłoki. W przypadku stwierdzenia nieprawidłowości, należy ją oczyścić i potwierdzić. Normalny kolor powłoki krzemowej wkładki grafitowej/nośnika to niebieski. Jeśli wafel ma kolor inny niż niebieski, jest wielokolorowy lub różnica kolorów między waflami jest duża, jest to nieprawidłowością powłoki, a przyczyna nieprawidłowości musi zostać potwierdzona na czas.
2) Po zakończeniu procesu personel analizuje stan powłokiŁódź grafitowa PECVD/przewoźnik, określą, czy łódź grafitowa wymaga czyszczenia i czy punkt karty wymaga wymiany, a łódź/przewoźnik grafitowy, który wymaga czyszczenia, zostanie przekazany personelowi zajmującemu się sprzętem w celu czyszczenia.

 

3) Połódź grafitowa/nośnik jest uszkodzony, personel produkcyjny wyjmie wszystkie płytki krzemowe z łódki grafitowej i użyje CDA (sprężonego powietrza) do posortowania fragmentów włódź grafitowaPo zakończeniu czyszczenia personel przeniesie sprzęt do zbiornika z kwasem, w którym umieszczono określoną ilość roztworu HF do czyszczenia.

 

2. Czyszczenie łodzi grafitowej

Zaleca się użycie 15-25% roztworu kwasu fluorowodorowego w trzech turach czyszczenia, każda po 4-5 godzin, oraz okresowe napowietrzanie azotem podczas moczenia i czyszczenia, wydłużając czas czyszczenia o około pół godziny. Uwaga: nie zaleca się bezpośredniego stosowania powietrza jako źródła gazu do napowietrzania. Po trawieniu należy płukać czystą wodą przez około 10 godzin i upewnić się, że łódź została dokładnie oczyszczona. Po czyszczeniu należy sprawdzić powierzchnię łodzi, czop grafitowy, łączenie blachy łodzi i inne części pod kątem pozostałości azotku krzemu. Następnie osuszyć zgodnie z wymaganiami.

3. Środki ostrożności podczas czyszczenia

A) Ponieważ kwas HF jest substancją silnie żrącą i charakteryzuje się pewną lotnością, jest niebezpieczny dla operatorów. Dlatego operatorzy na stanowisku czyszczącym muszą zachować środki ostrożności i być pod nadzorem osoby wyznaczonej do tego celu.

B) Zaleca się rozmontowanie łodzi i czyszczenie tylko części grafitowej podczas czyszczenia, aby umożliwić dokładniejsze oczyszczenie każdej części stykającej się z łodzią. Obecnie wielu krajowych producentów stosuje czyszczenie całościowe, co jest wygodne, ale ponieważ kwas HF powoduje korozję części ceramicznych, czyszczenie całościowe skraca żywotność odpowiednich części.